KR0117497Y1 - 핸들아암의 위치 측정장치 - Google Patents

핸들아암의 위치 측정장치

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KR0117497Y1 KR2019940035958U KR19940035958U KR0117497Y1 KR 0117497 Y1 KR0117497 Y1 KR 0117497Y1 KR 2019940035958 U KR2019940035958 U KR 2019940035958U KR 19940035958 U KR19940035958 U KR 19940035958U KR 0117497 Y1 KR0117497 Y1 KR 0117497Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 생산장비중 웨이퍼를 공정챔버내로 로딩시키거나 챔버내에서 이송시키기 위한 아암을 웨이퍼의 중심에 정확히 위치시킬 수 있는 핸들아암의 위치 측정장치에 관한 것으로, 상기 웨이퍼와 동일크기로 형성되며, 그 중앙에 웨이퍼의 중심이 일치되었는지를 확인하기 위한 소정크기의 관통홀이 형성된 웨이퍼중심측정판; 및 상기 위치조정바가 삽입되도록 중앙부에 장공슬롯이 형성된 지지편을 그 일측에 구비하여 상기 웨이퍼중심측정판의 하단부에 포개지도록 하며, 그 타측은 전후 신장되는 이동부재로 형성된 핸들편을 제공하여 핸들아암의 정확한 위치설정이 가능하게 되며, 이로 인한 웨이퍼의 긁힘과 파티클의 발생을 억제할 수 있으므로 웨이퍼이송에 따른 손상을 줄일 수 있고, 종래의 육안으로 핸들아암의 위치설정작업을 좀더 빨리하여 장비가동시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

핸들아암의 위치 측정장치
제 1 도는 본 고안에 의한 핸들아암의 위치 측정장치의 일실시예를 나타낸 구성도,
제 2 도는 본 고안에 의한 핸들아암의 위치 측정장치의 사용상태도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 인덱서2 : 위치조정바
3 : 핸들편4 : 지지편
4a : 장공슬롯5 : 이동부재
6 : 위치확인라인7 : 웨이퍼중심측정판
7a : 관통홀8 : 카세트
본 고안은 반도체 생산장비 중 웨이퍼를 공정챔버내로 로딩시키거나 챔버내에서 이송시키기 위한 아암을 웨이퍼의 중심에 정확히 위치시킬 수 있는 핸들아암의 위치 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼의 식각공정수행시, 카세트에 담겨진 웨이퍼는 핸들아암을 사용하여 챔버내로 이송시키고, 상기 챔버내에서는 식각공정이 진행된 웨이퍼를 로드록 아암을 사용하여 이송한다.
이때, 상기 핸들아암이나 로드록 아암상에 놓여지는 웨이퍼의 중심이 정확히 위치되어야만 공정이 원활하게 진행되는데, 종래에는 상기 웨이퍼가 놓여지는 핸들아암의 위치설정을 정확히 할 수 없고, 또한 이를 확인할 수 있는 방법이 육안으로 밖에 할 수 없었다.
이로인하여, 상기 아암의 기계적인 오차나, 웨이퍼의 위치상태를 확인하는 개인적 시각의 오차가 발생하고, 웨이퍼가 정확하게 위치되지 못한 상태로 이송되므로써 웨이퍼의 이송에 따른 긁힘이나 파티클이 발생하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼를 챔버내로 이송하거나 챔버내에서 원활한 공정을 진행하기 위하여 아암상에 놓여지는 웨이퍼의 위치상태를 정확히 측정하기 위한 핸들아암의 위치 측정장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 소정의 핸들아암상에 놓여지는 웨이퍼의 중심위치가 인덱서내에 구비된 위치조정바에 일치되도록 하는 핸들아암의 위치 측정장치에 있어서, 상기 웨이퍼와 동일크기로 형성되며, 그 중앙에 웨이퍼의 중심이 일치되었는지를 확인하기 위한 소정크기의 관통홀이 형성된 웨이퍼중심측정판; 및 상기 위치조정바가 삽입되도록 중앙부에 장공슬롯이 형성된 지지편을 그 일측에 구비하여 상기 웨이퍼중심측정판의 하단부에 포개지도록 하며, 그 타측은 전후 신장되는 이동부재로 형성된 핸들편을 제공한다.
이하, 첨부된 제 1 도 및 제 2 도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제 1 도는 본 고안에 의한 핸들아암의 위치 측정장치의 일실시예를 나타낸 구성도, 제 2 도는 본 고안에 의한 핸들아암의 위치 측정장치의 사용상태도를 각각 나타낸다.
도면에서 1은 인덱서, 2는 위치조정바, 3은 핸들편, 4는 지지편, 4a는 장공슬롯, 5는 이동부재, 6은 위치확인라인, 7은 웨이퍼중심측정판, 7a는 관통홀, 8은 카세트를 각각 나타낸 것이다.
도면에 도시한 바와 같이 본 고안에 의한 핸들아암의 위치 측정장치는 웨이퍼의 중심위치가 핸들아암상에 정확히 놓여질 수 있도록 구현한 것으로, 인덱서(1)에 구비된 위치조정바(2)가 삽입될 수 있도록 그 중앙에 장공슬롯(4a)이 형성된 지지편(4)을 일측에 구비하며, 타측은 그 소정부위에 위치확인라인(6)이 원호로 그어져 있는 이동부재(5)를 일체로 형성한 핸들편(3)과, 상기 핸들편(3)의 지지편(4)상면이 틈새가 생기도록 포개지되, 상기 지지편(4)의 장공슬롯(4a)에 대향되는 부위에 관통홀(7a)이 형성되어 웨이퍼의 중심위치가 정확히 일치되었는지를 확인하기 위한 웨이퍼중심측정판(7)을 구비한다.
이때, 상기 웨이퍼중심측정판(7)은 투명한 아크릴로 형성되어 상기 지지편(4)의 장공슬롯(4a)이 위치조정바(2)에 끼워진 상태를 확인하여 조절할 수 있도록 한다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 사용상태를 살펴보면, 먼저 웨이퍼가 담긴 카세트(8)에 웨이퍼중심측정판(7)을 삽입한 후 인덱서(1)를 상기 카세트(8)위에 올려놓는다.
그리고, 상기 핸들편(3)의 이동부재(5)를 신장하여 지지편(4)의 장공슬롯(4a)이 위치조정바(2)에 삽입될 수 있도록 한다. 이때 상기 이동부재(5)에 형성된 위치확인선(6)에 웨이퍼중심측정판(7)의 끝단부분이 일치될 때까지 신장한다. 그 이유는 상기 위치확인선(6)이 웨이퍼중심측정판(7)에 맞지 않으면 상기 위치조정바(2)가 틀어져 초기위치에서 다시 수행하여야 하기 때문이다.
상기 작업을 수행한 후 웨이퍼중심측정판(7)의 관통홀(7a)이 위치조정바(2)에 웨이퍼의 중심위치를 맞았는지를 확인한 후 꺼낸다.
그리고, 실제 핸들아암을 신장하여 카세트(8)내에 삽입하여 웨이퍼의 중심과 일치시킨후 꺼내어 공정챔버로 이송하게 되는 것이다.
상기와 같이 구성되어 사용되는 본 고안은 핸들아암의 정확한 위치설정이 가능하게 되며, 이로 인한 웨이퍼의 긁힘과 파티클의 발생을 억제할 수 있으므로 웨이퍼이송에 따른 손상을 줄일 수 있고, 종래의 육안으로 핸들아암의 위치설정작업을 좀더 빨리하여 장비가동시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 소정의 핸들아암상에 놓여지는 웨이퍼의 중심위치가 인덱서내에 구비된 위치조정바에 일치되도록 하는 핸들아암의 위치 측정장치에 있어서,
    상기 웨이퍼와 동일크기로 형성되며, 그 중앙에 웨이퍼의 중심이 일치되었는지를 확인하기 위한 소정크기의 관통홀이 형성된 웨이퍼중심측정판; 및
    상기 위치조정바가 삽입되도록 중앙부에 장공슬롯이 형성된 지지편을 그 일측에 구비하여 상기 웨이퍼중심측정판의 하단부에 포개지도록 하며, 그 타측은 전후 신장되는 이동부재로 형성된 핸들편을 포함하는 것을 특징으로 하는 핸들아암의 위치 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼중심측정판은
    투명한 아크릴재질로 형성된 것을 특징으로 하는 핸들아암의 위치측정장치.
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