JPS6359329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6359329U JPS6359329U JP15290686U JP15290686U JPS6359329U JP S6359329 U JPS6359329 U JP S6359329U JP 15290686 U JP15290686 U JP 15290686U JP 15290686 U JP15290686 U JP 15290686U JP S6359329 U JPS6359329 U JP S6359329U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- view
- cartridge
- removal tool
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図〜第１５図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図は板状体取出し具が半導体ウエ
ハを支持した状態を示し、同図ａは平面図、同図
ｂ及びｃは正面図、第２図は板状体取出し装置の
概略正面図、第３図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及びｆは
半導体ウエハ移換えの手順を示す要部断面図、第
４図ａ及びｂは位置ずれした半導体ウエハが板状
体取出し具に支持されている状態を示す正面図、
第５図はＣＶＤ装置周辺の概略平面図、第６図は
他の板状体取出し具が半導体ウエハを支持した状
態を示し、同図ａは平面図、同図ｂは同図ａの
ｂ−ｂ線矢視断面図、第７図、第８図及び第９
図は、いずれも更に他の板状体取出し具を示す斜
視図、第１０図はカートリツジ内のウエハの収容
状態の一例を示す模式断面図、第１１図は、第１
０図の状態で半導体ウエハを収容しているカート
リツジを示し、同図ａは平面図、同図ｂは正面図
、第１２図はバスケツトの斜視図、第１３図は半
導体ウエハを収容したバスケツトを示し、同図ａ
に平面図、同図ｂは正面図、第１４図は他のカー
トリツジ内の半導体ウエハの収容状態を示す模式
断面図、第１５図は他のカートリツジを示す斜視
図である。第１６図及び第１７図は比較例を示す
ものであつて、第１６図は板状体取出し具の斜視
図、第１７図は板状体取出し具の正面図である。 なお、図面に示された符号において、１，３１
……カートリツジ、１ｅ，３１ｅ……カートリツ
ジのつば、１ｆ……カートリツジの縦寸法の大き
い溝、１ｇ……カートリツジの縦寸法の小さい溝
、２，２Ａ，２Ｂ，３２……バスケツト、２ｃ，
３２ｃ……バスケツトのつば、２ｅ……バスケツ
トの溝、３，３Ａ，４，５，６……板状体取出し
具、３ａ，３Ａａ……板状体支持部、３ｂ，４ｂ
，５ｂ，６ｂ，６ｃ……板状体支持突起、３ｃ，
３Ａｃ，４ｃ，５ｃ，６ｄ，６ｅ……傾斜面、４
ａ，５ａ，６ａ……平板、８，８Ａ，８Ｂ……半
導体ウエハ、８ａ……半導体ウエハの表面、８ｂ
……半導体ウエハの裏面、２５……半導体ウエハ
の表面が対向する空間（ＣＶＤ処理用空間）、２
６……半導体ウエハの裏面が対向する空間である
。
であつて、第１図は板状体取出し具が半導体ウエ
ハを支持した状態を示し、同図ａは平面図、同図
ｂ及びｃは正面図、第２図は板状体取出し装置の
概略正面図、第３図ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ及びｆは
半導体ウエハ移換えの手順を示す要部断面図、第
４図ａ及びｂは位置ずれした半導体ウエハが板状
体取出し具に支持されている状態を示す正面図、
第５図はＣＶＤ装置周辺の概略平面図、第６図は
他の板状体取出し具が半導体ウエハを支持した状
態を示し、同図ａは平面図、同図ｂは同図ａの
ｂ−ｂ線矢視断面図、第７図、第８図及び第９
図は、いずれも更に他の板状体取出し具を示す斜
視図、第１０図はカートリツジ内のウエハの収容
状態の一例を示す模式断面図、第１１図は、第１
０図の状態で半導体ウエハを収容しているカート
リツジを示し、同図ａは平面図、同図ｂは正面図
、第１２図はバスケツトの斜視図、第１３図は半
導体ウエハを収容したバスケツトを示し、同図ａ
に平面図、同図ｂは正面図、第１４図は他のカー
トリツジ内の半導体ウエハの収容状態を示す模式
断面図、第１５図は他のカートリツジを示す斜視
図である。第１６図及び第１７図は比較例を示す
ものであつて、第１６図は板状体取出し具の斜視
図、第１７図は板状体取出し具の正面図である。 なお、図面に示された符号において、１，３１
……カートリツジ、１ｅ，３１ｅ……カートリツ
ジのつば、１ｆ……カートリツジの縦寸法の大き
い溝、１ｇ……カートリツジの縦寸法の小さい溝
、２，２Ａ，２Ｂ，３２……バスケツト、２ｃ，
３２ｃ……バスケツトのつば、２ｅ……バスケツ
トの溝、３，３Ａ，４，５，６……板状体取出し
具、３ａ，３Ａａ……板状体支持部、３ｂ，４ｂ
，５ｂ，６ｂ，６ｃ……板状体支持突起、３ｃ，
３Ａｃ，４ｃ，５ｃ，６ｄ，６ｅ……傾斜面、４
ａ，５ａ，６ａ……平板、８，８Ａ，８Ｂ……半
導体ウエハ、８ａ……半導体ウエハの表面、８ｂ
……半導体ウエハの裏面、２５……半導体ウエハ
の表面が対向する空間（ＣＶＤ処理用空間）、２
６……半導体ウエハの裏面が対向する空間である
。
Claims (1)
- 板状体を水平に収容する板状体収容装置から前
記板状体を取出す板状体取出し具であつて、前記
板状体の周辺を載置して前記板状体を支持する傾
斜面が設けられている板状体取出し具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290686U JPS6359329U (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15290686U JPS6359329U (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6359329U true JPS6359329U (ja) | 1988-04-20 |
Family
ID=31071311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15290686U Pending JPS6359329U (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6359329U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139948A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | Tel Sagami Ltd | 基板の移載方法 |
| JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JPH07297262A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-11-10 | Applied Materials Inc | 真空を使った真空チャンバ内のウエハ取扱 |
| KR100350448B1 (ko) * | 1999-08-25 | 2002-08-28 | 삼성전자 주식회사 | 실리카 소결용 웨이퍼 카세트 |
| JP2007242980A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 保持ピッチ変換構造 |
| US8444194B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-05-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Substrate transport hand and substrate transport robot |
-
1986
- 1986-10-03 JP JP15290686U patent/JPS6359329U/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139948A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-29 | Tel Sagami Ltd | 基板の移載方法 |
| JPH03101247A (ja) * | 1988-11-30 | 1991-04-26 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
| JPH07297262A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-11-10 | Applied Materials Inc | 真空を使った真空チャンバ内のウエハ取扱 |
| KR100350448B1 (ko) * | 1999-08-25 | 2002-08-28 | 삼성전자 주식회사 | 실리카 소결용 웨이퍼 카세트 |
| JP2007242980A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 保持ピッチ変換構造 |
| JP4523560B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2010-08-11 | Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 | 保持ピッチ変換構造 |
| US8444194B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-05-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Substrate transport hand and substrate transport robot |
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