CN111319047A - 一种晶圆夹持机械手臂组件 - Google Patents

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史洪涛
金嵩
张逸杰
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    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Abstract

本发明提供一种晶圆夹持机械手臂组件，晶圆夹持机械手臂组件包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体中形成有通孔；衬垫，所述衬垫设置于所述机械手臂本体上，所述衬垫的底部形成有凹槽，且所述凹槽与所述通孔对应设置；紧固部件，所述紧固部件穿过所述通孔并插入至所述凹槽内，以将所述衬垫固定于所述机械手臂本体上。本发明的晶圆夹持机械手臂组件能有效防止晶圆受到金属污染。

Description

一种晶圆夹持机械手臂组件
技术领域
本发明属于半导体制造领域，特别是涉及一种晶圆夹持机械手臂组件。
背景技术
随着晶圆对品质参数要求越来越高，影响晶圆品质参数的原因很多，其中晶圆制备以及抓取过程中金属污染属于晶圆品质的重要管控项目。现有的衬垫固定方式会在晶圆夹持机械手臂组件上表面裸露金属螺丝，会造成晶圆受到金属污染；同时在衬垫长期使用磨损后，金属螺丝会与晶圆直接接触，致使晶圆受到金属污染。
基于以上所述，本发明的目的是提供一种晶圆夹持机械手臂组件，以解决现有技术中存在的上述问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种晶圆夹持机械手臂组件，用于解决现有技术中上述问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种晶圆夹持机械手臂组件，包括：
机械手臂本体，所述机械手臂本体中形成有通孔；
衬垫，所述衬垫设置于所述机械手臂本体上，所述衬垫的底部形成有凹槽，且所述凹槽与所述通孔对应设置；
紧固部件，所述紧固部件穿过所述通孔并插入至所述凹槽内，以将所述衬垫固定于所述机械手臂本体上。
可选地，所述衬垫包括第一衬垫和第二衬垫，所述机械手臂本体包括一主体部以及两叉臂部，所述主体部设有夹具，所述第一衬垫设置于所述主体部，所述第二衬垫设置于所述叉臂部。
可选地，所述第一衬垫的上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，所述第二衬垫上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，且所述第二衬垫的所述侧面上具有挡板。
可选地，所述第二衬垫的所述上表面与所述挡板之间的夹角为圆角。
可选地，所述第一衬垫、所述第二衬垫位于晶圆下方边缘处，以承载所述晶圆，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面与所述晶圆半径垂直，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面位于远离所述圆心一侧，所述挡板与所述晶圆相切，以阻挡所述晶圆。
可选地，所述通孔侧壁和所述凹槽侧壁具有螺纹结构，所述紧固部件的种类包括螺丝。
可选地，一个所述衬垫具有至少2个所述凹槽，所述紧固部件、所述通孔和所述凹槽一一对应。
可选地，所述机械手臂本体与所述衬垫之间包含粘合剂，以提高所述衬垫与所述机械手臂本体的固定强度。
如上所述，本发明提供一种晶圆夹持机械手臂组件，本发明具有以下功效：
晶圆夹持机械手臂组件上表面不裸露紧固部件，有效防止晶圆受到金属污染。
进一步的，机械手臂本体与所述衬垫之间具有粘合剂，以加强所述衬垫固定于所述机械手臂本体上表面。
附图说明
图1显示为本发明的晶圆夹持机械手臂组件的俯视图。
图2显示为本发明的晶圆夹持机械手臂组件中第一衬垫所在区域的截面图。
图3显示为本发明的晶圆夹持机械手臂组件中第一衬垫所在区域的俯视图。
图4显示为本发明的晶圆夹持机械手臂组件中第二衬垫所在区域的截面图。
图5显示为本发明的晶圆夹持机械手臂组件中第二衬垫所在区域的俯视图。
元件标号说明
101 晶圆
102 机械手臂本体
103 第一衬垫
104 第二衬垫
105 挡板
106 夹具
107 紧固部件
108 通孔
109 凹槽
110 圆角
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图1～图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
实施例1
如图图1～图5所示，本实施例提供一种晶圆夹持机械手臂组件，包括：机械手臂本体102、通孔108、衬垫、凹槽109、紧固部件107。
所述机械手臂本体102包括一主体部以及两叉臂部，所述主体部设有夹具106。
所述夹具106与气缸相连，当所述晶圆101放置于所述晶圆夹持机械手臂组件上时，所述夹具106在所述气缸的作用下向所述晶圆101移动，以夹持所述晶圆101。
在本实施例中，所述夹具106的个数为2个，所述夹具106的直径为10mm，所述夹具106之间的距离为2.5mm。
通孔108形成于所述机械手臂本体102。
所述通孔108侧壁具有螺纹结构，所述通孔108的数量与所述衬垫的总数量相等，所述通孔108和所述凹槽109一一对应。
衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
所述衬垫包括第一衬垫103和第二衬垫104，所述第一衬垫103设置于所述主体部，所述第二衬垫104设置于所述叉臂部。
所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，所述第二衬垫104的所述侧面上具有挡板105，所述第二衬垫104的所述上表面与所述挡板105之间的夹角为圆角110。
所述第二衬垫104的所述上表面与所述挡板105之间的夹角为圆角110，以防止所述晶圆101边缘崩边。
所述第一衬垫103、所述第二衬垫104位于晶圆101下方边缘处，以承载所述晶圆101，所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的所述侧面与所述晶圆101半径垂直，所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的所述侧面位于远离所述圆心一侧，所述挡板105与所述晶圆101相切，以阻挡所述晶圆101。
在本实施例中，所述衬垫是聚醚醚酮垫，所述第一衬垫103有2个，所述第二衬垫104有2个。所述衬垫与所述机械手臂本体102接触区域长度是15mm，宽度为12mm。
凹槽109形成于所述衬垫的底部，所述凹槽109与所述通孔108一一对应。
晶圆夹持机械手臂组件上表面不裸露紧固部件107，有效防止晶圆101受到金属污染。
所述凹槽109侧壁具有螺纹结构，一个所述衬垫具有至少2个所述凹槽109。
在本实施例中，一个所述衬垫具有所述凹槽109的个数为2个。
紧固部件107穿过所述通孔108并插入至所述凹槽109内，使所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
所述紧固部件107的种类包括螺丝，所述紧固部件107的数量与所述凹槽的总数量相等，所述紧固部件107和所述凹槽109一一对应。
在本实施例中，所述紧固部件107的直径介于2.5mm～6mm之间，例如，所述紧固部件107的直径可以为3mm、4mm、5mm。
本实施例还提供一种晶圆夹持机械手臂组件的制备方法，包括步骤：
步骤1)提供一机械手臂本体102、一衬垫、一螺丝，将所述衬垫放置于所述机械手臂本体102上方，所述衬垫的凹槽109与所述机械手臂本体102的通孔108相对应。
步骤2)将所述螺丝穿过所述通孔108并插入至所述凹槽109内，使所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
实施例2
如图图1～图5所示，本实施例与实施例1的区别仅在于：所述机械手臂本体102与所述衬垫之间具有粘合剂，以加强所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。本实施例提供一种晶圆夹持机械手臂组件，包括：机械手臂本体102、通孔108、衬垫、凹槽109、紧固部件107。
所述机械手臂本体102包括一主体部以及两叉臂部，所述主体部设有夹具106。
所述夹具106与气缸相连，当所述晶圆101放置于所述晶圆夹持机械手臂组件上时，所述夹具106在所述气缸的作用下向所述晶圆101移动，以夹持所述晶圆101。
在本实施例中，所述夹具106的个数为2个，所述夹具106的直径为10mm，所述夹具106之间的距离为2.5mm。
通孔108形成于所述机械手臂本体102。
所述通孔108侧壁具有螺纹结构，所述通孔108的数量与所述衬垫的总数量相等，所述通孔108和所述凹槽109一一对应。
衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
所述衬垫包括第一衬垫103和第二衬垫104，所述第一衬垫103设置于所述主体部，所述第二衬垫104设置于所述叉臂部。
所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，所述第二衬垫104的所述侧面上具有挡板105，所述第二衬垫104的所述上表面与所述挡板105之间的夹角为圆角110。
所述第二衬垫104的所述上表面与所述挡板105之间的夹角为圆角110，以防止所述晶圆101边缘崩边。
所述第一衬垫103、所述第二衬垫104位于晶圆101下方边缘处，以承载所述晶圆101，所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的所述侧面与所述晶圆101半径垂直，所述第一衬垫103、所述第二衬垫104的所述侧面位于远离所述圆心一侧，所述挡板105与所述晶圆101相切，以阻挡所述晶圆101。
在本实施例中，所述衬垫是聚醚醚酮垫，所述第一衬垫103有2个，所述第二衬垫104有2个。所述衬垫与所述机械手臂本体102接触区域长度是15mm，宽度为12mm。
凹槽109形成于所述衬垫的底部，所述凹槽109与所述通孔108一一对应。
晶圆夹持机械手臂组件上表面不裸露紧固部件107，有效防止晶圆101受到金属污染。
所述凹槽109侧壁具有螺纹结构，一个所述衬垫具有至少2个所述凹槽109。
在本实施例中，一个所述衬垫具有所述凹槽109的个数为2个。
紧固部件107穿过所述通孔108并插入至所述凹槽109内，使所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
所述紧固部件107的种类包括螺丝，所述紧固部件107的数量与所述凹槽的总数量相等，所述紧固部件107和所述凹槽109一一对应。
在本实施例中，所述紧固部件107的直径介于2.5mm～6mm之间，例如，所述紧固部件107的直径可以为3mm、4mm、5mm。
在本实施例中，所述机械手臂本体102与所述衬垫之间具有粘合剂，以加强所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
本实施例还提供一种衬垫安装方法，包括步骤：
步骤1)提供一机械手臂本体102、一衬垫、一螺丝，将所述衬垫放置于所述机械手臂本体102上方，所述衬垫的凹槽109与所述机械手臂本体102的通孔108相对应。
步骤2)将所述螺丝穿过所述通孔108并插入至所述凹槽109内，使所述衬垫固定于所述机械手臂本体102上表面。
综上所述，本发明提供一种晶圆夹持机械手臂组件，具有以下功效：
所述第二衬垫104的所述上表面与所述挡板105之间的夹角为圆角110，以防止所述晶圆101边缘崩边。
机械手臂本体102与所述衬垫之间具有粘合剂，以提高所述衬垫与所述机械手臂本体102的固定强度。
晶圆夹持机械手臂组件上表面不裸露紧固部件107，有效防止晶圆101受到金属污染。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (8)

1.一种晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于，包括：
机械手臂本体，所述机械手臂本体中形成有通孔；
衬垫，所述衬垫设置于所述机械手臂本体上，所述衬垫的底部形成有凹槽，且所述凹槽与所述通孔对应设置；
紧固部件，所述紧固部件穿过所述通孔并插入至所述凹槽内，以将所述衬垫固定于所述机械手臂本体上。
2.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述衬垫包括第一衬垫和第二衬垫，所述机械手臂本体包括一主体部以及两叉臂部，所述主体部设有夹具，所述第一衬垫设置于所述主体部，所述第二衬垫设置于所述叉臂部。
3.根据权利要求2所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第一衬垫的上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，所述第二衬垫上表面包含朝一侧面向上倾斜的斜面，且所述第二衬垫的所述侧面上具有挡板。
4.根据权利要求3所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第二衬垫的所述上表面与所述挡板之间的夹角为圆角。
5.根据权利要求3所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述第一衬垫、所述第二衬垫位于晶圆下方边缘处，以承载所述晶圆，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面与所述晶圆半径垂直，所述第一衬垫、所述第二衬垫的所述侧面位于远离所述圆心一侧，所述挡板与所述晶圆相切，以阻挡所述晶圆。
6.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述通孔侧壁和所述凹槽侧壁具有螺纹结构，所述紧固部件的种类包括螺丝。
7.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：一个所述衬垫具有至少2个所述凹槽，所述紧固部件、所述通孔和所述凹槽一一对应。
8.根据权利要求1所述的晶圆夹持机械手臂组件，其特征在于：所述机械手臂本体与所述衬垫之间包含粘合剂，以提高所述衬垫与所述机械手臂本体的固定强度。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112542412A (zh) * 2020-12-07 2021-03-23 长江存储科技有限责任公司 一种机械手臂及晶圆抓取装置
CN112838037A (zh) * 2021-01-05 2021-05-25 长江存储科技有限责任公司 晶圆传送装置及晶圆传送方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201282134Y (zh) * 2008-09-09 2009-07-29 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件
JP2014086472A (ja) * 2012-10-19 2014-05-12 Sinfonia Technology Co Ltd クランプ装置及びワーク搬送ロボット
JP2017143179A (ja) * 2016-02-10 2017-08-17 株式会社荏原製作所 基板搬送用ハンド
WO2018079351A1 (ja) * 2016-10-27 2018-05-03 川崎重工業株式会社 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置
CN108155143A (zh) * 2016-12-06 2018-06-12 捷普有限公司 用于提供末端执行器的装置、系统和方法
CN108780771A (zh) * 2016-03-25 2018-11-09 川崎重工业株式会社 基板搬送手及机器人

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201282134Y (zh) * 2008-09-09 2009-07-29 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 用于传递晶圆的机械手臂及该机械手臂中的插片组件
JP2014086472A (ja) * 2012-10-19 2014-05-12 Sinfonia Technology Co Ltd クランプ装置及びワーク搬送ロボット
JP2017143179A (ja) * 2016-02-10 2017-08-17 株式会社荏原製作所 基板搬送用ハンド
CN108780771A (zh) * 2016-03-25 2018-11-09 川崎重工业株式会社 基板搬送手及机器人
WO2018079351A1 (ja) * 2016-10-27 2018-05-03 川崎重工業株式会社 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置
CN108155143A (zh) * 2016-12-06 2018-06-12 捷普有限公司 用于提供末端执行器的装置、系统和方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112542412A (zh) * 2020-12-07 2021-03-23 长江存储科技有限责任公司 一种机械手臂及晶圆抓取装置
CN112838037A (zh) * 2021-01-05 2021-05-25 长江存储科技有限责任公司 晶圆传送装置及晶圆传送方法
CN112838037B (zh) * 2021-01-05 2022-03-22 长江存储科技有限责任公司 晶圆传送装置及晶圆传送方法

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