KR0114985Y1 - 카세트 고정장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 카세트를 고정시, 접촉부위에서 발생되는 파티클을 최소화하는 카세트 고정장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트(2)의 양부에 횡측으로 구비되며, 상기 카세트의 일측부가 끼워지도록 그 중앙부에 소정크기로 라운딩된 홈(4a)이 형성된 H-바(4); 및 상기 카세트 포스트(3)의 양측부에 일체로 구비되되 그에 안착되는 카세트를 잡아주도록 소정크기의 슬롯(5a)이 형성된 카세트홀더(5)를 구비하여 카세트와의 접촉부분을 최소화하여 긁힘에 의한 로드록 챔버의 파티클 발생을 억제하였으며, 상기 카세트의 로딩 및 언로딩시 작업이 용이 하고, 카세트의 안착에 따른 카세트 홀더의 에러를 방지하는 효과가 있다.
Description
제1도는 본 고안에 의한 카세트 고정장치의 일 실시예 구성을 나타낸 사시도.
제2도는 제1도의 A-A단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 카세트 플레이트 2 : 베이스 플레이트
3 : 카세트 포스트 4 : H-바
4a : 홈 5 : 카세트 홀더
5a : 슬롯
본 고안은 반도체 제조장비에서 가스주입 공정을 수행하기 위하여 웨어퍼가 구비된 카세트를 고정하는 장치에 관한 것으로, 특히 카세트를 고정시, 접촉부위에서 발생되는 파티클을 최소화하는 카세트 고정장치에 관한 것이다.
종래의 가스주입장비에서 카세트 고정장치는 카세트를 지지하는 카세트 플레이트와, 카세트가 놓여지도록 하는 카세트 포스트로 크게 구성되며, 서로 직각 상태로 나사에 의해 체결되어 있다.
여기서, 상기 카세트 플레이어의 중앙부분에는 베이스 플레이트가 구비되며, 상기 베이스 플레이트의 양측에 H-바가 횡측으로 구비되되, 그의 중앙부에 소정크기의 홈이 형성되어 있어 카세트의 일측부가 끼워져 고정되도록 하는데, 상기 홈은 직각으로 형성되어 있기 때문에 그에 카세트를 고정시 접촉부위에서 심한 긁힘이 생겨 파티클이 유발되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 카세트 포스트의 일측에서는 그에 안착된 카세트를 잡아주는 카세트 홀더가 구비되어 90°상승 또는 하강을 하게 되는데, 상기 카세트 홀더는 양극산화된 알루미늄재질로 형성되어 있기 때문에 상기 카세트와 접촉시 파티클이 다량 발생되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 카세트와의 접촉면적을 최소화하되, 전표면을 코팅처리하여 카세트와의 접촉에 의한 파티클을 방지하는 카세트 고정장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 반도체 제조공정을 수행하는 이온주입장비에서, 웨이퍼가 다수 장착된 카세트를 지지하도록 그 중앙부에 소정크기의 베이스 플레이트가 구비된 카세트 플레이트와, 상기 카세트 플레이트와 직각이 되도록 그의 하단 양측부에 장착되어 카세트가 놓여지도록 하는 카세트 포스트가 구비된 카세트 고정장치에 있어서, 상기 베이스 플레이트의 양부에 횡측으로 구비되며, 상기 카세트의 일측부가 끼워지도록 그 중앙부에 소정크기로 라운딩된 홈이 형성된 H-바; 및 상기 카세트 포스트의 양측부에 일체로 구비되되, 그에 안착되는 카세트를 잡아주도록 소정크기의 슬롯이 형성된 카세트홀더를 제공한다.
이하, 첨부된 제1도 및 제2도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안에 의한 카세트 고정장치의 일 실시예 구성을 나타낸 사시도이고, 제2도는 제1도의 A-A단면도로서, H-바의 상세 단면도를 각각 나타낸다.
도면에서 1은 카세트 플레이트, 2는 베이스 플레이트, 3은 카세트 포스트, 4는 H-바, 4a는 홈, 5는 카세트홀더, 5a는 슬롯을 각각 나타내는 것이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 카세트 고정장치는 웨이퍼가 다수 구비된 카세트를 안착하여 고정시, 접촉부위에서의 긁힘으로 인한 파티클이 발생되는 것을 최대한 억제하도록 카세트를 고정시키는 부위의 형상을 변형한 것으로, 상기 카세트 고정장치는 그 중앙부에 카세트를 지지하는 베이스 플레이트(2)가 구비된 카세트 플레이트(1)와, 상기 카세트를 안착시켜 지지하는 카세트 포스트(3)로 크게 구성되는데, 상기 베이스 플레이트(2)의 양측에 횡측으로 구비된 H-바(4)는 그의 중앙부에 소정크기의 홈(4a)이 형성되되, 상기 홈(4a)측으로 카세트의 일측부가 끼워지도록 하여 고정하게 되는데, 이때 상기 홈(4a)은 소정크기만큼 라운딩 처리되어 상기 카세트와의 접촉에 의한 긁힘을 방지하면서 쉽게 카세트 플레이트(1)에 안착되도록 한다.
그리고, 상기 카세트 포스트(3)는 그의 양측부에 양극산화된 알루미늄재질이 카세트 홀더(5)를 일체로 구비시키되, 중앙의 소정부분을 평평하게 가공하여 카세트의 하단면이 상기 카세트 홀더(5)에만 접촉되도록 하였다.
여기서, 상기 카세트 홀더(5)는 그의 상단면에 카세트의 하단면이 지지되도록 소정크기의 슬롯(5a)이 형성되는데, 상기 슬롯(5a)은 송정 각도를 가지는 V자형상으로 형성되어 카세트와의 접촉부분을 최소로 하면서 지지되도록 한다.
한편, 상기 카세트 플레이트(1)와 카세트 포스트(3)간의 나사에 의한 제결부위 홈을 최대한 깊게 형성하여 상기 카세트 플레이트(1)의 단차에 의한 카세트의 긁힘 또는 웨이퍼의 흔들림을 방지한다.
그리고, 상기 카세트와 접촉되어도 무른재질에 의한 긁힘 및 파티클을 최대한 억제할 수 있도록 상기 카세트 플레이트(1)와 카세트 포스트(3)의 전 표면을 테프론으로 코팅하는데, 이때 테프론과의 반응으로 가스가 배출되는 것을 줄이기 위해 코팅의 허용범위내에서 최소두께로 코팅을 한다.
상기와 같이 구성된 본 고안은 카세트와의 접촉부분을 최소화하여 긁힘에 의한 로드록 챔버의 파티클 발생을 억제하였으며, 상기 카세트의 로딩 및 언로딩시 작업이 용이하고, 카세트의 안착에 따른 카세트 홀더의 에러를 방지하는 효과가 있다.
Claims (2)
- 반도체 제조공정을 수행하는 이온주입장비에서, 웨이퍼가 다수 장착된 카세트를 지지하도록 그 중앙부에 소정크기의 베이스 플레이트(2)가 구비된 카세트 플레이트(1)와, 상기 카세트 플레이트(1)와 직각이 되도록 그의 하단 양측부에 장착되어 카세트가 놓여지도록 하는 카세트 포스트(3)가 구비된 카세트 고정장치에 있어서, 상기 베이스 플레이트(2)의 양부에 횡측으로 구비되며, 상기 카세트의 일측부가 끼워지도록 그 중앙부에 소정크기로 라운딩된 홈(4a)이 형성된 H-바(4); 상기 카세트 포스트(3)의 양측부에 일체로 구비되되, 그에 안착되는 카세트를 잡아주도록 소정크기의 슬롯(5a)이 형성된 카세트 홀더(5)를 포함하는 카세트 고정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 카세트 홀더(5)의 슬롯(5a)은 소정각도를 가지는 V자 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 카세트 고정장치.
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1994
- 1994-07-12 KR KR2019940017274U patent/KR0114985Y1/ko not_active IP Right Cessation
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