JPH1056056A - ウェハカセットおよびウェハ挿抜システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のウェハカセットにおいては、収納され
ているウェハ体の保持が確実になされておらず、カセッ
ト内でウェハ体が動き回りやすいという問題があった。 【解決手段】 外筐２０と、互いに平行な複数の保持溝
３１を有する保持体３０とを具備してなるウェハカセッ
トであって、保持体３０よりも挿抜面２３ｂ側に位置さ
せて、ウェハ体Ｗの挿抜方向Ａに直交して延在する柱状
体４０が設けられ、柱状体４０は、延在方向Ｂに移動可
能とされることにより、凸部４１が保持溝３１と位置を
合わせたときには凸部４１が保持溝３１からのウェハ体
Ｗの抜出を阻止し、凹部４２が保持溝３１と位置を合わ
せたときには凹部４２が保持溝３１に対するウェハ体Ｗ
の挿抜を許容する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハカセットお
よびウェハ挿抜システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体産業等において
は、半導体ウェハ等のウェハ体を収納して運搬するため
に、ウェハカセットが使用されている。

【０００３】このようなウェハカセットは、例えば、特
開平８−８３３１号公報において開示されている。図９
は、上記公報において開示されている従来のウェハカセ
ット１を示すものである。

【０００４】図において、ウェハカセット１は、上面お
よび底面の２面が開口した箱型容器である。ただし、底
面は幅を絞ってあるため、収納されたウェハが落下する
ことはない。ウェハカセット１は、対向する２側面に、
互いに平行な複数の保持溝２を画成するよう、互いに平
行に櫛歯状に突出している複数の突出部３から形成され
ている保持体４を備えている。このようなウェハカセッ
ト１においては、対向する保持溝２、２により画成され
るスロット５内に、図示しないウェハ体が収容される。
また、収納されたウェハ体は、ウェハカセット１の上面
側には何ら干渉するものがないことから、上面側から自
由に取り出すことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のウェハカセット１においては、ウェハ体を上面側か
ら自由に取り出すことができる反面、ウェハカセット１
の搬送などの取扱時において、ウェハカセット１を、不
用意に上下動させたり、斜めにしたりしてしまった場合
には、収納されているウェハ体がカセット内で動き回る
ことになる。ひどい場合には、飛び出す可能性すらあ
る。すなわち、上記従来のウェハカセット１において
は、収納されているウェハ体の保持が確実になされてお
らず、カセット内でウェハ体が動き回りやすいという問
題があった。

【０００６】また、上記従来のウェハカセット１におい
ては、一方向からしか（上面側からしか）ウェハ体の挿
抜ができないため、ウェハカセット１を置く向きが、自
ずと限定されていた。すなわち、ウェハカセット１の取
扱に際して自由度がないため、製造担当者の作業負担を
増加させていた。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ウェハ体の保持を確実になし得るウェハカセットを
提供することを目的としている。本発明は、また、２方
向からのウェハ体の挿抜を可能とすることにより、ウェ
ハカセットの取扱の自由度を高め、作業負担を軽減し得
るウェハカセットを提供することを目的としている。本
発明は、さらに、上記のようにウェハ体の保持を確実に
行った場合においても、ウェハ体の挿抜を容易になし得
るウェハ挿抜システムを提供することを目的としてい
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のウェハカ
セットにおいては、少なくとも一側面が開口する箱型構
造とされた外筐と、該外筐内に設けられかつ互いに平行
な複数の保持溝を有する保持体とを具備してなり、前記
保持体の前記保持溝により画成される各スロット内に、
ウェハ体を１枚ずつ収容するとともに、開口している前
記一側面が前記ウェハ体が挿抜される挿抜面をなすウェ
ハカセットであって、前記保持体よりも前記挿抜面側に
位置させて、前記ウェハ体の挿抜方向に直交して延在す
るとともに、前記保持溝と等ピッチの櫛歯状の凹凸形状
を有する柱状体が設けられ、該柱状体は、該柱状体の延
在方向に移動可能とされることにより、凸部が前記保持
溝と位置を合わせたときには凸部が前記保持溝からの前
記ウェハ体の抜出を阻止し、凹部が前記保持溝と位置を
合わせたときには凹部が前記保持溝に対する前記ウェハ
体の挿抜を許容することを特徴としている。請求項２記
載のウェハカセットにおいては、請求項１記載のウェハ
カセットにおいて、前記柱状体の前記一端部側には、該
柱状体の延在方向に対して直交する方向に突出する鍔部
が設けられ、前記柱状体は、前記鍔部と前記外筐の内壁
との間に、前記内壁に反力をとって前記鍔部を前記柱状
体の他端部側に向けて押圧する付勢部材が介装されるこ
とにより、自身の延在方向に移動可能とされていること
を特徴としている。請求項３記載のウェハカセットにお
いては、請求項１または２記載のウェハカセットにおい
て、前記外筐の対向する２側面に前記保持体が設けら
れ、これら２側面に隣接する他の対向する２側面が前記
挿抜面とされていることを特徴としている。請求項４記
載のウェハ挿抜システムにおいては、請求項１ないし３
のいずれかに記載のウェハカセットと、該ウェハカセッ
トに対して使用されるウェハカセット支持台とを具備し
て構成されるウェハ挿抜システムであって、前記ウェハ
カセット支持台は、前記ウェハカセットの支持位置を規
制するための位置規制部と、前記柱状体に当接して前記
柱状体を前記付勢手段の付勢力に抗して突き押すための
突き押し手段とを具備することを特徴としている。請求
項５記載のウェハ挿抜システムにおいては、請求項４記
載のウェハ挿抜システムにおいて、前記突き押し手段
は、突起部であることを特徴としている。

【０００９】請求項１記載の発明によると、ウェハ体の
収容時には、保持溝内に収容されているウェハ体は、柱
状体の凸部によっても保持されている。よって、ウェハ
体の保持が確実になされている。また、柱状体を延在方
向に移動させると、柱状体の凸部による保持がはずれ、
柱状体の凹部が保持溝と位置合わせされる。よって、凹
部を通してウェハ体の挿抜が容易に行われる。請求項２
記載の発明によると、柱状体の鍔部と外筐の内壁との間
には、付勢部材が介装されており、この付勢部材は、外
筐の内壁に反力をとって鍔部を柱状体の他端部側に向け
て押圧している。よって、付勢部材の付勢力に抗して力
を印加すると、柱状体は、延在方向に移動することにな
る。請求項３記載の発明によると、外筐の対向する２側
面が挿抜面とされているので、２方向からのウェハ体の
挿抜が可能である。請求項４記載の発明によると、ウェ
ハカセットをウェハカセット支持台に設置したときに
は、ウェハカセット支持台の位置規制部により、ウェハ
カセットの支持位置が規制され、ウェハカセットは、所
定位置に支持される。この場合、ウェハカセット支持台
の突き押し手段が、ウェハカセットの柱状体に当接し
て、柱状体を延在方向に移動させ、挿抜可能な状態とす
る。請求項５記載の発明によると、突き押し手段が突起
部であることにより、容易な構成で突き押し手段が実現
される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明のウェハカセットお
よびウェハ挿抜システムの実施の形態について、図面を
参照して説明する。

【００１１】図１〜図３は、本発明のウェハカセットの
一実施形態を示すもので、図において、ウェハカセット
１０は、外筐２０、保持体３０、柱状体４０、等を備え
て構成されており、半導体ウェハ等のウェハ体Ｗの収納
・運搬に供されるものである。

【００１２】外筐２０は、上壁２１、底壁２２、側壁２
３、２４、２５、２６を備えた箱型構造とされている。
この場合、対向する２つ側壁２３、２４は、フレーム部
２３ａ、２４ａからなるもので、フレーム部２３ａ、２
４ａで囲まれる中央部が開口している。この開口してい
る部分が、ウェハカセット１０に対してウェハ体Ｗが図
示矢印Ａ方向にに挿抜される挿抜面２３ｂ、２４ｂを構
成している。また、上壁２１、底壁２２には、後述の柱
状体４０に対応する位置に、それぞれ貫通孔２１ａ、２
２ａが形成されている。

【００１３】保持体３０は、側壁２５、２６の各内面に
対向して設けられたもので、互いに平行な所定ピッチの
複数の保持溝３１を画成するよう、互いに平行に櫛歯状
に突出している複数の突出部３２から形成されている。
この場合、対向する保持溝３１、３１により画成される
複数段のスロット３３内に、ウェハ体Ｗがそれぞれ１枚
ずつ収容されることになる（図１から図３においては、
１枚のウェハ体Ｗだけが収容されている場合を図示して
いる）。

【００１４】柱状体４０は、保持体３０よりも挿抜面２
３ｂ、２４ｂ側に位置させて設けられており、図示例に
おいては、各挿抜面２３ｂ、２４ｂに対して２個ずつ設
けられ、ウェハ体Ｗの外周に対して略均等に配置されて
いる。柱状体４０は、ウェハ体Ｗの挿抜方向Ａに直交し
て上下方向（図示矢印Ｂ方向）に直立状態に延在してい
る。柱状体４０は、概略的には楕円柱をなすよう形成さ
れており、ウェハ体Ｗを向く側には、保持溝３１と等ピ
ッチの櫛歯状の凹凸形状が、交互に形成された凸部４１
および凹部４２により形成されている。この場合、柱状
体４０は、ウェハ体Ｗの収容時には、凸部４１が保持溝
３１に対して高さ位置が合うことにより、ウェハ体Ｗの
抜出を阻止し得るよう配置されている。

【００１５】柱状体４０の上部には、柱状体４０の延在
方向Ｂに対して直交する方向に突出する鍔部４３が設け
られている。そして、鍔部４３と上壁２１の内壁との間
には、コイルスプリング（付勢部材）４４が柱状体４０
の軸部４５の周囲に巻回されて介装されている。このコ
イルスプリング４４は、上壁２１の内壁に反力をとって
鍔部４３を下方に向けて押圧している。この場合、軸部
４５の外形は、上壁２１の貫通孔２１ａと同じであるか
あるいはわずかに小さめに設定されている。

【００１６】柱状体４０の下部には、貫通孔４６ａを有
する載置ブロック４６が設けられており、この場合、柱
状部４０は、載置ブロック４６上に載置された状態にあ
る。

【００１７】次に、上記ウェハカセット１０に対して好
適に使用することができるウェハカセット支持台につい
て、図４および図５を参照して説明する。

【００１８】図において、ウェハカセット支持台５０
は、基台５１、コーナーブロック（位置規制部）６０、
突起部（突き押し手段）７０、等を備えて構成されてい
る。

【００１９】コーナーブロック６０は、ウェハカセット
１０の支持位置を規制するためのもので、ウェハカセッ
ト１０の外筐２０の四隅の寸法に適合する寸法に形成さ
れており、外筐２０の四隅を保持する。コーナーブロッ
ク６０には、傾斜面６１が形成されており、ウェハカセ
ット１０が多少ずれた位置から挿入される場合において
も、この傾斜面６１に案内させることにより、所定位置
における保持が容易に達成されるようになっている。す
なわち、ウェハカセット１０を多少ずれた位置から挿入
したにしても、所定位置にウェハカセット１０を支持す
ることができ、作業者の負担が軽減されるようになって
いる。

【００２０】突起部７０は、柱状体４０の位置に対応す
る位置に設けられている。

【００２１】次に、本発明のウェハ挿抜システムの実施
形態について、上記ウェハカセット１０および上記ウェ
ハカセット支持台５０を組み合わせて使用する場合を例
にとって説明する。

【００２２】ウェハカセット１０においては、保持溝３
１内に収容されているウェハ体Ｗは、柱状体４０の凸部
４１によっても保持されており、この凸部４１により、
保持溝３１からのウェハ体Ｗの抜出が阻止されている。

【００２３】そのようなウェハカセット１０をウェハカ
セット支持台５０にセットしたときには、図６に示すよ
うに、突起部７０が貫通孔２２ａ、４６ａを挿通して柱
状体４０の下面に当接し、柱状体４０をコイルスプリン
グ４４の付勢力に抗して下方から上方へと、柱状体の延
在方向（図示矢印Ｂ）に突き上げる。この場合、上壁２
１には貫通孔２１ａが形成されていることにより、柱状
体４０の軸部４５は、貫通孔２１ａに案内されることで
軸ぶれを起こすことなく、貫通孔２１ａを挿通して上方
へと退避することができる。これにより、凸部４１によ
るウェハ体Ｗの保持がはずれ、柱状体４０の凹部４２が
保持溝３１と位置合わせされる。よって、凹部４２を通
して図示矢印Ａ方向のウェハ体Ｗの挿抜が可能とされ
る。

【００２４】ウェハカセット１０をウェハカセット支持
台５０から取り外したときには、柱状体４０がコイルス
プリング４４の付勢力によって初期状態へと復帰し、ウ
ェハ体Ｗは、再び挿抜不可能にウェハカセット１０内に
収容されることになる。

【００２５】さて、次に、図７を参照して、柱状体４０
の凸部４１の厚さの最小値について説明する。

【００２６】保持溝３１のピッチａ1 と、柱状体４０の
凸部４１のピッチａ2 とは、既述のごとく、等ピッチで
ある。図７（ａ）より、凸部４１の厚さａ5 は、保持溝
３１の厚さａ3 とウェハ体Ｗの厚さａ4 との差（ａ3 −
ａ4 ）よりも大きければ、凸部４１により、ウェハ体Ｗ
の抜出を阻止できることがわかる。この場合、図７
（ｂ）に示すように、柱状体４０が上方に移動したとき
には、凹部４２を通してウェハ体Ｗの抜出が可能とされ
ることは、明らかである。

【００２７】また、図８を参照して、柱状体４０の凸部
４１の厚さの最大値について説明する。

【００２８】保持溝３１のピッチａ1 と、柱状体４０の
凸部４１のピッチａ2 とは、既述のごとく、等ピッチで
ある。この場合、図８（ａ）に示すように、この場合、
凸部４１によりウェハ体Ｗの抜出が阻止されることは、
明らかである。図８（ｂ）より、柱状体４０が上方に移
動したときに、凹部４２を通してのウェハ体Ｗの抜出を
可能とするためには、凸部４１の厚さａ5 は、保持溝３
１のピッチａ1 とウェハ体Ｗの厚さａ4 との差（ａ1 −
ａ4 ）よりも小さければ良いことがわかる。

【００２９】上記のようなウェハカセット１０によれ
ば、ウェハ体Ｗの収容時には、柱状体４０の凸部４１に
より保持溝３１からのウェハ体Ｗの抜出を阻止すること
ができ、ウェハ体Ｗの保持を確実に行うことができる。
したがって、ウェハカセット１０の取扱時におけるウェ
ハカセット１０内でのウェハ体Ｗの移動を十分に抑制す
ることができ、作業者に無用の負担をかけることがな
い。また、柱状体４０を延在方向に移動させることによ
り、凹部４２を保持溝３１と位置合わせして凹部４２を
通してウェハ体Ｗの挿抜を行うことができる。

【００３０】また、柱状体４０は、この柱状体４０の上
部に設けれたコイルスプリング４４により、常に下方に
向けて付勢されている。よって、コイルスプリング４４
の付勢力に抗して力を印加することにより、柱状体４０
を容易に延在方向Ｂに移動させることができる。

【００３１】また、外筐２０の対向する２つ側壁２３、
２４の中央部分が挿抜面２３ｂ、２４ｂとされているこ
とにより、２方向からのウェハ体Ｗの挿抜が可能であ
り、ウェハカセット１０の向きに関して自由度を高める
ことができ、作業負担を軽減することができる。

【００３２】一方、上記ウェハ挿抜システムによれば、
ウェハカセット支持台５０の突起部７０により、ウェハ
カセット１０の柱状体４０をその延在方向に容易に移動
させることができ、ウェハ体Ｗの挿抜を容易に行うこと
ができる。

【００３３】なお、本発明は、上記実施形態に何ら限定
されるものではなく、以下の形態とすることもできる。 ａ）図示の位置関係に限らず、上下左右の相対的な位置
関係を任意に設定すること。 ｂ）突き押し手段として高さが一定の突起部７０に代え
て、２段階の高さ調節可能な突き押し手段を採用するこ
と。この場合には、ウェハカセット１０をウェハカセッ
ト支持台５０に設置した状態において、ウェハ体Ｗの挿
抜可能状態、挿抜不可能状態を選択することができる。 ｃ）位置規制部としてコーナーを支持するコーナーブロ
ック６０を使用することに代えて、側面を保持するサイ
ドブロックを使用すること。あるいは、これらを組み合
わせて使用すること。あるいは、他の任意の位置規制部
を採用すること。

【００３４】

【発明の効果】本発明のウェハカセットおよびウェハ挿
抜システムによれば、以下の効果を奏する。請求項１記
載のウェハカセットによれば、ウェハ体の収容時には、
柱状体の凸部により保持溝からのウェハ体の抜出を阻止
することができ、ウェハ体の保持を確実に行うことがで
きる。したがって、ウェハカセットの取扱時におけるウ
ェハカセット内でのウェハ体の移動を十分に抑制するこ
とができ、作業者に無用の負担をかけることがない。ま
た、柱状体を延在方向に移動させることにより、凹部を
保持溝と位置合わせして凹部を通してウェハ体の挿抜を
行うことができる。請求項２記載のウェハカセットによ
れば、柱状体は、この柱状体の一端部側に設けれた付勢
部材により、常に他端部側に向けて付勢されている。よ
って、付勢部材の付勢力に抗して力を印加することによ
り、柱状体を容易に延在方向に移動させることができ
る。請求項３記載のウェハカセットによれば、外筐の対
向する２側面が挿抜面とされていることにより、２方向
からのウェハ体の挿抜が可能であり、ウェハカセットの
取扱の向きに関して自由度を高めることができ、作業負
担を軽減することができる。請求項４記載のウェハ挿抜
システムによれば、ウェハカセット支持台の突き押し手
段により、ウェハカセットの柱状体をその延在方向に容
易に移動させることができ、ウェハ体の挿抜を容易に行
うことができる。請求項５記載のウェハ挿抜システムに
よれば、突き押し手段が突起部であることにより、容易
な構成で突き押し手段を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のウェハカセットの一実施形態を示す
図であって、上壁を取り除いた状態を示す平面図であ
る。

【図２】 図１に示すウェハカセットのII−II線矢視断
面図である。

【図３】 図１に示すウェハカセットのIII−III線矢視
断面図である。

【図４】 本発明におけるウェハカセット支持台の一実
施形態を示す平面図である。

【図５】 図４に示すウェハカセット支持台の正面図で
ある。

【図６】 本発明のウェハ挿抜システムの実施の形態を
示す図であって、図４におけるVI−VI線矢視断面に対応
する図である。

【図７】 本発明のウェハカセットにおける凸部の最小
厚さに関する説明図である。

【図８】 本発明のウェハカセットにおける凸部の最大
厚さに関する説明図である。

【図９】 従来のウェハカセットの一例を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１０ ウェハカセット ２０ 外筐 ２３ｂ 挿抜面 ２４ｂ 挿抜面 ３０ 保持体 ３１ 保持溝 ３３ スロット ４０ 柱状体 ４１ 凸部 ４２ 凹部 ４３ 鍔部 ４４ コイルスプリング（付勢部材） ５０ ウェハカセット支持台 ６０ コーナーブロック（位置規制部） ７０ 突起部（突き押し手段） Ｗ ウェハ体 Ａ 挿抜方向 Ｂ 延在方向

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一側面が開口する箱型構造と
   された外筐と、該外筐内に設けられかつ互いに平行な複
   数の保持溝を有する保持体とを具備してなり、前記保持
   体の前記保持溝により画成される各スロット内に、ウェ
   ハ体を１枚ずつ収容するとともに、開口している前記一
   側面が前記ウェハ体が挿抜される挿抜面をなすウェハカ
   セットであって、 前記保持体よりも前記挿抜面側に位置させて、前記ウェ
   ハ体の挿抜方向に直交して延在するとともに、前記保持
   溝と等ピッチの櫛歯状の凹凸形状を有する柱状体が設け
   られ、 該柱状体は、該柱状体の延在方向に移動可能とされるこ
   とにより、凸部が前記保持溝と位置を合わせたときには
   凸部が前記保持溝からの前記ウェハ体の抜出を阻止し、
   凹部が前記保持溝と位置を合わせたときには凹部が前記
   保持溝に対する前記ウェハ体の挿抜を許容することを特
   徴とするウェハカセット。
2. 【請求項２】 請求項１記載のウェハカセットにおい
   て、 前記柱状体の前記一端部側には、該柱状体の延在方向に
   対して直交する方向に突出する鍔部が設けられ、 前記柱状体は、前記鍔部と前記外筐の内壁との間に、前
   記内壁に反力をとって前記鍔部を前記柱状体の他端部側
   に向けて押圧する付勢部材が介装されることにより、自
   身の延在方向に移動可能とされていることを特徴とする
   ウェハカセット。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のウェハカセット
   において、 前記外筐の対向する２側面に前記保持体が設けられ、こ
   れら２側面に隣接する他の対向する２側面が前記挿抜面
   とされていることを特徴とするウェハカセット。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載のウ
   ェハカセットと、該ウェハカセットに対して使用される
   ウェハカセット支持台とを具備して構成されるウェハ挿
   抜システムであって、 前記ウェハカセット支持台は、前記ウェハカセットの支
   持位置を規制するための位置規制部と、 前記柱状体に当接して前記柱状体を前記付勢手段の付勢
   力に抗して突き押すための突き押し手段とを具備するこ
   とを特徴とするウェハ挿抜システム。
5. 【請求項５】 請求項４記載のウェハ挿抜システムにお
   いて、 前記突き押し手段は、突起部であることを特徴とするウ
   ェハ挿抜システム。