KR200156733Y1 - 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치 - Google Patents

Abstract

캐리어에 담긴 다수개의 웨이퍼를 다른 이송장치로 인계하도록 상기 캐리어를 정위치시키고 이것을 확인하도록 하는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치 가이드장치에 관한 것이다.

본 고안은 소정의 길이를 갖는 판 형상의 지지부와, 상기 지지부의 상측으로 일정한 높이로 돌출하여 형성되는 단턱과 측벽을 구비하여 캐리어를 정위치시키는 가이드가 2개씩 한 조를 이루며 받침판의 상면에 나란히 설치되고, 상기 캐리어의 유무를 감지하는 감지센서가 상기 가이드의 지지부 중심위치에 절개되어 형성된 자리홈에 삽입되어 사기 받침판의 상면에 설치된 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 있어서, 2개씩 한 조를 이루는 상기 가이드는 상호 호환이 가능하도록 동일한 규격 및 형상으로 제작됨을 특징으로 한다.

따라서, 가이드를 호환성 있게 설치 사용하게 되고, 동일한 형상으로 제작함에 따라 제작비를 줄이게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치

제1도는 종래의 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치가 설치된 상태를 나타낸 사시도이다.

제2도는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치를 확대하여 나타낸 평면도이다.

제3도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치를 나타낸 평면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 캐리어 12, 28 : 받침판

14a, 14b, 14c, 14d, 30 : 가이드

16, 32 : 지지부 18, 34 : 단턱

20a, 20b, 36 : 측벽 22, 38 : 자리홈

24, 40 : 감지센서 26 : 웨이퍼

본 고안은 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어에 담긴 다수개의 웨이퍼를 다른 이송장치로 인계하도록 상기 캐리어를 정위치시키고 이것을 확인하도록 하는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 관한 것이다.

웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체 장치로 제작되고, 이렇게 반도체 장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 각 공정으로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.

통상, 동일한 수행한 다수개의 웨이퍼는 이송하기 용이하도록 형성된 캐리어에 담겨져 작업자 또는 이송장치에 의해 공정을 수행하기 용이한 위치로 옮겨지게 된다.

또한, 상기 캐리어에 의해 옮겨진 웨이퍼는 제조설비 내부에 설치된 다른 이송장치에 인계되어 요구되는 공정을 수행할 수 있도록 형성된 공정 챔버 내부에 투입되어 그에 알맞은 공정을 수행하게 된다.

그리고, 상기 공정챔버로부터 공정을 마친 웨이퍼는 상기 이송장치를 통해 대기하고 있는 캐리어에 다시 담겨지게 되고, 이 상태에서 다시 캐리어와 함께 다음 공정으로 이송되어 진다.

여기서, 공정 관계상 작업자가 상기 캐리어를 공정챔버에 근접된 위치에 옮기기 어려울 경우의 제조설비에 설치된 이송수단을 통해 상기 캐리어를 옮기도록 되어 있다.

상술한 바와 같이 이송수단을 통해 캐리어를 이동시키는 제조설비는 고온에서 공정을 수행하는 확산 공정이 있으며, 상기 이송수단은 소정 위치에 놓인 캐리어를 다른 이송장치로 하여금 웨이퍼를 공정챔버 내부로 투입하기 용이한 위치에 옮기게 된다.

이때, 상기 캐리어가 놓이는 곳은 상기 캐리어가 보다 정확하게 놓이도록 하기 위하여 가이드와 상기 캐리어의 유무를 감지하는 감지센서가 설치되어 있으며, 이러한 가이드와 감지센서에 있어 확산로가 수평하게 놓여 공정을 수행하도록 설치된 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

제1도 및 제2도를 참조하여 설명하면, 다수개의 캐리어(10)를 올려 놓을 수 있는 받침판(12)이 제조설비(도시 안됨) 소정 위치에 설치되어 있고, 이 받침판(12)상면 소정 위치에 캐리어(10)를 정위치시키는 소정 형상의 가이드(14a, 14b, 14c, 14d)가 다수개 설치되어 있다.

상기 (14a, 14b, 14c, 14d)는 하나의 캐리어(10)에 대하여 받침판(12)의 길이 방향과 캐리어(10)의 양측 부위에 지지하는 형태로 한 쌍으로 제작되고, 이렇게 한 쌍으로 제작된 가이드(14a, 14b, 14c, 14d)는 다시 받침판(12)의 상면에는 길이 방향 중심 즉, 제2도에 도시된 a-a선에 대해 좌측 가이드(14a, 14b)와 우측 가이드(14c, 14d)가 상호 대응되는 형태로 설치되어 한 조를 이루어 있다.

상술한 바와 같이 한 쌍으로 제작되는 가이드의 구성에 대하여 제2도를 참조하여 보다 상세히 설명하면, 소정 길이와 두께를 갖는 판 형상의 지지부(16)가 상기 받침판(12) 상면에 나란한 형태로 밀착 고정되어 있고, 이 지지부(16)의 길이 방향 끝단부에는 소정 높이로 돌출된 형상의 단턱(18)이 형성되어 상기 캐리어(10)를 받침판(12)의 길이 방향에 대하여 정위치시키는 역할을 하게 된다.

또한, 한 쌍을 이루는 가이드(14a, 14b)의 양측 부위에는 제2도에 도시된 바와 같이 상호 대향하는 형태로 소정 높이로 돌출되는 측벽(20a, 20b)이 형성되어 있다.

상술한 양쪽 측벽(20a, 20b)은 캐리어(10)를 받침판(12)의 가로 방향에 대하여 정위치 시키는 역할을 하게 되며, 이들 양쪽 측벽(20a, 20b)의 두께는 상호 다르게 제작되어 있다.

그리고, 측벽(20a, 20b)의 두께가 상대적으로 얇은 쪽 가이드(14b, 14c)즉, 상기 받침판(12)의 중심에 근접되어 나란하게 설치되는 가이드(14b, 14c)는 측벽(20a, 20b) 중심 부위와 지지부(16) 소정 부위가 수직하게 절개된 형상으로 자리홈(22)이 형성되어 있다.

한편, 상기 자리홈(22)이 위치되는 받침판(12) 상면에는 캐리어(10)가 위치됨을 확인하도록 하는 감지센서(24)가 설치되어 있고, 이 감지센서(24)는 캐리어(10)가 놓임에 따라 캐리어(10)의 하중에 의해 눌려져 접지됨으로써 전류가 흐르게 되는 것을 통해 캐리어(10)가 위치되었음을 확인하게 된다.

상기와 같이 캐리어(10)가 놓여 있음을 감지하는 감지센서(24)는 감지된 신호를 다른 이송장치(도시 안됨)로 보내고, 상기 신호를 받은 이송장치는 신호에 따라 상기 캐리어(10)내의 웨이퍼(26)를 공정챔버(도시 안됨)내부로 투입하게 된다.

따라서, 상기와 같이 4개가 모여 한 조의 가이드(14a, 14b, 14c, 14d)를 이루고, 이 한조의 가이드(14a, 14b, 14c, 14d)는 2개의 캐리어(10)를 정위치 시킴과 동시에 상기 감지센서(24)로 하여금 캐리어(10)가 위치되었는가를 확인하게 된다.

그러나, 상기와 같이 한 조를 이루는 가이드는 그 형상이 각기 다르기 상기 가이드의 손상 등에 의해 교체하여야 할 경우 호환성이 없고, 또 이들 가이드 형상에 맞게 각각 다른 형상으로 제작됨에 따라 제작비가 많이 소요되며, 이들 가이드를 각각의 위치를 구분하여 설치해야 하는 번거로운 문제점이 있다.

본 고안의 목적은 상기 가이드의 호환성을 높여 각각의 위치를 구분없이 설치할 수 있도록 하고, 가이드의 제작비를 줄일 수 있는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 소정의 길이를 갖는 판 형상의 지지부와, 상기 지지부의 상측으로 일정한 높이로 돌출하여 형성된 단턱과 측벽을 구비하여 캐리어를 정위치시키는 가이드가 2개씩 한 조를 이루며 받침판의 상면에 나란히 설치되고, 상기 캐리어의 유무를 감지하는 감지센서가 상기 가이드의 지지부 중심위치에 절개되어 형성된 자리홈에 삽입되어 상기 받침판의 상면에 설치된 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 있어서, 2개씩 한 조를 이루는 상기 가이드는 상호 호환이 가능하도록 동일한 규격 및 형상으로 제작된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 고안의 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

제3도를 참조하여 설명하면, 다수개의 캐리어(10)를 올려 놓을 수 있는 받침판(28)이 제조설비(도시 안됨)소정 위치에 설치되고, 이 받침판(28)상면 소정 위치에 캐리어(10)를 정위치시키는 소정 형상의 가이드(30)가 다수개 설치된다.

상기 가이드(30)는 하나의 캐리어(10)에 대하여 캐리어(10)의 양측 부위와 받침판(28)의 길이 방향을 지지하는 형태로 제3도에 도시된 바와 같이 좌우 동형으로 제작되어 한 쌍을 이루고, 또 받침판(28)의 길이 방향 중심선, 즉, B-B선에 대해서도 동일한 형상으로 제작되어 한 조의 가이드(30)를 이루고 있다.

상술한 바와 같이 한 쌍으로 제작되는 가이드(30)의 구성에 대하여 보다 상세히 설명하면, 소정 길이와 두께를 갖는 판 형상의 지지부(32)가 상기 받침판(28) 상면에 나란하게 밀착 고정되고, 이 지지부(32)의 길이 방향 끝단부에는 소정 높이로 돌출되어 상기 캐리어(10)를 받침판(28)의 길이 방향에 대해 정위치시키는 단턱(34)이 형상되어 있다.

또한, 지지부(32) 상면의 측부 중심 위치에 소정 길이로 돌출되어 상기 캐리어(10)의 측면 부위를 지지하는 측벽(36)이 형성되어 있고, 이들 측벽(36)의 중심 부위와 지지부(32)의 중심 부위가 소정 폭으로 절개된 형상으로 자리홈(38)이 형성되어 있으며, 이 자리홈(38)이 위치되는 받침판(28)상면에 캐리어(10)의 유무를 감지하는 감지센서(40)가 설치된다.

이러한 구성의 본 고안은 캐리어를 정위치시키는 가이드의 형상이 동일하게 제작됨에 따라 각각의 위치에 관계 없이 호환성 있게 설치 사용하게 되고, 동일한 형상으로 제작함에 따라 제작비를 줄이는 효과가 있다.

여기서, 상기와 같이 형성된 가이드는 이송장치가 웨이퍼를 정확하게 인계받을 수 있도록 종래와 동일한 위치에 설치되며, 상기 감지센서는 종래와 이격된 위치 즉, 상기와 같이 형성된 가이드의 자리홈이 위치되는 받침판 상면에 설치된다.

이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안 등록청구의 범위에 속함은 당연하다.

Claims (1)

1. 소정의 길이를 갖는 판 형상의 지지부와, 상기 지지부의 상측으로 일정한 높이로 돌출하여 형성된 단턱과 측벽을 구비하여 캐리어를 정위치 시키는 가이드가 2개씩 한 조를 이루며 받침판의 상면에 나란히 설치되고, 상기 캐리어의 유무를 감지하는 감지센서가 상기 가이드의 지지부 중심위치에 절개되어 형성된 자리홈에 삽입되어 상기 받침판의 상면에 설치된 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 있어서, 2개씩 한 조를 이루는 상기 가이드는 상호 호환이 가능하도록 동일한 규격 및 형상으로 제작됨을 특징으로 하는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치.