KR20060130970A

KR20060130970A - 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크

Info

Publication number: KR20060130970A
Application number: KR1020050050732A
Authority: KR
Inventors: 백정환
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-06-14
Filing date: 2005-06-14
Publication date: 2006-12-20

Abstract

웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 포크가 개시된다. 그러한 웨이퍼 이송용 로봇 포크는 상기 웨이퍼를 상부에 안착시키기 위한 플레이트, 상기 웨이퍼가 상기 플레이트 상에 안착되어 유동하지 않도록 하기 위해 상기 플레이트의 상부에 구비된 적어도 하나 이상의 웨이퍼 고정 러버 및 상기 플레이트의 전면 에지에 형성되어 상기 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 러버 팁을 구비한다. 그리하여 본 발명은 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함으로써, 종래의 로봇 포크의 전면 에지가 웨이퍼를 스크래치함으로써 웨이퍼의 손상이 발생하는 문제점을 개선하는 효과를 갖는다.

식각(etch), 포크(fork), 플레이트(plate), 러버 팁(rubber tip)

Description

러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크{Robot fork for use in transferring wafer having rubber tip}

도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 개략적으로 보인 평면도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 러버 팁을 구비한 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 보인 평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 로봇 포크 102 : 웨이퍼 고정 러버

104 : 러버 팁

본 발명은 반도체 소자 제조용 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송용 로봇 포크(robot fork)에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에 있어서, 반도체 웨이퍼(wafer)의 에칭(etching) 또는 확 산(diffusion) 등의 단위 공정을 수행할 수 있도록 공정 챔버(chamber)로 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 이송 장치가 사용된다. 예를 들어, 포토레지스트(photoresist) 등으로 패터닝된 웨이퍼를 에칭하는 공정에 있어서, 인덱서(indexer)의 웨이퍼 카세트에 놓여진 웨이퍼를 로드락 챔버 또는 얼라인 챔버로 이송시킨 후 에칭용 공정 챔버로 옮기기 위해 웨이퍼 이송용 로봇이 사용된다. 상기 웨이퍼 이송용 로봇은 로봇 암(robot arm)을 구비하며, 상기 로봇 암은 로봇 포크를 구비하고 있어, 웨이퍼 이송용 로봇을 사용하여 웨이퍼를 이송할 때, 상기 로봇 포크를 통해 웨이퍼를 들어 올려 이송하고자 하는 지점까지 웨이퍼를 이송할 수 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 개략적으로 보인 평면도이다.

도 1을 참조하면, 로봇 포크(10)는 웨이퍼 고정 러버(rubber)(12)를 구비하고 있다.

상기 로봇 포크(10)는 통상 세라믹(ceramic) 재질로 된 플레이트를 구비하여, 상기 플레이트 상에 웨이퍼가 올려질 수 있도록 구성되어 있다.

상기 웨이퍼 고정 러버(12)는 상기 로봇 포크(10)의 플레이트 상에 놓여진 웨이퍼를 고정하기 위한 것이다. 상기 웨이퍼 고정 러버(12)는 통상적으로 고무 재질로 구성되며 복수 개 구비될 수 있다.

상기 로봇 포크(10)의 전면 에지(14)는 날카롭게 형성되어 있다. 따라서, 상기 로봇 포크의 전면 에지(14)에 의해 웨이퍼의 후면(backside)나 전면(frontside)을 스크래치 또는 웨이퍼 손상(broken)이 유발될 수 있다.

즉, 상기 로봇 포크의 전면 에지(14)의 세라믹 부분이 노출되어 있음으로 인해 공정 종료 후 디척킹(dechucking)시 디스챠지(discharge) 불량으로 스틱킹(sticking)에 의한 웨이퍼 위치 오류시 웨이퍼 이송 로봇이 이를 감지하는 것이 용이하지 않아 정전척(ESC) 상에서 슬라이딩된 웨이퍼를 이송하기 위해 로봇 포크가 챔버내로 들어가면서, 상기 로봇 포크의 전면 에지(14)의 세라믹 부분이 상기 웨이퍼의 후면이나 전면을 스크래치하거나 웨이퍼 손상을 유발하는 문제점이 있다.

또한, 웨이퍼 스크래치 또는 손상으로 인해 설비의 다운이 빈번하여 공정 손실을 초래하는 문제점이 있다.

또한, 웨이퍼 이송 로봇 포크의 전면 에지가 웨이퍼 등과 충돌함으로 인해 포크 브로큰(broken)이 발생되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 바와 같이 종래의 문제점을 개선하기 위한 러버 팁(rubber tip)을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크에서 로봇 포크의 전면 에지의 세라믹 부분이 노출되어 있음으로 인해 정전척 상에서 슬라이딩된 웨이퍼를 이송하기 위해 로봇 포크가 챔버내로 들어가면서 로봇 포크의 전면 에지의 세라믹 부분이 상기 웨이퍼의 후면이나 전면을 스크래치하거나 웨이퍼 손상을 유발하는 문제를 개선하기 위한 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크에 의해 웨이퍼 스크래치 또는 손상이 발생함으로 인하여 공정 설비의 다운이 빈번하게 발생하고 공정 손실이 초래되는 문제를 개선하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 종래의 웨이퍼 이송 로봇 포크의 전면 에지가 웨이퍼 등과 충돌함으로 인해 포크 브로큰이 발생되는 문제를 개선하기 위한 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함에 있다.

상기의 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 일 양상에 따라 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 포크는 상기 웨이퍼를 상부에 안착시키기 위한 플레이트; 상기 웨이퍼가 상기 플레이트 상에 안착되어 유동하지 않도록 하기 위해 상기 플레이트의 상부에 구비된 적어도 하나 이상의 웨이퍼 고정 러버; 및 상기 플레이트의 전면 에지에 형성되어 상기 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 러버 팁을 구비함을 특징으로 한다.

여기서, 상기 러버 팁은 상기 플레이트의 전면 에지가 두 개인 경우 상기 두 개의 전면 에지 모두에 형성될 수 있다.

또한, 상기 플레이트는 세라믹으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 러버 팁에 의해 상기 플레이트의 전면 에지가 커버링되는 것이 바람직하다.

이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이하의 실시예에서의 설명들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명에 대한 보다 철저한 이해를 돕기 위한 의도 이외에는 다른 의도없이 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하므로, 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 러버 팁을 구비한 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 보인 평면도이다.

도 2를 참조하면, 웨이퍼 이송용 로봇 포크(100)는 웨이퍼 고정 러버(102) 및 러버 팁(104)를 구비한다.

상기 웨이퍼 이송용 로봇 포크(100)는 웨이퍼를 이송하기 위해 상기 웨이퍼를 상부에 안착시키기 위한 플레이트(미부호)를 구비한다.

그리고, 상기 웨이퍼 고정 러버(102)는 상기 웨이퍼가 상기 플레이트 상에 안착되어 유동하지 않도록 하기 위해 상기 플레이트의 상부에 구비된다. 상기 웨이퍼 고정 러버(102)는 복수로 구비될 수 있다.

상기 러버 팁(104)은 상기 플레이트의 전면 에지(도 1의 14)에 형성되어 상기 웨이퍼의 손상을 방지하는 역할을 한다. 여기서, 상기 러버 팁(104)은 상기 플레이트의 전면 에지(도 1의 14)가 두 개인 경우 상기 두 개의 전면 에지(도 1의 14) 모두에 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 러버 팁(104)는 고무 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 그리하여 상기 플레이트의 전면 에지(도 1의 14)에 의해 상기 웨이퍼의 하면 또는 상면이 스크래치 및 손상을 더욱 방지할 수 있게 된 다.

상기 플레이트는 세라믹으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 러버 팁(104)에 의해 상기 플레이트의 전면 에지(도 1의 14)가 커버링(covering)되는 것이 바람직하다. 그리하여, 상기 웨이퍼가 상기 로봇 포크(100)의 플레이트 상에 안착될 때, 상기 웨이퍼가 스크래치되거나 손상되는 것을 더욱 방지할 수 있게 된다.

상기 로봇 포크(100)에서의 러버 팁(104) 및 웨이퍼 고정 러버(102)를 제외한 다른 부위는 본 발명의 명확한 이해를 돕기 위해 별도로 도시하지 않았다.

상기와 같은 구성을 통해 웨이퍼 디스챠지 불량에 의한 정전척에의 웨이퍼 스틱킹 발생으로 상기 정전척 상에서 웨이퍼가 슬라이딩되어 있더라도, 로봇 포크의 플레이트(예를 들면 세라믹으로 형성된 플레이트)와 상기 웨이퍼가 직접 접촉하지 않고 러버 팁과 상기 웨이퍼와 접촉하게 된다. 그리하여, 종래에 발생하던 히팅에 의한 브로큰 또는 웨이퍼 스크래치를 방지할 수 있게 된다.

본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 로봇 포크는 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명은 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함으로써, 종래의 로봇 포크의 전면 에지가 웨이퍼를 스크래치함으로써 웨이퍼의 손상이 발생하는 문제점을 개선하는 효과를 갖는다.

특히, 본 발명은 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함으로써 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크에서 로봇 포크의 전면 에지의 세라믹 부분이 노출되어 있음으로 인해 공정 종료 후 디척킹시 디스챠지 불량으로 스틱킹에 의한 웨이퍼 위치 오류가 발생하고 이 경우 웨이퍼 이송 로봇이 이를 감지하는 것이 용이하지 않아 정전척 상에서 슬라이딩된 웨이퍼를 이송하기 위해 로봇 포크가 챔버내로 들어가면서 로봇 포크의 전면 에지의 세라믹 부분이 상기 웨이퍼의 후면이나 전면을 스크래치하거나 웨이퍼 손상을 유발하는 문제를 감소 또는 최소화하는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 개선된 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함으로써, 종래의 웨이퍼 이송용 로봇 포크에 의해 웨이퍼 스크래치 또는 손상이 발생함으로 인한 공정 설비의 다운을 줄이고, 공정 손실을 줄이는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 러버 팁을 갖는 웨이퍼 이송용 로봇 포크를 제공함으로써 종래의 웨이퍼 이송 로봇 포크의 전면 에지가 웨이퍼 등과 충돌함으로 인해 포크 브로큰이 발생되는 문제를 감소 또는 최소화하는 효과를 갖는다.

Claims

웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송용 로봇 포크에 있어서:

상기 웨이퍼를 상부에 안착시키기 위한 플레이트;

상기 웨이퍼가 상기 플레이트 상에 안착되어 유동하지 않도록 하기 위해 상기 플레이트의 상부에 구비된 적어도 하나 이상의 웨이퍼 고정 러버; 및

상기 플레이트의 전면 에지에 형성되어 상기 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 러버 팁을 구비함을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 포크.
제1항에 있어서,

상기 러버 팁은 상기 플레이트의 전면 에지가 두 개인 경우 상기 두 개의 전면 에지 모두에 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 포크.
제2항에 있어서,

상기 플레이트는 세라믹으로 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 포크.
제3항에 있어서,

상기 러버 팁에 의해 상기 플레이트의 전면 에지가 커버링됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇 포크.