JPS58123736A - ウエハ−転送方法および装置 - Google Patents
ウエハ−転送方法および装置Info
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- JPS58123736A JPS58123736A JP57006467A JP646782A JPS58123736A JP S58123736 A JPS58123736 A JP S58123736A JP 57006467 A JP57006467 A JP 57006467A JP 646782 A JP646782 A JP 646782A JP S58123736 A JPS58123736 A JP S58123736A
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- JP
- Japan
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- wafer
- horizontally
- pitch
- wafers
- blades
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/36—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
- H10P72/3604—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations using air tracks the workpieces being stored in a carrier, involving loading and unloading
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、シリコンウェハーなどの半導体デバイス製
造用のウェハーを、収容ピッチの異なる二種のウェハー
ケース間で転送する方法および装置に関する。
造用のウェハーを、収容ピッチの異なる二種のウェハー
ケース間で転送する方法および装置に関する。
従来、半導体デバイスの製造に際して、シリコンウェハ
ーその他のウェハーは、側壁内面に所定のピッチで溝を
形成したウェハーケースに複数枚宛収容して取扱われて
いるが、製造工程の進行に伴なって、ウェハーの収容ピ
ッチを変化するべく、ウェハーを一つのウェハーケース
より他のウェハーケースに移し替える必要が生じる場合
があった。
ーその他のウェハーは、側壁内面に所定のピッチで溝を
形成したウェハーケースに複数枚宛収容して取扱われて
いるが、製造工程の進行に伴なって、ウェハーの収容ピ
ッチを変化するべく、ウェハーを一つのウェハーケース
より他のウェハーケースに移し替える必要が生じる場合
があった。
このウェハーのウェハーケース間における移し替え、即
ち転送の方法としては、ウェハーを１枚宛ビンセット又
はチャックなどを介して移し替える方法や、二つのウェ
ハーケース間に徐々にウェハーの離隔ピッチを変化させ
るシュートを介設して、該シュートによりウェハーのピ
ッチを変化させ乍ら移し替える方法が主として採用され
ていた。然し乍ら、上記のような方法による場合、前者
ではピンセット又はチャックなどによってウェハーの縁
部を挟持する結果、核部に傷を付けて、不良品発生の原
因となっていたし、後者ではシュート内をウェハーが摺
動する為、塵埃の発生が避けられず、塵埃がウェハー表
面に付着して、前者同様、不良品発生の原因となり、解
決が望まれていた。
ち転送の方法としては、ウェハーを１枚宛ビンセット又
はチャックなどを介して移し替える方法や、二つのウェ
ハーケース間に徐々にウェハーの離隔ピッチを変化させ
るシュートを介設して、該シュートによりウェハーのピ
ッチを変化させ乍ら移し替える方法が主として採用され
ていた。然し乍ら、上記のような方法による場合、前者
ではピンセット又はチャックなどによってウェハーの縁
部を挟持する結果、核部に傷を付けて、不良品発生の原
因となっていたし、後者ではシュート内をウェハーが摺
動する為、塵埃の発生が避けられず、塵埃がウェハー表
面に付着して、前者同様、不良品発生の原因となり、解
決が望まれていた。
然るにこの発明は、収容ピッチの異る二種のウェハーケ
ース間に、水平に対向させた羽根を複数得るようにする
と共に、前記水平対向羽根のピッ替えに当って、その縁
部な挟持する必要がな（、かつ塵埃の発生も回避できる
ようになり、前記問題点を解決することに成功したので
ある。
ース間に、水平に対向させた羽根を複数得るようにする
と共に、前記水平対向羽根のピッ替えに当って、その縁
部な挟持する必要がな（、かつ塵埃の発生も回避できる
ようになり、前記問題点を解決することに成功したので
ある。
以下この発明を実施例について説明する。装置は第１図
および第２図に示したように、機体ｌの頂板上両側部に
ウェハーケースコ、３の配置部λａ、ｊ３を形成して、
該配置部コａ、Ｊａの中間部に水平対向羽根ダな設置す
ると共に、前記配置部２ａの外側に送入具５を摺動自在
に設け、前記水平対向羽根ダの下側には排出具６を昇降
および摺動自在に設けて構成する。
および第２図に示したように、機体ｌの頂板上両側部に
ウェハーケースコ、３の配置部λａ、ｊ３を形成して、
該配置部コａ、Ｊａの中間部に水平対向羽根ダな設置す
ると共に、前記配置部２ａの外側に送入具５を摺動自在
に設け、前記水平対向羽根ダの下側には排出具６を昇降
および摺動自在に設けて構成する。
前記水平対向羽根ダは、ウェハーケースコ、３に収容さ
れるウェハー７を一時的に収容保持する為のものであっ
て、第７図乃至第３図に示したように細長矩形板状の羽
根ｔ、ｇをコ枚宛、側線を水平に対向させて複数綾に設
けたもので、その段数は前記ウェハーケースコに収容で
きるウニハークの枚数と同−若しくはそれ以上とする。
れるウェハー７を一時的に収容保持する為のものであっ
て、第７図乃至第３図に示したように細長矩形板状の羽
根ｔ、ｇをコ枚宛、側線を水平に対向させて複数綾に設
けたもので、その段数は前記ウェハーケースコに収容で
きるウニハークの枚数と同−若しくはそれ以上とする。
前記羽根ｇ、ｇは夫々長孔９．？が穿設されてあり、該
長孔を貫通させて傾動杆／θａ 、１０ｂ 、１０ｃ
、／θｄを立設して、各傾動杆１０ａ 、１０ｂ 、＠
＠ ＠１０ｄと羽根ｇ、ざとをピン／／ 、 ／／を
介して回動自在に枢涜する。前記傾動杆１０３は他の傾
動杆１０ｂ、１０ｃ、１０ｄより長（して、中間部を機
体ｌの頂板上で回動自在に軸支すると共に下端部は機体
ｌ内に突出さぜる。傾動杆１０ｂ 、／ＱＣ，１０ｄは
夫々下端部を機体ｌの頂板上で回動自在に軸支する。図
中／Ｌ２、／コミは連結杆である。
長孔を貫通させて傾動杆／θａ 、１０ｂ 、１０ｃ
、／θｄを立設して、各傾動杆１０ａ 、１０ｂ 、＠
＠ ＠１０ｄと羽根ｇ、ざとをピン／／ 、 ／／を
介して回動自在に枢涜する。前記傾動杆１０３は他の傾
動杆１０ｂ、１０ｃ、１０ｄより長（して、中間部を機
体ｌの頂板上で回動自在に軸支すると共に下端部は機体
ｌ内に突出さぜる。傾動杆１０ｂ 、／ＱＣ，１０ｄは
夫々下端部を機体ｌの頂板上で回動自在に軸支する。図
中／Ｌ２、／コミは連結杆である。
然して羽根ｇ、ｔｒは、傾動杆１０ａ 、 １０ｂ 、
・・・／θｄが垂直の状態では前記ピン／／ 、 ／／
の間隔（ｄ）と同一ピッチで支承されている一方、第３
図に示したように傾動杆１０ａ 、 １０ｂ 、・・・
／θｄを傾動させると、傾動角度をθとして、ｄＸｓｉ
ｎ（−一〇）のピッチに変化させることができるもので
ある。
・・・／θｄが垂直の状態では前記ピン／／ 、 ／／
の間隔（ｄ）と同一ピッチで支承されている一方、第３
図に示したように傾動杆１０ａ 、 １０ｂ 、・・・
／θｄを傾動させると、傾動角度をθとして、ｄＸｓｉ
ｎ（−一〇）のピッチに変化させることができるもので
ある。
傾動杆ｉｏａ、ｉｏｂ、・・・／θｄの傾動は機体ｌ内
に突出させた傾動杆１０ａに一端部を連結したリンク片
１３の他端部を、モーターｌりで駆動される回動輪／Ｓ
に偏心させて連結してなるクランク機構を介して行なう
。
に突出させた傾動杆１０ａに一端部を連結したリンク片
１３の他端部を、モーターｌりで駆動される回動輪／Ｓ
に偏心させて連結してなるクランク機構を介して行なう
。
次に前記送入具Ｓは」状の部材／６の垂直片上下に二叉
状に腕／？、／７を突設し、該部／７．／７を介してテ
フロン製の九杆／ｇ 、 １ｇを垂直に設けると共に、
部材／６の水平片端部を摺動板／９で片持状に支持して
構成する。摺動板／９は一側に固着した軸受〃。
状に腕／？、／７を突設し、該部／７．／７を介してテ
フロン製の九杆／ｇ 、 １ｇを垂直に設けると共に、
部材／６の水平片端部を摺動板／９で片持状に支持して
構成する。摺動板／９は一側に固着した軸受〃。
２０を機体ｌ内に水平に架設した案内杆２／ 、 ２／
に摺動自在に嵌装して支持されていると共に、機体ｌ内
に張設した無端チェインｎの一側と連結してあり、無端
チェイン二と係合したスプロケット２３゜２３ａ中、一
方のスプロケット、２３をモーター評で回転させると、
摺動板／デと送入具Ｓは水平方向に摺動するようになっ
ている。摺動板／９が貫通する機体ｌの頂板Ｊには、摺
動範囲に亘って長溝２６が形成しである。
に摺動自在に嵌装して支持されていると共に、機体ｌ内
に張設した無端チェインｎの一側と連結してあり、無端
チェイン二と係合したスプロケット２３゜２３ａ中、一
方のスプロケット、２３をモーター評で回転させると、
摺動板／デと送入具Ｓは水平方向に摺動するようになっ
ている。摺動板／９が貫通する機体ｌの頂板Ｊには、摺
動範囲に亘って長溝２６が形成しである。
次に排出具６は前記水平対向羽根ｌの中間部に突入し、
かつ摺動可能とするべ（設置されるもので、水平対向羽
根ダの設置部の頂板Ｊに形成した溝２７に、機体ｌ＾よ
り臨ませである。即ち第Ｓ図に示したように１状の摺動
部材−ｇを機体ｌ内に水平架設した案内杆２９ 、２９
に軸受３０ 、３０を介して摺動可能に支持すると共に
、摺動部材２ｇにコ状の昇降部材３／を昇降自在に設け
、該昇降部材３／の外壁に、−側を凹入さぜたテフロン
製の当接具３コを固着する。昇降部材３／は軸ＳＯを摺
動部材３に嵌装して案内されていると共に、摺動部材コ
に添接固着した流体圧シリンダー３３で昇降駆動される
。図中３ｔは昇降部材３／を降下側に引張る為のスプリ
ングである。又摺動部材コは前記送入具３と同様に、機
体ｌ内に張設された無端チェイン３Ｓの一側と連結して
あり、無端チェイン３３と係合させたスプロケツ） ３
１． 、３６ ａ中、一方のスプロケット３６をモータ
ー３７で回転させることによって、摺動できるようにな
っている。
かつ摺動可能とするべ（設置されるもので、水平対向羽
根ダの設置部の頂板Ｊに形成した溝２７に、機体ｌ＾よ
り臨ませである。即ち第Ｓ図に示したように１状の摺動
部材−ｇを機体ｌ内に水平架設した案内杆２９ 、２９
に軸受３０ 、３０を介して摺動可能に支持すると共に
、摺動部材２ｇにコ状の昇降部材３／を昇降自在に設け
、該昇降部材３／の外壁に、−側を凹入さぜたテフロン
製の当接具３コを固着する。昇降部材３／は軸ＳＯを摺
動部材３に嵌装して案内されていると共に、摺動部材コ
に添接固着した流体圧シリンダー３３で昇降駆動される
。図中３ｔは昇降部材３／を降下側に引張る為のスプリ
ングである。又摺動部材コは前記送入具３と同様に、機
体ｌ内に張設された無端チェイン３Ｓの一側と連結して
あり、無端チェイン３３と係合させたスプロケツ） ３
１． 、３６ ａ中、一方のスプロケット３６をモータ
ー３７で回転させることによって、摺動できるようにな
っている。
前記ウェハーケースの設置部２３．Ｊ３のうち、一方の
設置部３ａ、即ち排出側は第６図に示したような傾動自
在のホルダー３ｇで構成しである。このホルダー３ｇは
機体ｌ内に水平架設した回転軸３９に腕ｔｉｏを固着し
、該部ｌＩｏに平板ｌＩ／を固着すると共に、平板ｌＩ
／の側部に植設した杆体侵、 ＩＩ２を介して平板ｑ／
と対向させて平板ｌＩ３を設けて成り、各平板ダ／ 、
ｔ１３には、夫々ウェハーケース３の側板に弾接する
押圧突子！ｌ１ｌ９件が設けてあり、平板間にウェハー
ケースを保持できるようにしである。前記回転軸３９に
固着したスプロケットグ３は、モーター’ＩＡに固着し
たスプロケットｌ１７とチェイン何で連結され、モータ
ーダ６の回転力でホルダー３ｇが傾動するようになって
いる。
設置部３ａ、即ち排出側は第６図に示したような傾動自
在のホルダー３ｇで構成しである。このホルダー３ｇは
機体ｌ内に水平架設した回転軸３９に腕ｔｉｏを固着し
、該部ｌＩｏに平板ｌＩ／を固着すると共に、平板ｌＩ
／の側部に植設した杆体侵、 ＩＩ２を介して平板ｑ／
と対向させて平板ｌＩ３を設けて成り、各平板ダ／ 、
ｔ１３には、夫々ウェハーケース３の側板に弾接する
押圧突子！ｌ１ｌ９件が設けてあり、平板間にウェハー
ケースを保持できるようにしである。前記回転軸３９に
固着したスプロケットグ３は、モーター’ＩＡに固着し
たスプロケットｌ１７とチェイン何で連結され、モータ
ーダ６の回転力でホルダー３ｇが傾動するようになって
いる。
上記の構成で成るウェハー転送装置におけるウェハーの
転送の様子を説明すると以下の通りである。はじめに、
ウェハー７を複数枚収容したウエハーケースコを、その
配置部２ａに配置すると共に、配置部３ａを構成したホ
ルダー３ｇには空のウェハーケース３をセットする。ウ
エハーケースコの溝のピッチと、ウェハーケース３の溝
のピッチは異っており、この実施例ではウエハーケース
コのピッチ（前記ピン／／のピッチｄとはソ同一）がウ
ェハーケース３のピッ＋（ｄＸｓｉｎ（−一θ））より
大きくなっている。
転送の様子を説明すると以下の通りである。はじめに、
ウェハー７を複数枚収容したウエハーケースコを、その
配置部２ａに配置すると共に、配置部３ａを構成したホ
ルダー３ｇには空のウェハーケース３をセットする。ウ
エハーケースコの溝のピッチと、ウェハーケース３の溝
のピッチは異っており、この実施例ではウエハーケース
コのピッチ（前記ピン／／のピッチｄとはソ同一）がウ
ェハーケース３のピッ＋（ｄＸｓｉｎ（−一θ））より
大きくなっている。
装置を起動させると、先ずモーター評が動作して送入具
Ｓがウェハーケースコ側へ前進摺動し、該ケース内のウ
ェハー７、マは丸杆ｌざが当接して水平に押し出され、
水平対向羽根ｌの各段毎に１枚 、宛移し替えられる
。移し替えが完了するとモーターＩＱが動作して傾動杆
１０ａ 、１０ｂ 、１０ｃ 、１０ｄが矢示ｑ９側に
傾動し、羽根ｇ、ざはウニ／・−７，７を支承したまま
そのピッチを挟める（第３図）。
Ｓがウェハーケースコ側へ前進摺動し、該ケース内のウ
ェハー７、マは丸杆ｌざが当接して水平に押し出され、
水平対向羽根ｌの各段毎に１枚 、宛移し替えられる
。移し替えが完了するとモーターＩＱが動作して傾動杆
１０ａ 、１０ｂ 、１０ｃ 、１０ｄが矢示ｑ９側に
傾動し、羽根ｇ、ざはウニ／・−７，７を支承したまま
そのピッチを挟める（第３図）。
次に前記送入具Ｓが更に水平対向羽根ダ側へ前進して、
前記ピッチの変化によって、縁部が不揃いとなったウェ
ー・−７，７を揃えると共に、ウェー・−７，７が前記
排出具６の昇降に支障のないようにする。ここまでの動
作が完了するとモーター２ダは逆転して送入具３を原位
置に後退復帰させると共に、排出具６の動作に移行する
。
前記ピッチの変化によって、縁部が不揃いとなったウェ
ー・−７，７を揃えると共に、ウェー・−７，７が前記
排出具６の昇降に支障のないようにする。ここまでの動
作が完了するとモーター２ダは逆転して送入具３を原位
置に後退復帰させると共に、排出具６の動作に移行する
。
排出具６の動作は上昇−前進一後退一下降であって、昇
降は流体圧シリンダー３３への加圧流体の給排で行なわ
れ、前進、後退はモーター３りの駆動で行なわれる。流
体圧シリンダー３３へ加圧流体を供給スると、ピストン
ロッドを介して昇降部材３／が上昇し、当接具３２が水
平対向羽根ダ内に支承さ一ター３７を駆動して摺動部材
２ｇ、昇降部材３１並びに当接具３２をホルダー３ｇ側
へ前進させれば、前記ウェハー７．７は当接具３２で水
平に押し出され、ホルダー３ｇにセットしたウェハーケ
ース３内に移し替えられる。移し替えを完了するとモー
ター３７が逆転して排出具６全体を後退させると共に、
加圧流体の供給が遮断され、昇降部材３／がスプリング
３グの張力で下降する。
降は流体圧シリンダー３３への加圧流体の給排で行なわ
れ、前進、後退はモーター３りの駆動で行なわれる。流
体圧シリンダー３３へ加圧流体を供給スると、ピストン
ロッドを介して昇降部材３／が上昇し、当接具３２が水
平対向羽根ダ内に支承さ一ター３７を駆動して摺動部材
２ｇ、昇降部材３１並びに当接具３２をホルダー３ｇ側
へ前進させれば、前記ウェハー７．７は当接具３２で水
平に押し出され、ホルダー３ｇにセットしたウェハーケ
ース３内に移し替えられる。移し替えを完了するとモー
ター３７が逆転して排出具６全体を後退させると共に、
加圧流体の供給が遮断され、昇降部材３／がスプリング
３グの張力で下降する。
この間、前記モーターｌｌＩも逆転して、傾動させた傾
動杆１０ａ 、１０ｂ 、ＩＯＣ，１０ｄを垂直の状態
に復帰させる。
動杆１０ａ 、１０ｂ 、ＩＯＣ，１０ｄを垂直の状態
に復帰させる。
以上でウニハークの転送は完了し、ホルダー３ｇに保持
されたウェハーケースａ、を取り出せば良い。
されたウェハーケースａ、を取り出せば良い。
ウェハーケース３のセットおよび取出し時は、垂直の状
態（ウェハー７が水平の状態）よりは第６図鎖線図示の
ように傾いていた方が作業上、操作し易い。ウェハーケ
ース３の傾動をホルダー３ｇの傾動で行なう。この傾動
々作はモーターＱＡの駆動力をチェイン何を介して回転
軸３９に伝達し、回転軸３９上記の動作は各段階毎にモ
ーターに対する回路の断接および加圧流体の給排を手動
的に操作しても良（、或いは操作回路をＩＪＬ／、タイ
マー等のシーケンス回路で構成して、自動的に行っても
良いことは言５までもない。ウェハー７．７のピッチは
傾動杆１０ａ 、 ｌＯｂ 、 ｔｏｃ 、 ｔｏｄの
傾動角度によって決定されるので、ウェハーケース間、
３の実際のピッチに応じて、傾動角度を選定するように
することも可能である。
態（ウェハー７が水平の状態）よりは第６図鎖線図示の
ように傾いていた方が作業上、操作し易い。ウェハーケ
ース３の傾動をホルダー３ｇの傾動で行なう。この傾動
々作はモーターＱＡの駆動力をチェイン何を介して回転
軸３９に伝達し、回転軸３９上記の動作は各段階毎にモ
ーターに対する回路の断接および加圧流体の給排を手動
的に操作しても良（、或いは操作回路をＩＪＬ／、タイ
マー等のシーケンス回路で構成して、自動的に行っても
良いことは言５までもない。ウェハー７．７のピッチは
傾動杆１０ａ 、 ｌＯｂ 、 ｔｏｃ 、 ｔｏｄの
傾動角度によって決定されるので、ウェハーケース間、
３の実際のピッチに応じて、傾動角度を選定するように
することも可能である。
即ちこの発明によれば、収容ピッチの異る二種のウェハ
ーケース間でのウェハーの転送を、水平対向羽根内に一
時的に保持させるようにして、かつウェハーの水平移動
のみで行うようにしたのでウェハーの挟持による傷の付
与のおそれがないばかりでなく、塵埃の発生も回避して
、清浄な雰囲気で転送ができる効果がある。
ーケース間でのウェハーの転送を、水平対向羽根内に一
時的に保持させるようにして、かつウェハーの水平移動
のみで行うようにしたのでウェハーの挟持による傷の付
与のおそれがないばかりでなく、塵埃の発生も回避して
、清浄な雰囲気で転送ができる効果がある。
水平対向羽根のピッチを傾、動杆の傾動によって変化で
きるようにすれば、構造的に簡素にできる効果がある。
きるようにすれば、構造的に簡素にできる効果がある。
又、ウェー・−ケースの排出側配置部を傾動自在なホル
ダーで構成すれば、ウエハーケ
ダーで構成すれば、ウエハーケ
第１図はこの発明の実施装置の一部正面因、第２図は同
じく一部平面図、第３図は同じく水平対向羽根のピッチ
変更後の正面図、第参図は同じくｌ・・機体 コ、
３＠・ウエハーケースコａ、ｊａ・・配置部 ダ・・
水平対向羽根５＠・送入具 ６・・排出具 ？・・
ウェー・−ｇ ｅ ｅ羽根 １０ａ 、 ／Ｑ、ｂ
、 ／ＱＣ、１０ｄ −・傾動杆 １６・・部材
１ｇ−―丸杆／９・・摺動板 例・・摺動部材 ３
１・・昇降部材 ３コ・―当接具 ３ｇ＠−ホルダ
ー特許出願人 グイナ！ツクインターナショナル株式会社） 代理人 鈴木正次 第３図 ２ 第４図 第５図
じく一部平面図、第３図は同じく水平対向羽根のピッチ
変更後の正面図、第参図は同じくｌ・・機体 コ、
３＠・ウエハーケースコａ、ｊａ・・配置部 ダ・・
水平対向羽根５＠・送入具 ６・・排出具 ？・・
ウェー・−ｇ ｅ ｅ羽根 １０ａ 、 ／Ｑ、ｂ
、 ／ＱＣ、１０ｄ −・傾動杆 １６・・部材
１ｇ−―丸杆／９・・摺動板 例・・摺動部材 ３
１・・昇降部材 ３コ・―当接具 ３ｇ＠−ホルダ
ー特許出願人 グイナ！ツクインターナショナル株式会社） 代理人 鈴木正次 第３図 ２ 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ 収容ピッチが異る二種のウェハーケース間でウェハ
ーを転送する方法において、一方のクエ・・−ケースに
水平に収容されたウェハーを、該ケースのピッチと等し
いピッチで複数段に設置した対向羽根内に水平移送し、
次いで対向羽根のピッチを他方のウェハーケースのピッ
チと等しくなるように変化させた後、対向羽根内のウニ
・・−を他方のウェハーケースに水平移送することを特
徴としたウェハー転送方法 コ 収容ピッチが異る二種のウェハーケース間でウェハ
ーを転送する装置において、前記二種のウニ・・−ケー
スの配置部間に、水平対向羽根が仮数段、前記ケースの
配置方向に設置してあり、該水平対向羽根のピッチは、
前記二種のウニ／Ｓ−ケースのピッチと一致させるぺ（
変更自在と前記水平対向羽根間ヘウエノ・−を移送する
機構と、水平対向羽根間より他方のウニノー−ケースへ
ウェハーを移送する機構とが付設しであることを特徴と
したウェハー転送装置 ３ 水平対向羽根は対向設置した傾動杆に小角回動自在
に連結、支承されている特許請求の範囲第コ項記載のウ
ェハー転送装置 ｑ ウェハーケースの配置部中、排出側配置部は傾動自
在に設置したホルダーで構成しである特許請求の範囲第
２項記載のウェハー転送装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006467A JPS58123736A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | ウエハ−転送方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57006467A JPS58123736A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | ウエハ−転送方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123736A true JPS58123736A (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=11639250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57006467A Pending JPS58123736A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | ウエハ−転送方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123736A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63106140U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | ||
| JPS646047U (ja) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626427A (en) * | 1979-08-09 | 1981-03-14 | Nec Kyushu Ltd | Transfering device for semiconductor wafer |
| JPS5666027A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-04 | Nec Kyushu Ltd | Pitch converter |
-
1982
- 1982-01-19 JP JP57006467A patent/JPS58123736A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626427A (en) * | 1979-08-09 | 1981-03-14 | Nec Kyushu Ltd | Transfering device for semiconductor wafer |
| JPS5666027A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-04 | Nec Kyushu Ltd | Pitch converter |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63106140U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | ||
| JPS646047U (ja) * | 1987-06-30 | 1989-01-13 |
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