KR200153148Y1 - 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치 Download PDF

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Abstract

다수개의 웨이퍼를 담은 캐리어를 공정챔버 내부로 투입하기 전에 캐리어가 정위치 되었는가를 확인하도록 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 관한 것이다.
본 고안은 몸체의 상면에 형성된 안착홈과 상기 안착홈의 전·후면측에 돌출된 형상의 가이드와 상기 몸체의 전면에서 소정 넓이로 수직하게 절개된 형상의 자리홈 및 상기 자리홈에 지지핀에 의해 회동 가능하게 설치되는 받침판으로 형성된 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 있어서, 상기 후면 가이드 중심 부위를 소정 폭으로 절개한 형상의 가이드홈을 형성하고, 상기 받침판의 형상을 상기 가이드홈 부위까지 연장하여 형성함을 특징으로 한다.
따라서, 본 고안은 소정 부위가 휘거나 소정 범위 굴곡 변형된 캐리어가 위치되어도 상기 후면 가이드에 걸리게 되는 현상이 없게 되고, 이에 따라 캐리어의 변형된 부위가 가이드에 걸려 작업이 중단되는 것을 방지하게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치
제1도는 종래의 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치를 나타낸 사시도이다.
제2도는 캐리어 위치 감지장치의 동작 관계를 나타낸 단면도이다.
제3도는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치를 나타낸 사시도이다.
제4도는 본 고안에 따른 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치의 동작 관계를 나타낸 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10,30 : 감지장치 12 : 캐리어 하단부
14,34 : 몸체 16,36 : 안착홈
18a,18b,38a,38b : 가이드 20,40 : 자리홈
22,44 : 받침판 24 : 지지핀
26 : 스위칭부 28 : 스위치
42 : 가이드홈 46 : 단턱
본 고안은 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수개의 웨이퍼를 담은 캐리어를 공정챔버 내부로 투입하기 전에 캐리어가 정위치 되었는가를 확인하도록 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 관한 것이다.
웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되고, 이렇게 반도체 장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 각 공정으로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.
통상, 동일한 공정을 수행하는 다수개의 웨이퍼는 이송하기 용이하도록 형성된 캐리어에 담겨져 다음 공정으로 이송되며, 이러한 캐리어는 작업자 또는 이송장치에 의해 공정을 수행하기 용이한 위치로 옮겨지고, 이어 다른 이송장치에 의해 웨이퍼를 인계하게 된다.
이러한 캐리어의 이송과정 중 작업자가 근접하지 못하는 제조설비 내부로 캐리어를 투입하거나 빼낼 경우 제조설비 내부에 설치된 이송장치를 통해 이송하게 되며, 이때 상기 이송장치에 캐리어를 정확히 인계시키기 위해서는 웨이퍼가 놓이는 지지대에 캐리어를 정위치시켜야 한다.
상기와 같이 설치된 지지대의 소정 위치에는 상기 캐리어가 정위치됨을 확인하도록 하는 다수개의 감지장치가 설치되어 있고, 이러한 감지장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
제1도 및 제2도를 참조하여 설명하면, 통상 테프론 재질로 제작된 캐리어 하단부(12)가 놓이게 됨에 따라 캐리어가 위치된 것을 감지하게 되는 감지장치(10)가 있다.
이러한 감지장치(10)는 육면체 형상의 몸체(14)의 상면에 가로 방향으로 소정 폭과 깊이를 갖는 안착홈(16)이 형성되어 있으며, 상기 몸체(14)의 상측에 형성된 안착홈(16)을 사이에 두고 상호 대향하는 전·후면측에 가이드(18a,18b)가 돌출 형성되어 있다.
또한, 상기 몸체(14)의 전면에서 전면측 가이드(18a)의 중심 부위를 소정 폭으로 절개한 형상의 자리홈(20)이 형성되어 있고, 이렇게 형성된 자리홈(20)에 소정 두께와 넓이를 갖는 육면체 형상의 받침판(22)이 놓이게 되며, 이 받침판(22)은 상기 몸체(14)의 양측에 전면쪽 소정 위치에 관통 설치된 지지핀(24)에 회동 가능하게 힌지 고정되어 있다.
그리고, 상술한 바와 같이 자리홈(20)에 위치되는 받침판(22)의 하측에는 받침판(22)의 회동함에 따라 전류가 인가되도록 형성된 스위칭부(26)가 설치되어 있고, 이 스위칭부(26)의 상측에는 탄력적으로 돌출되는 스위치(28)가 설치되어 있으며, 이 스위치(28)는 스위칭부(26) 내부에 장착된 스프링(도시안됨)에 의해 탄력적으로 상기 받침판(22)을 밀어 올리는 역할을 하게 된다.
이렇게 형성된 감지장치(10)의 상측으로부터 다수개의 웨이퍼를 장착한 캐리어 하단부(12)가 올려지게 되면 상기 가이드(18a,18b)는 캐리어 하단부(12)를 안착홈(16)으로 안내하게 되고, 이에 따라 상기 캐리어 하단부(12)가 상기 받침판(22)을 누르게 된다.
이에 따라 받침판(22) 하측에 위치된 스위칭부(26)의 스위치(28)는 상기 캐리어의 무게를 받아 회동하게 되는 받침판(22)에 의해 눌려져 캐리어가 위치되었음을 감지하게 되고, 이렇게 감지된 신호는 소정의 이송장치(도시안됨)에 전달된다.
여기서, 상기 캐리어는 테브론 재질로 제작되고, 캐리어의 하단부(12)는 많은 공정을 수행하게 됨에 따라 소정 부위가 휘거나 굴곡되는 등의 변형되며, 또 상기 캐리어의 위치됨을 확인하는 감지장치(10)의 전·후면측 가이드(18a,18b) 사이의 폭이 상기 캐리어 하단부(12)가 겨우 놓일 수 있도록 좁은 폭으로 이루어져 있다.
그러나, 상기와 같이 캐리어의 하단부가 변형 굴곡되어 감지장치에 놓이게 되면 폭이 좁은 전·후면측 가이드의 상측 부위에 걸쳐진 상태로 있게 되어 캐리어의 위치됨을 확인하지 못하여 작업이 중단되는 문제점이 있었다.
또한, 회동 가능하도록 설치된 받침판과 후면 가이드 사이의 틈새로 이물질이 삽입되면, 상기 받침판의 회동이 억제되어 캐리어의 위치됨을 감지하지 못하는 문제점이 있었다.
본 고안의 목적은 다수개의 웨이퍼를 담은 캐리어의 위치됨을 확인하기 용이하도록 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 몸체의 상면에 형성된 안착홈과 상기 안착홈의 전·후면쪽에 돌출된 형상의 가이드부와 상기 몸체의 전면에서 소정 넓이로 수직하게 절개된 형상의 자리홈 및 상기 자리홈에 지지핀에 의해 회동 가능하게 설치되는 받침판으로 형성된 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 있어서, 상기 후면 가이드 중심 부위를 소정 폭으로 절개한 형상의 가이드홈을 형성하고, 상기 받침판의 형상을 상기 가이드홈 부위까지 연장하여 형성함을 특징으로 한다.
또한, 상기 가이드홈은 상기 자리홈과 동일한 폭으로 절개하여 형성함이 바람직하다.
이하, 본 고안의 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
제3도 및 제4도는 본 고안에 따른 바람직한 일 실시예를 나타낸 것으로서, 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제3도 및 제4도를 참조하여 설명하면, 육면체 형상의 몸체(34)의 상면에 가로 방향으로 소정 폭과 길이를 갖는 안착홈(36)이 형성되어 있으며, 상기 몸체(34)에 상측에 형성된 안착홈(36)을 사이에 두고 상호 대향하는 전·후면측에 가이드(38a,38b)가 돌출 형성되어 있다.
또한, 상기 몸체(34)의 전면에서 전면측 가이드(38a)의 중심 부위를 소정 폭으로 절개하는 형상의 자리홈(40)이 형성되어 있고, 후면측 가이드(38b)의 중심 부위에는 상기 자리홈(20)과 동일한 폭으로 소정 깊이 절개된 형상의 가이드홈(42)이 형성되어 있다.
상기의 자리홈(40)에는 소정 두께와 넓이를 갖는 육면체 형상의 받침판(44)이 놓이게 되며, 이 받침판(44)의 후면쪽 부위는 상기 가이드홈(42) 부위까지 연장된 형상의 단턱(46)을 형성하고 있다.
또한, 상기 받침판(44)은 상기 몸체(34)의 양측벽의 전면쪽 소정 위치에 관통 설치된 지지핀(24)에 회동 가능하게 힌지 고정되어 있으며, 이 받침판(44) 하측에는 받침판(44)의 회동에 의해 캐리어 하단부(12)의 위치됨을 확인하도록 설치된 스위칭부(26)가 있다.
이러한 구성의 본 고안은 소정 범위 휘거나 굴곡 변형된 캐리어의 하단부가 후면측 가이드에 닿지 않으며, 상기 받침판의 후면측 부위에 돌출 형성된 단턱에 의해 이물질이 삽입되지 않아 오동작이 없어 작업이 중단되는 것을 방지하게 되는 효과가 있다.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상과 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록청구의 범위에 속함은 당연하다.

Claims (1)

  1. 몸체의 상면에 형성된 안착홈과 상기 안착홈의 전·후면측에 돌출된 형상의 가이드와 상기 몸체의 전면에서 소정 넓이로 수직하게 절개된 형상의 자리홈 및 상기 자리홈에 지지핀에 의해 회동 가능하게 설치되는 받침판으로 구성된 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치에 있어서, 상기 후면 가이드 중심 부위를 소정 폭으로 절개한 형상의 가이드홈을 형성하고, 상기 받침판의 형상을 상기 가이드홈 부위까지 연장하여 형성함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치.
KR2019960015757U 1996-06-13 1996-06-13 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 위치 감지장치 KR200153148Y1 (ko)

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