KR0128756Y1 - 웨이퍼 운반구 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체장치의 제조시스템에 사용되는 미끄럼방지기능을 갖는 웨이퍼운반구에 관한 것으로서, 그 구조는 서로 평행하면서 대략 수직방향으로 유지되며, 그리고 서로의 간격이 일정하게 유지되는 한쌍의 유지판(1a, 1b)을 구비하고 있고, 각 유지판(1a, 1b)의 대향면에는 서로 대응하는 위치에 설치되어 하나의 웨이퍼를 수직으로 유지하는 유지홈(2a, 2b)이 복수쌍 형성된 구성을 가지며, 그리고 상기 유지판(1a, 1b)의 하부단에 상기 유지판에 의해서 유지되는 폭과 동일한 폭을 갖고 상기 유지홈(2a, 2b)에 연장된 홈이 형성되어 있는 하부판(4)을 구비하여 웨이퍼를 수직으로 유지할 수 있고, 또한 상기 유지판(1a, 1b)의 외측면에 미끄럼방지수단으로서 오목홈 또는 볼록홈이 형성되어 있다. 상술한 웨이퍼운반구에 의하면, 웨이퍼운반시 오퍼레이터의 손이 닿는 부분에서 발생되는 미끄럼을 방지할 수 있는 부재가 형성된 웨이퍼운반구를 제공하는 데 있다.

Description

웨이퍼 운반구(a wafer carrier)

제1도는 종래의 웨이퍼운반구의 구조를 보여주고 있는 사시도.

제2도는 본 고안의 제1실시예에 따른 웨이퍼운반구의 구조를 보여주고 있는 사시도.

제3도는 제2도의 웨이퍼운반구에 있어서 미끄럼방지용 오목홈을 보여주고 있는 측면도.

제4도는 본 고안의 제2실시예에 따른 웨이퍼운반구의 구조를 보여주고 있는 도면.

제5도는 본 고안의 제3실시예에 따른 웨이퍼운반구의 구조를 보여주고 있는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1a, 1b : 유지판 2a, 2b : 유지홈

3a, 3b : 측판 5a, 5b : 미끄럼방지용 오목홈

5c, 5d : 미끄럼방지용 볼록돌기 5e, 5f : 미끄럼방지용 예각형상의 돌기

6 : 웨이퍼 운반구

본 고안은 반도체장치의 제조시스템에 사용되는 웨이퍼운반구(a wafer carrier

)에 관한 것으로서, 구체적으로는 미끄럼방지기능을 갖는 웨이퍼운반구에 관한 것이다.

공지된 바와같이, 반도체장치들의 초기제조단계들의 주요공정을 행하는 동안, 반도체웨이퍼들(이하, 간단히 웨이퍼로 칭함)의 유형에 따른 여러 작업들로서 여러 공정들이 수행된다. 그에 의해 다수의 웨이퍼들이 웨이퍼 운반구내에 수납된 다음, 한 작업장에서 다음 작업장으로 운반되고, 그 다음의 제조공정들을 행하도록 웨이퍼운반구에서 인출된다. 여러 경우들에 있어서, 웨이퍼운반구내에 수납된 웨이퍼들은 그 다음의 제조단계를 대기하기 위해 관련된 작업영역내에 준비된, 예를들어 폐쇄된 청정상자내에 임시로 보관된다.

이와같이 웨이퍼들이 종래의 웨이퍼운반구를 사용하여 한 작업장에서 다음 작업장으로 운반될 때, 오퍼레인터(operator)에 의해 운반되거나 또는 그 웨이퍼운반구의 이송장비에 의해 운반된다. 특히, 오퍼레이터에 의해 웨이퍼운반구를 운반할 경우, 그 웨이퍼운반구에 있어서 웨이퍼를 유지하는 유지홈이 형성된 양측의 유지판이 평평하게 형성되어 있기 때문에 운반중 미끄러져서 떨어지게 되는 경우가 종종 있었다. 종래의 웨이퍼운반구의 구조적인 일예가 제1도에 도시되어 있다.

제1도를 참고하면, 종래의 웨이퍼운반구(6)는 상호 마주보는 유지판(1a, 1b)을 갖고 있다. 다수의 수평으로 간격을 둔 유지홈(2a, 2b)이 상기 유지판(1a, 1b)의 내면상에 각각 형성되어 있다. 상기 유지홈(2a 또는 2b)은 각각 상호 평행한 것으로서, 대략 2 내지 5mm와같은 예정된 거리에 의해 상호간에 격리되어 있다. 또한 서로 대응하는 한쌍의 유지홈(2a, 2b)은 서로 일렬로 정렬되어 있고 또한 양쪽의 홈들이 웨이퍼(미도시됨)의 주위연부측으로 삽입되기에 적합하도록 적당한 깊이를 갖고 있다. 따라서, 웨이퍼들은 그들간에 간격거리를 유지시키면서 상기 유지판(1a, 1b)에 평행하게 유지된다. 상기 양쪽의 유지판(1a, 1b)은 이들 유지판과 동일한 폭을 갖는 측판(3a, 3b)에 의해 연결된다. 상기 유지판(1a, 1b)의 하단부에는, 상기 유지홈들을 따라 연장되어 있는 유지홈들을 갖는 하부판(4)이 연결되어 있다. 따라서, 상기 유지홈(2a, 2b)에 의해 웨이퍼를 수직으로 유지할 수 있다. 이러한 구조를 갖는 종래의 웨이퍼운반구(6)는 수직으로 유지할 수 있다. 이러한 구조를 갖는 종래의 웨이퍼운반구(6)는 또한 상기 측판(3a, 3b)과 하부판에 구멍들을 갖고 있다.

상술한 바와같은 종래의 웨이퍼운반구(6)의 구조에 있어서, 오퍼레이터에 의해서 그 웨이퍼운반구가 운반될 때, 오퍼레이터의 손이 닿는 부분인 유지판(1a, 1b)의 외측면이 평평하게 되어 있기 때문에, 운반도중 미끄러져서 오퍼레이터의 손으로부터 그 웨이퍼운반구(6)가 이탈되는 경향이 종종 있었다.

따라서 반도체장치의 제조작업의 안정성측면에서 보면, 종래의 웨이퍼운반구는 오퍼레이터에게 불안감을 조성하게 되고, 더욱이 밝은 근무분위기를 조성하기 어렵다. 그 결과, 반도체장치의 제조수율을 높힐 수 없게 되는 문제점을 야기할 수 있다.

따라서 본 고안의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서 웨이퍼운반시 오퍼레이터의 손이 닿는 부분에서 종종 발생되는 미끄럼을 방지할 수 있는 부재가 형성된 웨이퍼운반구를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징에 의하면, 웨이퍼운반구는 서로 평행하면서 대략 수직방향으로 유지되며, 그리고 서로의 간격이 일정하게 유지되는 한쌍의 유지판을 구비하고 있고, 각 유지판의 대향면에는 서로 대응하는 위치에 설치되어 하나의 웨이퍼를 수직으로 유지하는 유지홈이 복수쌍 형성된 구성을 가지며, 그리고 상기 유지판의 하부단에 상기 유지판에 의해서 유지되는 폭과 동일한 폭을 갖고 상기 유지홈에 연장된 홈이 형성되어 있는 하부판을 구비하여 웨이퍼를 수직으로 유지할 수 있다. 이 웨이퍼운반구는 상기 유지판의 외측면에 미끄럼방지수단을 더욱 구비하고 있다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판에 각각 복수의 오목홈이 형성되어 있다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 오목홈은 라운드 형상으로 되어 있다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판에 각각 복수의 볼록홈이 형성되어 있다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 볼록홈은 라운드형상으로 되어 있다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 볼록홈은 각진형상을 갖는다.

이 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판에 각각 복수의 예각형상의 돌기가 형성되어 있고 그리고 상기 돌기들사이에는 라운드 형상의 오목홈이 형성되어 있다.

상술한 웨이퍼운반구에 의하면, 웨이퍼의 운반시 오퍼레이터가 상기 웨이퍼운반구를 미끄러짐없이 안정하게 잡을 수 있다.

이하 본 고안의 실시예를 첨부도면 제2도와 제3도에 의거하여 상세히 설명한다.

제2도와 제3도에 있어서, 제1도에 도시된 종래의 웨이퍼운반구의 각 구성부품들의 기능과 동일한 기능을 갖는 참조번호에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

제2도를 참고하면, 본 고안의 실시예에 따른 신규한 웨이퍼운반구(6)는, 웨이퍼운반시 오퍼레이터의 손이 닿는 부분인, 유지판(1a, 1b)의 외측면에 각각 미끄럼방지수단으로서 복수의 오목홈(5a, 5b) 또는 볼록돌기를 구비한다. 이러한 구조에 의해서 오퍼레이터의 손이 닿는 부분에서 발생되는 미끄럼을 방지할 수 있어서, 안정된 작업환경을 조성할 수 있다.

[실시예 1]

다시 제2도를 참고하면, 본 고안의 제1실시예에 따른 웨이퍼운반구(6)는, 미끄러짐방지수단이 형성되고 서로 마주보는 유지판(1a, 1b)을 갖고 있다. 다수의 수평으로 간격을 둔 유지홈(2a, 2b)이 상기 유지판(1a, 1b)의 내면상에 각각 형성되어 있다. 상기 유지홈(2a 또는 2b)은 각각 상호 평행한 것으로서, 대략 2 내지 5mm와같은 예정된 거리에 의해 상호간 격리되어 있다. 또한 서로 대응하는 한쌍의 유지홈(2a, 2b)은 서로 일렬로 정렬되어 있고 또한 양쪽의 홈들이 웨이퍼(미도시됨)의 주위연부측으로 삽입되기에 적합하도록 적당한 깊이를 갖고 있다. 따라서, 웨이퍼들은 그들간에 간격거리를 유지하면서 상기 유지판(1a, 1b)에 평행하게 대략 수직방향으로 유지된다.

또한, 제2도 또는 제3도에 도시된 바와같이, 상기 유지판(1a, 1b)의 각각의 외측면에 미끄럼방지수단으로서 복수의 라운드형상의 오목홈(5a, 5b)이 형성되어 있다. 이 실시예에서는, 상기 미끄럼방지수단으로서 복수의 오목홈(5a, 5b)이 형성되어 있지만, 본 고안의 미끄럼방지수단은 이 오목홈에 한정되는 것은 아니다. 오퍼레이터의 손에 닿는 부분인 상기 유지판(1a, 1b)의 각각의 외측면에 미끄럼을 방지할 수 있는 부재를 모두 포함할 수 있다.

그리고 상기 양쪽의 유지판(1a, 1b)은 이들 유지판과 동일한 폭을 갖는 측판(3a, 3b)에 의해 열결되어 있다. 상기 유지판(1a, 1b)의 하단부에는, 상기 유지홈들을 따라 연장되어 있는 유지홈들(4a, 4b)을 갖는 하부판이 연결되어 있다. 따라서, 상기 유지홈(2a, 2b, 4a, 4b)에 의해 웨이퍼를 수직으로 유지할 수 있다. 이러한 구조를 갖는 종래의 웨이퍼운반구(6)는 또한 상기 측판(3a, 3b)과 하부판에 구멍들을 갖고 있다.

이 실시예에서, 상기 라운드형상의 오목홈이 형성된 웨이퍼운반구(6)은 웨이퍼의 운반시 오퍼레이터가 상기 웨이퍼운반구를 미끄러짐없이 안정하게 잡을 수 있다.

또한, 상기 유지판(1a, 1b)의 외측면에 형성된 오목홈(5a, 5b)이 라운드 형상으로 되어 있는 것을 파티클(particles)이 세정공정시에 웨이퍼운반구의 하측으로 잘 흐르도록하여 상기 오목홈에 쌓이는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻기 위함이다.

[실시예 2]

다음은 본 고안의 제2실시예에 따른 웨이퍼운반구(6)는 미끄럼방지수단으로서 라운드형상의 볼록돌기가 형성되어 있는 것을 제외하고는 상술한 제1실시예의 구성과 동일하고, 그에 대한 중복설명은 생략한다.

제4도를 참고하면, 이 실시예의 웨이퍼운반구(6)의 유지판(1a, 1b)의 각각의 외측면에 미끄럼방지수단으로서 복수의 라운드형상의 볼록돌기(5c, 5d)이 형성되어 있다. 이 실시예에서는, 상기 미끄럼방지수단으로서 복수의 볼록돌기(5c, 5d)가 형성되어 있지만, 본 고안의 미끄럼방지수단은 이 라운드형상의 볼록돌기에 한정되는 것은 아니고 각형상의 볼록돌기가 변형예의 미끄럼방지수단으로서 적용될 수 있다.

이 실시예에서, 상기 유지판(1a, 1b)의 외측면에 라운드형상의 볼록돌기(5c, 5d)가 형성되어 있는 웨이퍼운반구(6)는 제1실시예의 웨이퍼운반구보다 미끄럼방지의 측면에서 거의 유사한 효과가 있고 또한 파티클의 쌓이는 측면에서는 오히려 제1실시예의 웨이퍼운반구보다 향상된 효과를 얻을 수 있다.

또한, 이 실시예의 변형예에서 각형상의 볼록돌기를 미끄럼방지수단으로서 사용할 경우, 웨이퍼운반구의 운반시 미끄러짐방지효과가 좋지만, 파티클이 다소 쌓이는 문제를 일으킬 수 있다.

[실시예 3]

다음은 본 고안의 제3실시예에 따른 웨이퍼운반구(6)는 미끄럼방지수단으로서 예각형상의 볼록돌기가 형성되어 있는 것을 제외하고는 상술한 제1실시예의 구성과 동일하고, 그에 대한 중복설명은 생략한다.

제5도를 참고하면, 이 실시예의 웨이퍼운반구(6)의 유지판(1a, 1b)의 각각의 외측면에 미끄럼방지수단으로서 복수의 예각형상의 볼록돌기(5e, 5f)가 형성되어 있다. 이 볼록돌기들의 사이에는 라운드형상의 오목홈이 형성되어 있어서, 상기 제1,2실시예의 웨이퍼운반구보다 미끄럼방지 또는 파티클의 쌓임현상의 방지의 측면에서 가장 바람직한 효과를 얻을 수 있다.

Claims (7)

1. 서로 평행하면서 대략 수직방향으로 유지되며, 그리고 서로의 간격이 일정하게 유지되는 한쌍의 유지판(1a, 1b)을 구비하고 있고, 각 유지판(1a, 1b)의 대향면에는 서로 대응하는 위치에 설치되어 하나의 웨이퍼을 수직으로 유지하는 유지홈(2a, 2b)이 복수쌍 형성된 구성을 가지며, 그리고 상기 유지판(1a, 1b)의 하부단에 상기 유지판에 의해서 유지되는 폭과 동일한 폭을 갖고 상기 유지홈(2a, 2b)에 연장된 홈이 형성되어 있는 하부판(4)을 구비하여 웨이퍼를 수직으로 유지할 수 있는 웨이퍼운반구에 있어서, 상기 유지판(1a, 1b)의 외측면에 미끄럼방지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.
2. 제1항에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판(1a, 1b)에 각각 복수의 오목홈(5a, 5b)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.
3. 제2항에 있어서, 상기 오목홈(5a, 5b)은 라운드 형상으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.
4. 제1항에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판(1a, 1b)에 각각 복수의 볼록홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.
5. 제4항에 있어서, 상기 볼록홈은 라운드형상으로 되어 있는 것을 특징으로 웨이퍼운반구.
6. 제4항에 있어서, 상기 볼록홈은 각진형상을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.
7. 제1항에 있어서, 상기 미끄럼방지수단은 상기 양측의 유지판(1a, 1b)에 각각 복수의 예각형상의 볼록돌기(5e, 5f)가 형성되어 있고 그리고 상기 볼록돌기들사이에는 라운드형상의 오목홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼운반구.