KR100252206B1

KR100252206B1 - 반도체설비의웨이퍼이송장치

Info

Publication number: KR100252206B1
Application number: KR1019970000054A
Authority: KR
Inventors: 이희태
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-01-04
Filing date: 1997-01-04
Publication date: 2000-04-15
Also published as: KR19980065194A

Abstract

본 발명은 복수개의 웨이퍼를 손상없이 안정적으로 이송할 수 있게 한 반도체설비의 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 그 구성은 상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 푸셔슬롯을 갖는 승강 가능한 푸셔와, 상기 푸셔에 의해 승강하는 웨이퍼의 양측을 압착 지지하고 그 대향면에 복수개의 홀더슬롯을 갖는 홀더를 구비한 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 푸셔 상면에는 상기 푸셔슬롯의 형성 방향에 대하여 직각 방향으로 형성됨과 아울러 상기 푸셔슬롯의 저면으로부터 소정 폭 및 깊이로 단차를 갖는 중심홈이 형성되어 상기 복수개의 푸셔슬롯을 분할되도록 하고, 상기 홀더의 대향되는 상기 홀더슬롯 하부는 수납된 웨이퍼의 하측을 받쳐줄 수 있도록 내향 만곡된 원호형상으로 형성됨을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면 푸셔슬롯을 분할하는 중심홈에 의해 웨이퍼는 푸셔의 승· 하강 운동시 좌· 우측으로 이동하지 않으며, 홀더슬롯의 하측부가 돌출 형성됨에 따라 웨이퍼의 이탈을 방지하게 되는 효과가 있다.

Description

반도체설비의 웨이퍼 이송장치{Apparatus for transferring wafers in the facility for manufacturing semiconductor device}

본 발명은 반도체설비의 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수개의 웨이퍼를 캐리어에서 제조설비의 소정 위치로 또는 제조설비의 소정 위치에서 캐리어로 이송하는데 사용되는 반도체설비의 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되고, 이렇게 반도체장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 제조설비로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.

이러한 웨이퍼는 통상 이송하기 용이하도록 형성된 캐리어에 복수개 담겨져 작업자 또는 다른 이송수단에 의해 소정 위치로 옮겨지게 되고, 이어 다른 이송장치에 의해 캐리어에서 제조설비 내부로 이송되어 공정을 수행하기 용이한 형태로 놓이게 된다.

상술한 내용중 공정 수행을 목적으로 제조설비에 투입되는 웨이퍼의 이송과정 및 이를 수행하는 이송장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도1은 종래의 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 동작 관계를 나타낸 정면도이고, 도2는 종래의 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 푸셔와 홀더를 나타낸 사시도이다.

도1과 도2를 참조하여 웨이퍼 이송장치(10)에 대하여 설명하면, 복수개의 웨이퍼(12)가 수용된 캐리어(14)는 제조설비의 소정 위치에 설치된 가이드(16a, 16b)에 안내되어 요구되는 위치에 놓이게 된다.

상술한 가이드(16a, 16b)는 상호 대향하는 한 쌍으로 이루어져 캐리어(14)의 다리(18) 부위를 지지하게 된다.

이렇게 설치된 양측 가이드(16a, 16b) 사이에는 상면에 복수개의 푸셔슬롯(28)을 갖는 푸셔(22)가 승· 하강 가능하게 설치되어 있고, 이 푸셔(22)는 캐리어(14)의 하측에서 캐리어(14)를 관통하여 승· 하강 운동을 하게 된다.

이때, 상술한 푸셔슬롯(28)은 캐리어(14)로부터 복수개의 웨이퍼(12)를 지지하여 캐리어(14)의 상측 소정 위치로 또는 소정 위치에서 캐리어(14)로 이송하게 된다.

한편, 캐리어(14)의 상측 부위에는 상술한 바와 같이 푸셔(22)에 의해 밀어 올려진 위치의 웨이퍼(12) 양측으로 상호 대향하는 한 쌍의 홀더(24a, 24b)가 설치되어 있고, 이 홀더(24a, 24b)의 대향면에는 상술한 바와 같이 위치되는 웨이퍼(12)의 측부를 지지하도록 형성된 복수개의 홀더슬롯(30)이 형성되어 있다.

이러한 홀더(24a, 24b)는 푸셔(22)에 의해 위치되는 웨이퍼(12)의 측부를 양측에서 상호 압착 고정하게 되고, 이러한 상태에서 다른 이송수단에 의해 제조설비 내의 소정 위치로 웨이퍼를 이송하게 되거나 또는 소정 위치에서 상술한 푸셔(22) 상면으로 이송하게 된다.

여기서, 상술한 바와 같이 웨이퍼 이송장치(10)를 구성하는 푸셔(22)와 홀더(24a, 24b)에 대하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

먼저, 푸셔(22)에 대하여 설명하면, 푸셔(22)의 상면에 길이 방향에 대하여 소정 폭과 깊이로 수평하게 가로지르는 복수개 푸셔슬롯(28)이 복수개 형성되어 있고, 이렇게 형성된 푸셔슬롯(28) 사이에는 푸셔슬롯(28)에 의해 형성되는 푸셔돌기(20)가 형성되어 있다.

따라서, 푸셔(22)의 승· 하강 운동시 웨이퍼(12)의 측부는 상술한 푸셔슬롯(28)과 푸셔돌기(20)에 지지되어 일정 간격으로 수직하게 위치된다.

그러나, 웨이퍼(12)의 측부 형상은 원호를 이루고 있음에 따라 수평하게 형성된 푸셔슬롯(28)에 지지되는 웨이퍼(12)는 푸셔(22)의 승· 하강 운동시 좌· 우측 방향으로 흔들려 정위치에서 이격 위치되거나 이탈하게 되어 웨이퍼(12)의 손상이 발생되는 문제가 있었다.

한편, 홀더(24a, 24b)에 대하여 설명하면, 홀더(24a, 24b)의 상호 대향면에 상술한 푸셔슬롯(28)과 대응하는 복수개의 홀더슬롯(30)이 형성되어 있으며, 이들 홀더슬롯(30) 사이에는 웨이퍼(12)의 측부를 지지하도록 홀더돌기(26a, 26b)가 수직하게 형성되어 있다.

따라서, 홀더(24a, 24b)가 상술한 푸셔(22)에 의해 위치된 웨이퍼(12)의 측부 양측에서 압착하게 되면, 웨이퍼(12)의 측부는 홀더슬롯(30)에 위치되어 압착 고정되고, 홀더(24a, 24b)는 웨이퍼(12)를 압착한 상태로 이송수단(도시 안됨)에 의해 제조설비의 소정 위치로 이송하게 된다.

그러나, 상술한 바와 같이 홀더(24a, 24b)에 형성된 홀더슬롯(30)의 형상이 수직하게 형성됨에 따라 하중에 의한 웨이퍼(12)의 이탈을 방지하기 위해 무리한 압착력이 제공되며, 이 압착력에 의해 웨이퍼(12)의 측부가 손상되는 문제가 있었다.

또한, 복수개의 웨이퍼(12)의 측부를 압착함에 있어 홀더슬롯(30)의 부분적인 마모 등에 의해 압착력이 제공되지 않은 웨이퍼(12)는 홀더슬롯(30)을 따라 하측으로 이탈하게 되어 깨지는 등의 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 푸셔의 승· 하강 운동시 웨이퍼가 좌· 우측으로 굴러 정위치로부터 이격 또는 이탈하는 것을 방지하고, 양측 홀더를 통해 웨이퍼의 측부 양측에서 압착 고정함에 있어 과도한 압착력을 가하지 않고도 웨이퍼의 이탈을 방지할 수 있도록 된 반도체설비의 웨이퍼 이송장치를 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 동작 관계를 나타낸 정면도이다.

도2는 종래의 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 푸셔와 홀더를 나타낸 사시도이다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 동작 관계를 나타낸 정면도이다.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 푸셔와 홀더를 나타낸 사시도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10, 32: 웨이퍼 이송장치 12: 웨이퍼

14: 캐리어 16a, 16b: 가이드

20, 36: 푸셔돌기 22, 34: 푸셔

24a, 24b, 42a, 42b: 홀더 26a, 26b, 44a, 44b: 홀더돌기

28, 38: 푸셔슬롯 30, 46: 홀더슬롯

40: 중심홈

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 푸셔슬롯을 가지며 승· 하강 가능하게 설치된 푸셔와, 상기 푸셔의 승강 운동에 의해 위치되는 웨이퍼의 양측에서 상호 대향하여 압착 가능하게 설치되고 대향면에 복수개의 홀더슬롯을 갖는 홀더를 포함하여 구성된 반도체설비의 웨이퍼 이송장치에 있어서, 상기 푸셔 상면에는 웨이퍼가 좌우로 유동되지 않도록 상기 푸셔슬롯의 형성 방향에 대하여 직각 방향으로 형성됨과 아울러 상기 푸셔슬롯의 저면으로부터 소정 폭 및 깊이로 단차를 갖는 중심홈이 형성되어 상기 복수개의 푸셔슬롯을 분할되도록 하고, 상기 홀더의 대향되는 상기 홀더슬롯 하부는 수납된 웨이퍼의 하측을 받쳐줄 수 있도록 내향 만곡된 원호형상으로 형성됨을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 동작 관계를 나타낸 정면도이고, 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비의 웨이퍼 이송장치의 푸셔와 홀더를 나타낸 사시도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도3과 도4를 참조하여 웨이퍼 이송장치(32)를 설명하면, 위치되는 캐리어(14)의 하측에서 캐리어(14)를 관통하여 승· 하강 가능하도록 푸셔(34)가 설치되어 있으며, 이 푸셔(34)의 상면에는 복수개의 푸셔슬롯(38)과 푸셔돌기(36)가 형성되어 있다.

또한, 푸셔(34) 상면에는 상술한 바와 같이 형성된 복수개의 푸셔슬롯(38)과 푸셔돌기(36)의 형성 방향에 대하여 직각 방향으로 소정 폭과 깊이를 갖는 중심홈(40)이 형성되어 있다.

이렇게 형성된 중심홈(40)은 복수개의 푸셔슬롯(38)과 푸셔돌기(36)를 양측으로 균등하게 분리하게 되고, 이에 따라 위치되는 웨이퍼(12)는 중심홈(40) 양측으로 분리된 푸셔슬롯(38)에 의해 균등하게 지지되어 푸셔의 승· 하강 운동시 좌· 우측 방향으로 흔들리거나 일 방향으로 구르지 않게 된다.

한편, 캐리어(14)의 상측에 설치된 홀더(42a, 42b)는 상호 대향면에 상술한 푸셔(34)의 푸셔슬롯(38)과 대응하는 복수개의 홀더슬롯(46)이 형성되어 있으며, 이 홀더슬롯(46) 사이에는 웨이퍼(12)의 측부를 지지하는 홀더돌기(44a, 44b)가 형성되어 있다.

또한, 홀더슬롯(46)의 하측 부위는 상호 대향하는 방향으로 원호 형상으로 돌출되어 홀더돌기(44a, 44b)의 하측 단부까지 연장 형성되어 있고, 이 홀더슬롯(46)에 의해 웨이퍼(12) 측부를 무리하게 가압하지 않아도 웨이퍼(12)의 이탈을 방지하게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면 푸셔슬롯을 분할하는 중심홈에 의해 웨이퍼는 푸셔의 승· 하강 운동시 좌· 우측으로 이동하지 않으며, 홀더슬롯의 하측부가 돌출 형성됨에 따라 웨이퍼의 이탈을 방지하게 되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims

상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 푸셔슬롯을 가지며 승· 하강 가능하게 설치된 푸셔와, 상기 푸셔의 승강 운동에 의해 위치되는 웨이퍼의 양측에서 상호 대향하여 압착 가능하게 설치되고 대향면에 복수개의 홀더슬롯을 갖는 홀더를 포함하여 구성된 반도체설비의 웨이퍼 이송장치에 있어서,

상기 푸셔 상면에는 웨이퍼가 좌우로 유동되지 않도록 상기 푸셔슬롯의 형성 방향에 대하여 직각 방향으로 형성됨과 아울러 상기 푸셔슬롯의 저면으로부터 소정 폭 및 깊이로 단차를 갖는 중심홈이 형성되어 상기 복수개의 푸셔슬롯을 분할되도록 하고, 상기 홀더의 대향되는 상기 홀더슬롯 하부는 수납된 웨이퍼의 하측을 받쳐줄 수 있도록 내향 만곡된 원호형상으로 형성됨을 특징으로 하는 반도체설비의 웨이퍼 이송장치.