KR20020088482A

KR20020088482A - 웨이퍼 카세트

Info

Publication number: KR20020088482A
Application number: KR1020010026963A
Authority: KR
Inventors: 전정환
Original assignee: 삼성전자 주식회사
Priority date: 2001-05-17
Filing date: 2001-05-17
Publication date: 2002-11-29

Abstract

본 발명은 웨이퍼 이탈을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 개시한다. 개시된 본 발명의 웨이퍼 카세트는, 웨이퍼 입출이 가능한 정도의 개방부를 갖는 프레임과, 프레임내에 일정 등간격으로 삽입 고정되어, 웨이퍼가 삽입될 다수개의 슬롯을 한정하는 다수의 플레이트, 및 플레이트의 일측 단부에 형성되고, 상하 이동이 가능하며, 상기 플레이트와 동일한 간격으로 배열된 다수의 돌출부를 갖는 바를 포함한다. 여기서, 바는 웨이퍼 로딩시, 돌출부가 웨이퍼 표면에 놓여서 웨이퍼를 고정한다.

Description

웨이퍼 카세트{wafer cassette}

본 발명은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 웨이퍼 이탈로 인한 손상을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼상에 형성되는 반도체 소자는 여러 단계의 공정을 거쳐 제조되며, 각각의 공정은 각기 다른 가스, 온도, 압력등의 조건하에서 진행된다. 이때, 여러 단계의 공정을 순차적으로 진행하기 위하여는 웨이퍼를 이송하여야 한다. 이러한 웨이퍼는 웨이퍼 카세트에 적재된 상태에서, 작업자 또는 작업용 로봇암(robot arm)에 의하여, 이송된다.

도 1a는 일반적인 웨이퍼 카세트의 단면도로서, 웨이퍼 카세트(100)는 다수의 슬롯(slot:12)을 갖는 프레임(10)을 포함한다. 슬롯(12)은 프레임(10)에 장착된 플레이트(11)에 의하여 한정된다. 이때, 프레임(10)은 웨이퍼(13)의 출입이 가능하도록 소정 크기 만큼 개방되어 있다. 이러한 웨이퍼(13)는 특정 공정을 진행하기 위한 장치에 로딩시, 로봇 암 또는 작업자에 의하여, 적소로 옮겨진다.

그러나, 상기와 같은 웨이퍼 카세트(100)는 웨이퍼(13) 출입이 자유롭도록 개방되어 있음으로 인하여, 도 1b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 카세트가 수평을 유지하지 않거나, 로봇암이 심한 곡률로 회전하는 경우, 슬롯(12)내에 삽입된 웨이퍼(13)가 미끄러져, 웨이퍼 카세트(10) 외부로 이탈되는 경우가 자주 발생된다. 이와같이, 웨이퍼(13)가 이탈되면, 웨이퍼(13)가 긁히거나, 떨어지는 충격에 의하여 파손되기 쉽다.

또한, 웨이퍼(13)가 파손되면, 웨이퍼의 주성분인 실리콘 가루가 발생되는데, 이러한 실리콘 가루는 석영으로 제조되는 반도체 제조 장비에 치명적인 영향을 미친다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼 이탈을 방지할 수 있는 웨이퍼 카세트를 제공하는 것이다.

도 1a 및 도 1b는 종래의 웨이퍼 카세트의 단면도이다.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 단면도이다.

도 4는 본 발명의 웨이퍼 카세트의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

20 : 프레임 22 : 플레이트

24 : 슬릿 28 : 바

29 : 돌출부

본 발명의 목적과 더불어 그의 다른 목적 및 신규한 특징은, 본 명세서의 기재 및 첨부 도면에 의하여 명료해질것이다.

본원에서 개시된 발명중, 대표적 특징의 개요를 간단하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 웨이퍼 카세트는, 웨이퍼 입출이 가능한 정도의 개방부를 갖는 프레임과, 프레임내에 일정 등간격으로 삽입 고정되어, 웨이퍼가 삽입될 다수개의 슬롯을 한정하는 다수의 플레이트, 및 플레이트의 일측 단부에 형성되고, 상하 이동이 가능하며, 상기 플레이트와 동일한 간격으로 배열된 다수의 돌출부를 갖는 바를 포함한다. 여기서, 바는 웨이퍼 로딩시, 돌출부가 웨이퍼 표면에 놓여서 웨이퍼를 고정한다.

이때, 바의 일측단에는 탄성체를 갖는 부재와 연결되어, 힘이 가해지면, 바가 상부 또는 하부 방향으로 움직일 수 있으며, 탄성체는 스프링이 이용될 수 있다.

(실시예)

이하, 첨부한 도면에 의거하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.

여기서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다. 또한, 어떤 층이 다른 층 또는 반도체 기판의 "상"에 있다라고 기재되는 경우에, 어떤 층은 상기 다른 층 또는 반도체 기판에 직접 접촉하여 존재할 수 있고, 또는, 그 사이에 제 3의 층이 개재되어질 수 있다.

첨부한 도면 도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 웨이퍼 카세트의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 여기서, 도 2는 웨이퍼 카세트에 웨이퍼 탑재시 단면도이고, 도 3은 웨이퍼 카세트로부터 반도체 제조 장치로 웨이퍼가 로딩될때의 단면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하여, 웨이퍼 카세트(30)는 프레임(20)과, 프레임(20)내에 일정 등간격으로 삽입,고정되어, 다수개의 슬롯(24)을 한정하는 다수의 플레이트(22)를 포함한다. 여기서, 슬롯(22)은 웨이퍼(26)가 삽입될 공간이며, 바람직하게 하나의 슬롯(22)당 하나의 웨이퍼(26)가 삽입된다. 또한, 웨이퍼(26)는 플레이트(22) 표면에 안착된다. 여기서, 프레임(20)은 웨이퍼(26)가 출입가능한 정도의 폭만큼이 개방되어 있다.

한편, 플레이트(22)의 단부에는 바(bar:28)가 설치된다. 즉, 개방된 플레이트(22)의 가장자리 부분에 바(28)가 설치된다. 바(28)는 플레이트(22)와 동일 간격을 갖는 다수의 돌출부(29)를 구비한다. 이러한 바(28)는 플레이트(22) 단부와 접촉되면서, 돌출부(29)가 슬릿(24)내에 삽입되도록 부착된다. 여기서, 바(28)의 일측단은 도 4에 도시된 바와 같이 탄성체를 갖는 부재(32)와 연결되어, 탄성체에 힘이 가해지면, 바(28)가 상하로 이동가능하다. 본 실시예에서 탄성체로는스프링(34)이 이용될 수 있다. 이때, 바(28)는 탄성체에 힘이 가해지지 않을 때, 즉, 웨이퍼 탑재시, 바(28)의 돌출부가 웨이퍼(26)에 놓이도록 부착시킴이 바람직하다.

이러한, 본 발명의 웨이퍼 카세트는 다음과 같이 동작한다.

먼저, 웨이퍼 카세트에 웨이퍼 탑재시에는, 스프링(34)에 어떠한 힘도 가해지지 않게 한다. 이에따라, 도 2에 도시된 바와 같이, 바(28)의 돌출부(29)가 웨이퍼(26) 표면에 놓이게 되고, 바(28)의 돌출부(39)에 의하여 웨이퍼(26)가 고정된다. 그러므로, 웨이퍼 카세트 이송시 또는 웨이퍼 카세트가 수평 상태가 유지되지 않거나, 로봇암이 비교적 큰 곡률로 회전하는 경우에도, 웨이퍼(26)가 이탈되지 않는다.

한편, 공정을 진행하기 위하여 웨이퍼(26)를 반도체 제조 장비에 로딩시켜야 할 때에는, 스프링(34)에 약간의 힘을 가하여, 바(28)를 상부 방향으로 들어올린다. 그러면, 바(28)가 상부 방향으로 움직이게 되므로써, 돌출부(29)가 웨이퍼(26) 표면으로부터 소정 거리만큼 들리게 된다. 이에따라, 웨이퍼(26)를 고정하였던 돌출부(29)가 들림으로 인하여, 웨이퍼(26) 출입이 자유로와진다.

이상에서 자세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 웨이퍼 카세트의 일측에, 탄성체에 의하여 상하 운동을 하면서, 웨이퍼를 고정시키는 다수의 돌출부를 갖는 바를 설치한다.

이에따라, 웨이퍼 카세트에 웨이퍼를 탑재시키는 경우는, 돌출부가 웨이퍼를고정하므로써, 웨이퍼 이송시 또는 수평 상태를 유지하지 못하거나, 로봇 암이 비교적 큰 곡률로 회전하는 경우, 웨이퍼 이탈이 방지된다.

또한, 웨이퍼 언로딩시에는 탄성체에 소정의 힘을 가하여 돌출부가 웨이퍼 표면으로부터 소정 거리만큼 들리게 한다. 이에따라, 웨이퍼 출입이 가능해진다.

이에따라, 웨이퍼 카세트 자체 설계를 변화시키지 않고도, 바의 설치만으로 웨이퍼 고정이 가능해진다.

기타, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경실시할 수 있다.

Claims

웨이퍼를 수용하여 이송하는 웨이퍼 카세트로서,

웨이퍼 입출이 가능한 정도의 개방부를 갖는 프레임;

프레임내에 일정 등간격으로 삽입 고정되어, 웨이퍼가 삽입될 다수개의 슬롯을 한정하는 다수의 플레이트; 및

상기 플레이트의 일측 단부에 형성되고, 상하 이동이 가능하며, 상기 플레이트와 동일한 간격으로 배열된 다수의 돌출부를 갖는 바를 포함하며,

상기 바는 웨이퍼 로딩시, 돌출부가 웨이퍼 표면에 놓여서 웨이퍼를 고정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
제 1 항에 있어서, 상기 바의 일측단에는 탄성체를 갖는 부재와 연결되어,힘이 가해지면, 바가 상부 또는 하부 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.
제 2 항에 있어서, 상기 탄성체는 스프링인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트.