KR20040065813A - 로봇 블레이드 - Google Patents

Abstract

로봇 블레이드를 제공한다. 상기 로봇 블레이드는 웨이퍼 수용부; 및 웨이퍼 수용부 상에 위치하는 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들을 구비하되, 상기 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들은 서로 같은 직선상에 위치하며 상기 웨이퍼 수용부로부터 소정거리 돌출하되 폭이 높이보다 크며 측면이 경사지거나 둥글게 형성되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구조로 인해 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩할 때, 건식 식각 가스의 부산물들이 상기 웨이퍼 접촉부의 측면에 잘 쌓이지 않으며, 웨이퍼의 슬라이딩이 종래보다 훨씬 용이하다.

Description

로봇 블레이드{Robot blade}

본 발명은 로봇 암에 관한 것으로 특히, 로봇암의 웨이퍼 접촉부에 관한 것이다.

반도체 제조 장치들 중에서 건식 식각 장치는 캐리어 투입구에 놓여진, 식각 처리될 웨이퍼들을 웨이퍼 이송 수단인 로봇에 의해 저장 챔버에 일시적으로 저장한 후 상기 로봇에 의해 식각 챔버인 반응로에 투입하고, 이와는 반대의 과정으로 상기 반응로에서 식각된 웨이퍼를 상기 로봇에 의해 상기 저장 챔버에 저장한 후 다시 상기 캐리어에 재장착하도록 웨이퍼들을 자동으로 이송하는 구조로 이루어져 있다.

상기 로봇은 몸체와 블레이드로 이루어지며 상기 블레이드는 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 수용부와 웨이퍼와 직접 닫는 웨이퍼 접촉부를 갖는다. 종래의 웨이퍼 접촉부는 상기 웨이퍼 수용부로부터 소정거리 돌출되며 측면이 상기 웨이퍼 수용부와 직각을 이룬다. 종래의 로봇을 이용하여 건식식각 챔버로 웨이퍼를 계속적으로 로딩 또는 언로딩할때, 건식식각챔버에서 발생되는 부산물들이 로봇 블레이드에 불균일하게 증착된다. 특히 상기 부산물들은 상기 웨이퍼 접촉부의 측면과 상기 웨이퍼 수용부가 만나는 부분에 많이 증착된다. 계속 부산물이 누적될 경우 부산물들은 웨이퍼 접촉부의 상단까지 쌓이게 되어 웨이퍼의 슬라이딩(sliding)을 어렵게 하고, 공정 불량을 야기한다.

따라서, 상기 문제를 해결하기 위하여, 본 발명의 기술적 과제는 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 로봇 블레이드를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 로봇암을 개략적으로 나타내는 입체도이다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 도 1의 웨이퍼 접촉부를 A 선을 따라 자른 단면도를 나타낸다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 로봇 블레이드는 웨이퍼 수용부; 및 웨이퍼 수용부 상에 위치하는 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들을 구비하되, 상기 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들은 서로 같은 직선상에 위치하며 상기 웨이퍼 수용부로부터 소정거리 돌출하되 폭이 높이보다 크며 측면이 경사지거나 둥근 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 로봇암을 개략적으로 나타내는 입체도이다.

도 1을 참조하면, 로봇은 몸체(1)와 블레이드(7)로 구성되어 있다. 상기 로봇 몸체(1)는 상하 및 회전 운동을 한다. 상기 블레이드(7)는 웨이퍼 수용부(3)과 웨이퍼 접촉부(5)를 포함한다. 상기 웨이퍼 접촉부(5)는 웨이퍼(W)가 놓여질때 직접 닫는 부분이다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 바람직한 실시예들에 따라 도 1의 웨이퍼 접촉부(5)를 A 선을 따라 자른 단면도를 나타낸다.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 웨이퍼 접촉부(5)의 측면은 상기 웨이퍼 수용부(3)에 대해 경사지거나(도 2a), 웨이퍼 접촉부(5)의 측면의 상부만 경사지거나(도 2b), 또는 웨이퍼 접촉부(5)의 측면은 둥글다(도 2c). 이러한 구조로 인해 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩할 때, 건식 식각 가스의 부산물들이 상기 웨이퍼 접촉부(5)의 측면에 잘 쌓이지 않으며, 웨이퍼의 슬라이딩이 종래보다 훨씬 용이하다.

따라서, 본 발명에 따른 로봇 블레이드에 의하면, 측면이 경사지거나 둥근 웨이퍼 접촉부를 갖기에 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩할 때, 가스의 부산물들이 상기 웨이퍼 접촉부의 측면에 잘 쌓이지 않으며, 웨이퍼의 슬라이딩이 종래보다 훨씬 용이하다.

Claims (1)

1. 웨이퍼 수용부; 및

   웨이퍼 수용부 상에 위치하는 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들을 구비하되,

   상기 적어도 3개의 웨이퍼 접촉부들은 서로 같은 직선상에 위치하며 상기 웨이퍼 수용부로부터 소정거리 돌출하되 폭이 높이보다 크며 측면이 경사지거나 둥근 것을 특징으로 하는 로봇 블레이드.