JPS646047U - - Google Patents

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JPS646047U
JPS646047U JP10132187U JP10132187U JPS646047U JP S646047 U JPS646047 U JP S646047U JP 10132187 U JP10132187 U JP 10132187U JP 10132187 U JP10132187 U JP 10132187U JP S646047 U JPS646047 U JP S646047U
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JP10132187U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図〜第１８図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図は平板ピツチ（支持部材）変更
の機構を示し、同図ａは平板ピツチを縮小した状
態を、同図ｂは平板ピツチを拡大した状態を夫々
示す要部概略正面図、第２図は半導体ウエハ支持
具の斜視図、第３図は半導体ウエハ移換え装置の
正面図、第４図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ及び
ｈは半導体ウエハをキヤリアカセツトからカート
リツジに移換える手順を示す正面図、第５図は半
導体ウエハを収容したキヤリアカセツトを示し、
同図ａは平面図、同図ｂは正面図、第６図は半導
体ウエハを収容したカートリツジを示し、同図ａ
は平面図、同図ｂは正面図、第７図は平板ピツチ
変更の他の例を示し、同図ａは平板ピツチを縮小
した状態を、同図ｂは平板ピツチを拡大した状態
を夫々示す要部概略正面図、第８図は他の例によ
る平板ピツチ変更の機構を示し、同図ａは平板ピ
ツチを縮小した状態を、同図ｂは平板ピツチ変更
途中の状態を、同図ｃは平板ピツチを拡大した状
態を夫々示す要部概略側面図、第９図は第８図の
機構に使用する平板及びその周辺を示す部分斜視
図、第１０図及び第１１図は夫々更に他の例によ
る平板ピツチ変更の機構を示し、第１０図ａ及び
第１１図ａは平板ピツチを縮小した状態を、第１
０図ｂ及び第１１図ｂは平板ピツチを拡大した状
態を夫々示す要部概略側面図、第１２図は平板ピ
ツチ変更の更に他の例を示し、同図ａは平板ピツ
チを縮小した状態を、同図ｂは平板ピツチを拡大
した状態を夫々示す要部概略正面図、第１３図は
第１２図の平板を使用した半導体ウエハ支持具を
示し、同図ａは斜視図、同図ｂは分解斜視図、第
１４図、第１５図ａ及び第１６図は夫々ピツチ変
更を可能とした平板及びばねの側面図、第１５図
ｂは第１５図ａの平板の斜視図、第１７図及び第
１８図は更に他の平板の側面図である。第１９図
は市販のキヤリアカセツトの斜視図である。第２
０図は一般のカートリツジの斜視図である。 なお、図面に示された符号に於いて、１……カ
ートリツジ、１ａ……主柱、１ｂ……補助柱、１
ｅ，２ｅ……溝、１ｆ，２ｃ……突部、１ｇ，２
ｄ……開口部、２……キヤリアカセツト、３……
半導体ウエハ移換え装置、４，４４……平板、７
，４８……ピツチ変更装置、７ａ，７ｂ，７ｃ，
７ｄ，７ｅ……Ｌ形支持具、１３……カム、１６
，６６……半導体ウエハ、３７ａ〜３７ｌ……棒
状支持具、３７Ｌ，３７Ｍ……押上げ棒、３８ａ
，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆ……
平板支持具、３９，４０……突起、４１ａ，４１
ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆ……ガイド
バー、４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ，４２ｅ
，４２ｆ……ストツパ、４３……フツク、４７…
…ゴム板、５７……板ばね、５８，５９……コイ
ルばね、ｄ１，ｄ２……平板又は半導体ウエハの
間隔、ｐ１，ｐ２，ｐ１１，ｐ２１，ｐ３１……
平板又は半導体ウエハのピツチである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の板状半導体を挿入又は取出すための空間
    部を夫々有する第一の収容部と第二の収容部との
    間で、前記第一の収容部に収容された前記複数の
    板状半導体を取出した後にこれらの板状半導体を
    前記第二の収容部に挿入して収容させる板状半導
    体移換え装置であつて、上下方向に所定の間隔を
    隔てて前記複数の板状半導体を略水平に支持する
    複数の支持部材と、前記複数の板状半導体の間隔
    を変更する間隔変更手段とを有する板状半導体移
    換え装置。
JP10132187U 1987-06-30 1987-06-30 Pending JPS646047U (ja)

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JP10132187U JPS646047U (ja) 1987-06-30 1987-06-30

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JPS646047U true JPS646047U (ja) 1989-01-13

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Cited By (6)

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