KR20000050289A - 로봇 암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법 - Google Patents

로봇 암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법 Download PDF

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Abstract

로봇 암(robot arm)을 사용하여 카세트로 웨이퍼를 이송할 때, 로봇 암에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치(scratch) 결함이 발생하는 문제를 억제할 수 있는 로봇 암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은 웨이퍼를 1번 슬롯(slot)부터 윗번호순으로 웨이퍼를 언로딩(unloading)하는 단계와, 상기 웨이퍼를 카세트(cassette)의 26번 슬롯(slot)부터 아래번호순으로 로딩(loading)하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇 암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법을 제공한다.

Description

로봇 암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법 {Method for wafer transfer to cassette using robot arm}
본 발명은 반도체 소자의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 이송수단으로 사용되는 카세트로의 웨이퍼 이송방법에 관한 것이다.
단위공정에서 가공이 끝난 웨이퍼는 이송수단인 카세트(Cassette)에 담겨서 다른 단위공정으로 옮겨진다. 그 후, 연결되는 단위공정에서는 다시 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내서(unloading) 가공을 한 후, 다시 후속공정으로 보내기 위해 웨이퍼를 카세트에 다시 담게(loading)된다.
도 1을 참조하면, 카세트(51)에 담긴 웨이퍼(53)를 로봇암(55)이 로딩하는 것을 나타낸 개략적인 단면도로서, 기존의 웨이퍼(53)를 카세트(51)에 로딩하는 방법은 1번 슬롯부터 윗번호순으로 웨이퍼를 카세트에 집어넣고, 언로딩하는 순서 역시 1번 슬롯부터 윗번호순으로 웨이퍼를 카세트에서 꺼내도록 되어있다. 그러나 웨이퍼(53)를 로봇암(55)이 카세트에 적재시킬 때, 아래의 슬롯에 적재된 웨이퍼(55)의 전면에 스크래치(scratch)를 발생할 수 있는 위험이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점을 근본적으로 해결할 수 있는 로봇암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법을 제공하는데 있다.
도 1은 종래기술에 의한 카세트로의 웨이퍼 이송방법을 설명하는 개략도.
도 2는 본 발명에 의한 카세트로의 웨이퍼 이송방법을 설명하는 개략도.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼를 1번 슬롯(slot)부터 윗번호순으로 웨이퍼를 언로딩(unloading)하는 단계와, 상기 웨이퍼를 카세트(cassette)의 26번 슬롯(slot)부터 아래번호순으로 로딩하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따라서 카세트(100)에서 웨이퍼(102)를 언로딩(unloading)하는 방법은 1번 슬롯(slot, 104)부터 윗번호순으로 웨이퍼(102)를 언로딩한다. 그리고 로딩하는 방법은 26번 슬롯(104)부터 아랫번호순으로 웨이퍼(102)를 로딩(loading)한다. 따라서 로봇암(robot arm)이 웨이퍼를 이송할 때 아래의 슬롯에는 웨이퍼가 없는 상태가 되기 때문에 로봇암이 웨이퍼를 입출시키기 위해 카세트(100) 내부에서 이동할 때 설령 약간의 이동의 오차가 발생하더라도 아래에 위치한 웨이퍼(102)의 전면에 스크래치 결함을 야기시키지 않는다.
따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 카세트에서 웨이퍼의 이송방법을 개선함으로써, 웨이퍼에서 발생할 수 있는 스크래치 결함을 근본적으로 방지할 수 있다.

Claims (1)

  1. 웨이퍼를 1번 슬롯(slot)부터 윗번호순으로 웨이퍼를 언로딩(unloading)하는 단계와,
    상기 웨이퍼를 카세트(cassette)의 26번 슬롯(slot)부터 아래번호순으로 로딩(loading)하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇암을 이용한 카세트로의 웨이퍼 이송방법.
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