JPH0546839U - 液晶基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 移載時間の大幅な短縮を図り、また発塵の基
板に対する影響を極力少なくする。 【構成】 複数のプレート33をそれらの基端部にスペー
サ32を介装して積層することにより、ローダー30を構成
する。そして、このローダー30を昇降させる昇降用エア
シリンダ26と、このローダー30を昇降用エアシリンダ26
と共に２つのカセット１，１’間にて水平面内を移動さ
せる前後走行用キャリア23及び横走行用キャリア25を設
ける。これにより、前記ローダー30の複数のプレート33
によって、カセット１内の複数の液晶基板２を一括して
取出し、他のカセット１’へ移載する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、液晶基板の製造工程（プロセス）間において、液晶基板収納用の１ つのカセットから他のカセットへ液晶基板を移載する液晶基板移載装置に関する 。

【０００２】

【従来の技術】

例えばパソコンやワープロなどのディスプレイ装置に用いられる液晶基板は、 角型のガラス基板から、クリーンな環境にて、様々な工程（洗浄、レジストコー ティング、露光、現像、エッチッグ等）を経て製造がなされる。 各工程においては、図７及び図８に示すようなカセット１に、通常20枚程度の 液晶基板２を収納して運び、１枚ずつ出し入れして、各種処理を行う。カセット １は、天板11、底板12及び一対の側板13Ａ，13Ｂから構成されると共に、各側板 13Ａ，13Ｂの内面にそれぞれ水平方向に延びる溝（スロット）14Ａ，14Ｂが上下 方向に複数（20個程度）形成され、一対の側板13Ａ，13Ｂ間で左右に対をなす溝 14Ａ，14Ｂにより各液晶基板２の両端部を支えて、複数（20枚程度）の液晶基板 ２を収納するようになっている。尚、天板11、底板12及び側板13Ａ，13Ｂには、 各工程での必要に応じた切欠き等が形成されるが、図示していない。

【０００３】 そして、工程間においては、各工程において専用のカセットを使用することか ら、１つのカセットから他のカセットへ液晶基板を移載する必要がある。 このための液晶基板移載装置として、従来は、カセット間の水平面内を移動可 能でかつ昇降可能な１枚のプレートからなるローダーを使用している。すなわち 、ローダーのプレートを前記１つのカセットに向けて前進させることにより、そ のプレートを移載する液晶基板の下側空間（当該液晶基板とその下側の液晶基板 との間）に挿入し、挿入後、プレートを上動させて、液晶基板を溝内で浮かせて 持ち上げる。そして、そのままローダーのプレートを後退させて、液晶基板を取 出し、このローダーのプレートを前記他のカセット側に移動させて、逆の手順で 移載する。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の液晶基板移載装置にあっては、１つのカセッ トから他のカセットへ液晶基板を１枚ずつ移載する構成となっていたため、通常 20枚程度の液晶基板を全て移載し終えるのに５〜10分もかかってしまうという問 題点があった。

【０００５】 また、移載操作により少なからぬ発塵を生じるが、従来の液晶基板移載装置に あっては、複数回の移載動作が必要となることから、発塵回数の増加を招き、発 塵による基板への影響が避けられないという問題点もあった。 本考案は、このような実情に鑑み、移載時間の大幅な短縮を図り、また発塵の 基板に対する影響を極力少なくすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

このため、本考案は、天板、底板及び一対の側板から構成されると共に、各側 板の内面にそれぞれ水平方向に延びる溝が上下方向に複数形成され、一対の側板 間で左右に対をなす溝により各液晶基板の両端部を支えて、複数の液晶基板を収 納する１つのカセットから、他のカセットへ液晶基板を移載する液晶基板移載装 置であって、複数のプレートをそれらの基端部にスペーサを介装して前記溝の上 下方向の形成間隔と同間隔で積層することにより、複数の液晶基板を一括して移 載するローダーを構成する一方、このローダーを昇降させるアクチュエータと、 このローダーを昇降用アクチュエータと共に前記２つのカセット間にて水平面内 を移動させる移動機構とを設けてなる液晶基板移載装置を提供する。

【０００７】

【作用】

上記の構成においては、複数のプレートを備えるローダーを前記１つのカセッ トに向けて前進させることにより、ローダーの各プレートを各液晶基板の下側空 間に挿入し、挿入後、昇降用アクチュエータによりローダーのプレートを全て上 動させて、各液晶基板を溝内で浮かせて持ち上げる。そして、そのままローダー を後退させて、複数の液晶基板を一括して取出す。この後、ローダーを前記他の カセットに向けて前進させることにより、ローダーの各プレート上の液晶基板を 溝内に浮かせて挿入し、挿入後、昇降用アクチュエータによりローダーのプレー トを全て下動させて、各液晶基板を溝に支持させると共に、各プレートをフリー 状態にする。そして、そのままローダーを後退させて、移載動作を終了する。こ のようにして、前記１つのカセットに収納されている複数の液晶基板を一括して 、前記他のカセットへ移載するのである。

【０００８】

【実施例】

以下に本考案の一実施例を説明する。 図１〜図３を参照し、装置本体20上の一部に段違いにカセットステージ21が設 けられ、このステージ21上に、複数の液晶基板２が収納されているカセット（供 給側カセット）１と、空のカセット（収納側カセット）１’とがセットされる。

【０００９】 また、装置本体20上に２本のローダー前後走行用ガイドレール22が設けられ、 これらのガイドレール22上を前後走行用キャリア23が走行するようになっている 。また、この前後走行用キャリア23上に２本のローダー横走行用ガイドレール24 が設けられ、これらのガイドレール24上を横走行用キャリア25が走行するように なっている。尚、これら前後走行用キャリア23及び横走行用キャリア25により移 動機構が構成される。

【００１０】 横走行用キャリア25上には、中央部にローダー昇降用アクチュエータとしての エアシリンダ26がその出力ロッド27を上向きにして設けられ、また両端部にそれ ぞれローダー昇降用ガイドレール28が設けられている。 ローダー30は、支持板31と、複数のスペーサ32と、複数のプレート33とからな り、支持板31上にて、複数の細長のプレート33をそれらの基端部にスペーサ32を 介装して、カセット１，１’における溝14Ａ，14Ｂの上下方向の形成間隔（溝ピ ッチ）と同間隔で積層してなる。具体的には、支持板31の上面にネジで固定され るスペーサ32の上面の溝34にプレート33の基端部を嵌入させてネジで固定し、そ のスペーサ32の上に次のスペーサ32をネジで固定し、更にこのスペーサ32の上面 の溝34にプレート33の基端部を嵌入させてネジで固定する方法により、積層して いる。尚、図４及び図５には、支持板31とスペーサ32とを固定するネジ35、スペ ーサ32とプレート33とを固定するネジ36、及び、スペーサ32どうしを固定するネ ジ37を示してある。

【００１１】 そして、支持板31の底面中央部に前記昇降用エアシリンダ26の出力ロッド27先 端を固定し、また、支持板31の左右両端部にガイド38を固定して、これらのガイ ド38を前記昇降用ガイドレール28に案内させてある。 また、スペーサ32及びプレート33には、その断面を図６に示すように構成して 、内部に一連の空気通路39を形成し、スペーサ32側の開口40を可撓性の配管41に より電磁開閉弁42を介して図示しない負圧源に接続することにより、プレート33 側の開口、すなわちプレート33上面の複数の空気吸引口43（図４参照）によって 、液晶基板２を真空吸着しうるようにしてある。

【００１２】 次に移載動作について説明する。 無人走行車両等により、カセットステージ21上に、複数の液晶基板２が収納さ れているカセット（供給側カセット）１と、空のカセット（収納側カセット）１ ’とをセットする。 横走行用キャリア25を横方向に走行させて、ローダー30をカセット１の前方に 位置せしめ、次いで前後走行用キャリア23を前後方向に走行させて、ローダー30 をカセット１に向けて前進させる。これにより、ローダー30の各プレート33をカ セット１における各液晶基板２の下側空間（当該液晶基板とその下側の液晶基板 との間）に挿入する。

【００１３】 挿入後、ローダー昇降用エアシリンダ26を所定の微小量（溝ピッチの１／２で 、５mm程度）突出作動させて、ローダー30を上動させ、各プレート33により、各 液晶基板２を溝14Ａ，14Ｂ内で浮かせて持ち上げる。同時に、各電磁開閉弁42を ＯＮにして開弁させ、各プレート33上面の空気吸引口43により、各液晶基板２を 真空吸着する。

【００１４】 この状態から、前後走行用キャリア23を前後方向に走行させて、ローダー30を カセット１から後退させる。これにより、カセット１から、全ての液晶基板２を それぞれプレート33に載せたまま取出す。このとき、各液晶基板２は溝14Ａ，14 Ｂ内で浮いているので、接触発塵が防止される。 そして、横走行用キャリア25を横方向に走行させて、ローダー30をカセット１ ’の前方に位置せしめ、次いで前後走行用キャリア23を前後方向に走行させて、 ローダー30をカセット１’に向けて前進させる。これにより、ローダー30の各プ レート33上の液晶基板２をカセット１における各溝14Ａ，14Ｂ内に浮かせて挿入 する。このときも、各液晶基板２は溝14Ａ，14Ｂ内で浮いているので、接触発塵 が防止される。

【００１５】 挿入後、ローダー昇降用エアシリンダ26を引込み作動させて、ローダー30を下 動させ、各液晶基板２の両端部を溝14Ａ，14Ｂに支持させると共に、各プレート 33をフリー状態にする。同時に、各電磁開閉弁42をＯＦＦにして、真空吸着を停 止する。 この状態から、前後走行用キャリア23を前後方向に走行させて、ローダー30を カセット１’から後退させる。これにより、移載動作が終了する。要する時間は １分位である。

【００１６】 尚、前後走行用キャリア23及び横走行用キャリア25は、互いに同期して作動さ せ、ローダー30が水平面内においてＵ字状の移動軌跡を描くようにすれば、動き をよりスムーズにすることができる。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、１つのカセットに収納されている複数の 液晶基板を一括して、他のカセットへ移載することにより、１回の移載動作で作 業を終了でき、移載時間の大幅な短縮を図ることができ、また、発塵回数も１回 となって、発塵の基板に対する影響を極力少なくすることができる。さらに、カ セットに収納される液晶基板の枚数が変わっても、プレートの積層枚数を変える ことより対応可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示す全体の平面図

【図２】 全体の正面図

【図３】 全体の側面図（図２のＡ方向矢視図）

【図４】 ローダーの平面図

【図５】 ローダーの正面図

【図６】 ローダーの断面図

【図７】 カセットの斜視図

【図８】 カセットの基板収納状態を示す図

【符号の説明】

１，１’ カセット ２ 液晶基板 11 天板 12 底板 13Ａ，13Ｂ 側板 14Ａ，14Ｂ 溝 20 装置本体 21 カセットステージ 23 前後走行用キャリア 25 横走行用キャリア 26 ローダー昇降用エアシリンダ 30 ローダー 31 支持板 32 スペーサ 33 プレート

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】天板、底板及び一対の側板から構成される
   と共に、各側板の内面にそれぞれ水平方向に延びる溝が
   上下方向に複数形成され、一対の側板間で左右に対をな
   す溝により各液晶基板の両端部を支えて、複数の液晶基
   板を収納する１つのカセットから、他のカセットへ液晶
   基板を移載する液晶基板移載装置であって、複数のプレ
   ートをそれらの基端部にスペーサを介装して前記溝の上
   下方向の形成間隔と同間隔で積層することにより、複数
   の液晶基板を一括して移載するローダーを構成する一
   方、このローダーを昇降させるアクチュエータと、この
   ローダーを昇降用アクチュエータと共に前記２つのカセ
   ット間にて水平面内を移動させる移動機構とを設けてな
   る液晶基板移載装置。