KR20030003554A - 카세트가 로딩되는 스테이지가 설치된 인덱서부를 갖는반도체 제조 설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트가 놓여지는 카세트 인덱스(cassette indexer)를 갖는 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 반도체 제조 설비는 웨이퍼 카세트가 놓여지는 스테이션이 상하 수직으로 배치되는 인덱서와, 적어도 하나의 공정 유닛과, 인덱서에서 공정 유닛으로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 아암으로 이루어진다.

Description

카세트가 로딩되는 스테이지가 설치된 인덱서부를 갖는 반도체 제조 설비{SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT HAVING INDEXER PART WITH STAGE FOR LOADING CASSETTE}

본 발명은 반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 제조 설비에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 웨이퍼 카세트가 놓여지는 카세트 인덱스(cassette indexer)를 갖는 반도체 제조 설비에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 설비(10)는 도 1에 도시한 바와 같이 크게 인덱서(12)와 반송유니트(20), 스크루버 유니트들 및 베이크 유니트들로 구성된 프로세스 모듈(30)로 구성되어 있다.

그 중 인덱서(12)는 웨이퍼에 대한 유저(user)와 프로세스 모듈(스크루버유니트 및 베이크 유니트)(30)의 인터페이스를 목적으로 하는 유니트로서, 오퍼레이터(또는 AGP)에 의해 카세트가 인덱서(12)의 스테이션(14에 세트되면 카세트 각단의 웨이퍼 유무를 검출하고 인덱서 아암(16)이 웨이퍼를 추출하여 프로세스 모듈내의 반송 유니트(20)로 반송하고, 반송된 웨이퍼는 프로세스 모듈(30)에 로딩된다. 프로세스 종료후의 웨이퍼는 반송 유니트(20)에 의해 회수되어 역순으로 웨이퍼 카세트에 넣어지게 된다.

그러나, 종래 반도체 제조 설비(10)는 인덱서(12)의 4개의 스테이션(14)들이 수평으로 배열되어 있다. 따라서, 여러 개의 웨이퍼 카세트를 로딩하기 위하여 인덱서의 스테이션을 증설하고자 할 경우 전체적인 설비의 폭이 증가된다는 문제점이 발생된다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 인덱서의 스테이션을 증설할 때 설비의 폭이 증가되지 않는 새로운 형태의 반도체 제조 설비를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 스피너 설비의 개략적인 구조를 나타낸 사시도;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스피너 설비의 사시도;

도 3은 도 2에 도시된 스피너 설비의 평면도;

도 4는 도 2의 정면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110 : 인덱서

112 : 스테이지

114 : 인덱서 아암

120 : 이송 유니트

130 : 프로세스 모듈

150 : 웨이퍼 카세트

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 설비는 웨이퍼 카세트가 놓여지는 스테이션을 갖는 인덱서와; 반도체 제조 공정이 진행되는 적어도 하나의 공정 유닛과; 상기 인덱서에서 상기 공정 유닛으로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 아암을 포함하되; 상기 인덱서의 스테이션을 상하 수직으로 배치한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 인덱서는 상기 스테이션에 놓인 웨이퍼 카세트로부터 상기 이송 아암으로 웨이퍼를 이송하고, 그 역순으로 가공이 끝난 웨이퍼를 이송하는 인덱서 아암을 더 포함할 수 있다.

이와 같은 본 발명에서 상기 스테이션으로는 웨이퍼 카세트가 자동대차(AGV) 로봇에 의해 로딩 또는 언로딩될 수 있다.

이와 같은 본 발명에서 상기 공정 유닛은 스피너 공정을 진행하기 위한 스피너 유닛일 수 있다.

이와 같은 본 발명에서 상기 인덱서 아암은 수직축으로 이동 가능하다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 사시도이다.

도 3은 반도체 제조 설비의 평면도이다. 도 4는 본 발명의 제조 설비의 정면도이다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 스피너 설비는 웨이퍼 카세트에 장착된 웨이퍼를 로딩 언로딩 하기 위한 인덱서(110)와, 이송 유니트(120) 그리고 다수의 프로세스 모듈(130)들로 이루어진다.

상기 인덱서(110)에는 5개의 스테이지(Stage;112)가 상하 수직방향으로 형성되고, 이 스테이지(112)에 놓인 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 이송하기 위한 인덱서 아암(Arm;114)을 갖는다. 이 인덱서 아암(114)은 상기 상하 수직 방향으로 배치된 스테이지(112)들로부터 웨이퍼를 이송할 수 있도록 수직 방향으로 이동가능함은 물론이다.

상기 스테이션(112)에는 자동 반송 장치 인 AGP(Auto Guide Vehicle; 미도시됨) 또는 오퍼레이터에 의해 이송되어진 웨이퍼 카세트(150)가 놓여진다. 상기 웨이퍼 카세트(150)에는 소정의 반도체 공정을 수행하기 위한 다수의 웨이퍼들(w)이 담겨져 있다. 그리고, 상기 웨이퍼 카세트(150)는 공정에 따라 다르지만 일정시간을 상기 스테이션(112)에서 대기하게 되고, 상기 인덱서 아암(114)에 의해 상기 이송 유니트(120)로 이송되어진다.

본 발명의 구조적인 특징은 추후 스테이션 증설시 전체적인 설비의 폭 증가를 최소화 할 수 있도록 상기 인덱서의 스테이션을 상하 수직으로 배치한다는데 있다.

이상에서, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비에서 인덱스의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명에 의하면, 인덱서의 스테이션을 증설시, 상하 방향으로의 증설이 가능함으로써 설비의 점유면적을 최소화하여 그에 따른 원가 절감과 더불어 생산성 향상 효과를 얻을 수 있다.

Claims (5)

1. 반도체 제조 설비에 있어서:

   웨이퍼 카세트가 놓여지는 스테이션을 갖는 인덱서와;

   반도체 제조 공정이 진행되는 적어도 하나의 공정 유닛과;

   상기 인덱서에서 상기 공정 유닛으로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 아암을 포함하되;

   상기 인덱서의 스테이션을 상하 수직으로 배치하여 설비의 폭 증가를 최소화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 인덱서는 상기 스테이션에 놓인 웨이퍼 카세트로부터 상기 이송 아암으로 웨이퍼를 이송하고, 그 역순으로 가공이 끝난 웨이퍼를 이송하는 인덱서 아암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 스테이션으로는 웨이퍼 카세트가 자동대차(AGV) 로봇에 의해 로딩 또는 언로딩되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 공정 유닛은 스피너 공정을 진행하기 위한 스피너 유닛이 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 인덱서 아암은 수직축으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.