KR100499162B1 - 반도체장치 제조설비의 척조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 복수개 수용하는 캐리어와 보트 등의 사이에서 한 번에 소정 개수의 웨이퍼를 흡착 고정하도록 형성된 반도체장치 제조설비의 척조립체에 관한 것이다.
본 발명의 반도체장치 제조설비의 척조립체는 장방형으로 상면 전단부에 내부의 진공통로와 연통하는 진공홈이 형성되고, 후단부에 상·하측 관통된 진공홀이 형성된 진공척과; 상기 진공척이 삽입식으로 안착되도록 후단부를 커버하며, 소정 위치에 상기 진공홀과 연통하는 홀이 형성된 압착부재와; 상면에 상기 압착부재를 포함한 상기 진공척이 위치되는 안착홈이 형성된 고정체블록; 및 상기 복수개의 고정체블록이 적층된 상측과 하측을 커버하여 체결됨으로써 상기 각각의 진공척과 압착부재를 가압하도록 형성된 커버블록;을 포함한 구성으로 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 각각의 압착부재가 안착홈과 자리홈에 위치됨과 동시에 진공홀과 홀 및 구멍이 일치되고, 압착부재에 진공척을 삽입 또는 인출식으로 설치함에 따라 교체가 용이하며, 척조립체의 분해 조립에 따른 노동력 감소와 조립 시간이 단축되는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조설비의 척조립체
본 발명은 반도체장치 제조설비의 척조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 복수개 수용하는 캐리어와 보트 등의 사이에서 한 번에 소정 개수의 웨이퍼를 흡착 고정하도록 형성된 반도체장치 제조설비의 척조립체에 관한 것이다.
통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되고, 이렇게 반도체장치로 제작되기까지의 웨이퍼는 캐리어에 복수개 담겨진 상태로 각각의 공정을 수행하는 제조설비로 이송된다.
이렇게 이송된 웨이퍼는 제조설비에 설치된 진공척 또는 진공척이 복수개 결합되어 형성된 척조립체 등에 의해 흡착 고정되고, 이송로봇이 안내하는 이송되고, 공정을 마친 후 상술한 과정의 역순으로 캐리어에 담겨진다.
상술한 바와 같이, 복수개의 웨이퍼를 흡착 고정하는데 사용되는 척조립체의 종래 기술에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
종래의 척조립체(10)는, 도1에 도시된 바와 같이, 척조립체(10) 상에 복수개 설치되는 진공척(12)은 장방형의 판 형상으로 상면이 웨이퍼의 저면에 대응하여 소정의 평탄면을 이루고, 그 내부에는 소정 공간을 이루는 진공통로(14)가 형성된다.
또한, 진공척(12) 상면의 전단부에는 상술한 진공통로(14)와 연통하는 진공홈(16)이 형성되어 있으며, 이 진공척(12)의 후단부에는 상·하측으로 관통된 진공홀(18)이 형성된다.
또한, 이러한 형상의 진공척(12) 후단부에는, 도1에 도시된 바와 같이, 판 형상의 압착부재(20a, 20b)가 상·하측에서 밀착 가능하게 위치되고, 압착부재(20a)의 소정 위치에는 상술한 진공홀(18)과 대응하여 연통하도록 형성된 홀(22)이 형성된다.
그리고, 상측 커버블록(24)에 근접하게 되는 압착부재(20b)에는 상술한 홀(22)이 형성되어 있지 않다.
이렇게 진공척(12)과 이 진공척(12)의 후단부에 압착부재(20a, 20b)가 상·하측에 밀착되어 하나의 단위 구성을 이루고, 이러한 단위 구성은 상호 엇갈려 적층식으로 배치되는 상·하측 커버블록(24, 26)과 복수개의 고정체블록(28) 사이에 각각 위치되어 압착 고정됨으로써 척조립체(10)를 이루게 된다.
한편, 상술한 하측 커버블록(26)의 상면 상에는 중심 부위를 가로지르는 안착홈(30a)이 형성되고, 이 안착홈(30a)의 소정 위치에는 상술한 압착부재(20a)의 홀(22)과 대응하는 구멍(도시하지 않음)이 형성되며, 이 구멍의 하측으로 진공펌프와 연결된 연결관(도면의 단순화를 위하여 생략함)이 통상의 방법으로 연결된다.
또한, 안착홈(30a) 상에는, 상술한 바와 같이, 단위 구성을 이루는 진공척(12)과 한 쌍의 압착부재(20a)가 위치되고, 이들 상측으로 소정 두께를 갖는 판 형상의 고정체블록(28)이 위치된다.
상술한 고정체블록(28)은, 도1에 도시된 바와 같이, 복수개가 엇갈려 적층되어 양측이 정렬 배치되고, 이들 각 고정체블록(28)의 상면 상에는 상술한 하측 커버블록(26)의 구멍이 형성된 안착홈(30a)과 동일하게 안착홈(30b)이 형성된다.
그리고, 상술한 바와 같이, 적층되는 각 고정체블록(28) 사이의 안착홈(30a, 30b)에는 단위 구성을 이루는 진공척(12)과 압착부재(20a)가 안착하여 위치되고, 상측 고정체블록(28)의 상측으로 상측 커버블록(24)이 포개어지는 형상으로 위치되어 체결구(34)로 압착 고정되는 구성으로 이루어진다.
이러한 척조립체(10)의 구성에 따른 조립 과정을 설명하면, 먼저 하측 커버블록(26)의 안착홈(30a)에 홀(22)이 형성된 압착부재(20a)를 하측 커버블록(26)의 구멍과 연통하도록 위치시키고, 그 위로 진공홀(18)이 홀(22)과 연통하도록 진공척(12)을 위치시킨다.
그리고, 다시 진공척(12) 상측으로 압착부재(20a)를 홀(22)이 진공홀(18)과 연통하도록 위치시키고, 그 위로 고정체블록(28)이 위치됨에 따라 고정체블록(28)에 형성된 구멍(32)이 홀(22)과 연통하게 된다.
이러한 과정으로 단위 구성을 일정 개수 적층하게 되면 상측 커버블록(24)을 위치시켜 고정함으로써 척조립체(10)를 이루게 된다.
이때 상측 커버블록(24)과 상측 커버블록(24)의 하측에 접하는 압착부재(20b)는 홀(22)이 형성되지 않은 밋밋한 판 형상의 것을 사용하여 상측에 위치되는 진공척(12) 외측으로 제공되는 진공압의 유출을 차단하게 된다.
그러나, 상술한 바와 같이, 하측 커버블록과 고정체블록 상에 형성된 안착홈의 형상에 의해 압착부재와 진공척이 슬라이딩 유동이 가능함에 따라 홀과 진공홀을 일치시키기 어렵고, 손상된 진공척을 교체함에 있어서도 척조립체를 모두 분리하여 다시 각각의 진공홀과 홀 및 구멍을 일치시키며 재조립해야 하는 번거로움과 그에 따른 시간 손실이 발생되는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 하측 커버블록과 고정체블록 상에 형성된 안착홈의 형상을 위치되는 압착부재와 진공척의 유동이 없이 홀과 진공홀을 정위치시키기 용이하도록 하고, 진공척을 교체함에 있어서도 손상된 진공척만을 용이하게 교체할 수 있도록 하여 척조립체의 분해 조립이 용이하도록 함으로써 노동력 감소와 조립에 따른 시간을 단축하도록 하는 반도체장치 제조설비의 척조립체를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체장치 제조설비의 척조립체는 장방형으로 상면 전단부에 내부의 진공통로와 연통하는 진공홈이 형성되고, 후단부에 상·하측 관통된 진공홀이 형성된 진공척과, 상기 진공척의 후단부가 삽입되고, 상기 삽입된 후단부를 커버하며, 소정 위치에 상기 진공홀과 연통하는 홀이 형성된 압착부재와, 상면에 진공척의 후단부가 삽입된 압착부재가 위치되는 안참홈이 형성되어 있으며, 상기 안착홈의 중심 부위 양측으로 상기 압착부재의 유동을 방지하는 자리홈이 형성되어 있는 고정체블록과, 상기 고정체블록의 상측과 하측을 커버하여 체결됨으로써 상기 각각의 진공척과 압착부재를 가압하도록 형성된 커버블록을 포함하여 구성된다.
또한, 상기 압착부재는 상기 진공척의 후단부 일정 부위가 삽입되는 포켓 형상으로 제작하거나 상기 진공척의 후단부 일정 부위에 대하여 측부가 개방되고 상측과 단부 및 하측을 커버하는 굴곡된 단일 형상으로 제작함이 바람직하다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비의 척조립체에 대하여 도2 내지 도4를 참조하여 설명하기로 한다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 척조립체의 구성 및 조립 관계를 나타낸 분해 사시도이고, 도3은 도2의 Ⅲ―Ⅲ선을 기준으로 결합된 상태를 나타낸 단면도이며, 도4는 도2의 압착부재의 다른 일 예를 나타낸 사시도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 척조립체(40)는, 도2에 도시된 바와 같이, 하측 커버블록(42)과 고정체블록(44)의 중심 부위에는 전·후 방향 소정 깊이로 가로지르는 안착홈(46a, 46b)이 형성되어 있고, 이 안착홈(46a, 46b)의 양측 소정 부위에 폭이 넓어지는 형상으로 자리홈(48)이 형성된다.
이렇게 형성된 안착홈(46a, 46b)과 자리홈(48) 상에, 도2에 도시된 바와 같이, 전방에 대하여 개방된 입구부를 갖는 압착부재(50a, 50b)가 수평 방향에 대하여 유동이 없도록 위치되고, 이 압착부재(50a, 50b)의 개방된 부위를 통해 진공척(12)의 후단부 소정 부위가 삽입되는 구성으로 이루어진다.
그리고, 상기 압착부재(50a)의 소정 부위에는 상·하측으로 관통하는 홀(52)이 형성되고, 이 홀(52)은 압착부재(50a, 50b)가 안착홈(46a, 46b)과 자리홈(48)에 위치됨에 따라 안착홈(46a, 46b)에 형성된 구멍(54)과 연통하게 된다.
따라서, 압착부재(50a, 50b)에 삽입 설치되는 진공척(12)의 후단부는 압착부재(50a, 50b) 내부의 후방 측벽에 지지되고, 이때 진공척(12)에 형성된 진공홀(18)은 압착부재(50a, 50b)의 홀(52)에 대응하여 연통하도록 위치된다.
또한, 상술한 압착부재(50a, 50b) 중 상측 진공척(12)에 대응하는 압착부재(50b)는 상측에 홀(52)이 형성되지 않은 것을 사용하게 된다.
한편, 상술한 압착부재(50a, 50b)는, 도4에 도시된 바와 같이, 삽입되는 진공척(12)에 대하여 측부를 개방하고, 상측 부위와 단부 및 하측 부위를 커버하는 형상의 압착부재(56)로 제작될 수도 있다.
상술한 바와 같이, 진공척(12)과 이 진공척(12)의 후단부를 커버하는 압착부재(50)를 포함하여 하나의 단위 구성을 이루고, 이러한 단위 구성은 적층되는 상·하측 커버블록(24, 42)과 고정체블록(44) 사이의 안착홈(46a, 46b)과 자리홈(48)에 위치되어 상·하측 커버블록(24, 42)과 고정체블록(44)의 체결에 의해 가압되어 기밀 유지가 가능하게 조립된다.
이러한 구성에 의하면, 진공척(12)이 삽입 설치되는 압착부재(50)가 하측 커버블록(42)과 고정체블록(44) 상에 형성된 안착홈(46a, 46b)과 자리홈(48)에 위치됨에 따라 진공홀(18)과 홀(52) 및 구멍(54)이 각각 연통하게 되고, 하측 커버블록(42)과 고정체블록(44)의 체결력을 느슨하게 하여 진공척(12)에 대한 압착부재(50)의 가압력을 줄이므로써 압착부재(50)로부터 진공척(12)을 인출 및 삽입이 용이하게 된다.
따라서, 척조립체(40)의 분해 조립이 용이할 뿐 아니라 손상된 진공척(12)을 분해하지 않은 상태에서 교체하게 된다.
따라서, 본 발명에 의하면, 각각의 압착부재가 안착홈과 자리홈에 위치됨과 동시에 진공홀과 홀 및 구멍이 일치되고, 압착부재에 진공척을 삽입 또는 인출식으로 설치함에 따라 교체가 용이하며, 척조립체의 분해 조립에 따른 노동력 감소와 조립 시간이 단축되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 종래의 척조립체의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 척조립체의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
도3은 도2에 도시된 Ⅲ―Ⅲ선을 기준한 척조립체의 결합 상태를 나타낸 부분 단면도이다.
도4는 도2에 도시된 압착부재의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10, 40: 척조립체 12: 진공척
14: 진공통로 16: 진공홈
18: 진공홀 20a, 20b, 50a, 50b, 56: 압착부재
22, 52: 홀 24: 상측 커버블록
26, 42: 하측 커버블록 28, 44: 고정체블록
30a, 30b, 46a, 46b: 안착홈 32, 54: 구멍
34: 체결구 48: 자리홈

Claims (3)

  1. 장방형으로 상면 전단부에 내부의 진공통로와 연통하는 진공홈이 형성되고, 후단부에 상·하측 관통된 진공홀이 형성된 진공척;
    상기 진공척의 후단부가 삽입되고, 상기 삽입된 후단부를 커버하며, 소정 위치에 상기 진공홀과 연통하는 홀이 형성된 압착부재;
    상면에 진공척의 후단부가 삽입된 압착부재가 위치되는 안착홈이 형성되어 있으며, 상기 안착홈의 중심 부위 양측으로 상기 압착부재의 유동을 방지하는 자리홈이 형성되어 있는 고정체블록; 및
    상기 고정체블록의 상측과 하측을 커버하여 체결됨으로써 상기 각각의 진공척과 압착부재를 가압하도록 형성된 커버블록을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체장치의 제조설비의 척조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 압착부재는 상기 진공척의 후단부 일정 부위가 삽입되는 포켓 형상으로 제작됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 척조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 압착부재는 상기 진공척의 후단부 일정 부위에 대하여 측부가 개방되고 상측과 단부 및 하측을 커버하는 단일의 굽은 형상으로 제작됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 척조립체.
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