JP2002033379A - ウエハキャリアおよびウエハキャリアを用いた半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハキャリアの運搬時、ウエハが落下する
のを防止し、また高温処理工程などで溝が変形してもウ
エハ取り出し、載置ができる。 【解決手段】 ウエハキャリア本体１と治具３とを備
え、治具３は、差込部９を前面板２２に設けた穴１５か
ら凹部に差し込んだ状態で、梁１９を前面板２２に固定
可能であり、梁１９が前面板２２に固定された状態で、
差込部９の先端は後面板２３に設けた穴１５から突出す
るとともに、ウエハキャリア本体１の溝１３と治具３の
差込部９の溝４とがずれることでウエハを保持可能とし
た。持ち運びの際にはウエハがウエハキャリアの溝１３
に固定され、ウエハが落下することがなくなる。また、
半導体製造装置にウエハキャリアが置かれたとき等にお
いて、ウエハキャリア本体１の溝１３と治具３の差込部
９の溝４とが揃うと自由にウエハを取り出し、挿入がで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体デバイス
の製造工程などで、特に半導体製造装置や運搬作業に用
いられるウエハキャリアおよびウエハキャリアを用いた
半導体製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの製造工程では、工程間
の半導体ウエハの運搬や、工程処理を行う半導体製造装
置の処理室へのウエハ搬送には樹脂製のウエハキャリア
が一般的に用いられている。従来のウエハキャリアは、
図７に示すような形状をしており、内側には一定のピッ
チで多数の溝がありその中にウエハ２を図７の様に入れ
収納する。

【０００３】そして製造工程においてはウエハキャリア
５１を半導体製造装置の処理室へ搬送するための搬送ポ
ートへセットされるが、通常は図７のように横向きに設
置されるのがほとんどである。搬送時には例えば図８に
示すようにウエハ２は一枚毎に製造装置に付属した搬送
アーム２０がウエハキャリア５１内部のウエハ２の下に
挿入され、すくい上げるようにしてウエハ２が取り出さ
れ、製造装置の処理室に搬送される。処理後のウエハ２
をウエハキャリア５１へ収納するときはその逆の過程が
とられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のウエハキャリア
では、このような半導体製造工程において２つの問題点
があった。以下にそれらを説明する。

【０００５】まず、従来のウエハキャリアは図７に示す
ように、溝を有する左右の側面部と底面部でウエハ２を
保持し、上部はウエハ２を溝に挿入するために開放され
ている。そのため、製造装置のウエハ投入用搬送ポート
にウエハキャリア５１をオペレータがマニュアルで縦方
向、すなわち、ウエハ２が水平になる方向にして設置す
るが、もしこの時ウエハキャリア５１が若干傾くような
ことがあっても中に入っているウエハ２はウエハキャリ
アから滑り出てくる。また、設置するとき衝撃を与える
ような設置の仕方をすると、ウエハキャリア５１内にあ
るウエハの位置が動き、ウエハ水平位置やオリフラ位置
にばらつきが発生し、製造装置の処理室内部への搬送時
に支障を生じることがあるという問題があった。

【０００６】次に、ウエハキャリアは一般には半導体製
造工程の熱処理や洗浄などのユニット工程が異なっても
共通に用いられるものであり、前の製造処理が終了後ウ
エハはある１つのキャリアに入れられ、それがそのまま
次の工程処理を行う製造装置にセットされる。

【０００７】拡散炉から取り出された温度の高いウエハ
はそのままウエハキャリアに収納され、また約１４０℃
の硫酸と過酸化水素洗浄はウエハキャリアにウエハを入
れたまま行われる。このような熱履歴を受け続けると、
ウエハキャリアは時間がたつにつれて僅かずつ変形す
る。あるいはウエハキャリアの取扱時において複数回の
外的衝撃を受けても変形することがある。こうした状況
では図８に示すような問題が生じる。

【０００８】図８に示された５１は縦向きに半導体製造
装置の搬送部に設置されたウエハキャリアであるが、長
期間の処理工程での使用によって変形が生じている。具
体的にはキャリア５１の上部の溝は僅かに上方に傾き、
下部の溝は僅かに下方に傾いており、従って各溝に挿入
されたウエハ２も溝変形の通り、わずかずつ傾いてい
る。製造装置に付属した搬送アーム２０がウエハ２を加
工する処理部分に搬送するため、ウエハキャリア５１の
上部に位置するウエハを取り出すときは６の位置にきた
搬送アーム２０がキャリア５１内のウエハ２下に挿入さ
れることになる。この場合はウエハ２と搬送アーム２０
とは充分な隙間があり取り出しに問題はない。しかしな
がらウエハキャリア５１の下部のウエハ２を取り出すと
きには、７の位置の搬送アーム２０が取り出すことにな
るが、この場合はウエハ２と搬送アーム２０との隙間は
少なく、搬送アーム２０がウエハ２に接触する可能性が
ある。

【０００９】こうした問題が発生しそうなとき、従来は
ウエハ先端の隙間に対し、搬送アーム２０の位置調整を
行っている。しかし、この隙間がウエハキャリア５１内
でばらつくとその位置調整は困難で時間かかる。６イン
チのウエハキャリア５１では、ウエハ２は溝ピッチに対
応して通常4.76ｍｍピッチでキャリア５１に収納されて
おり、ウエハ２厚みを除くと4.12ｍｍである。これにウ
エハ搬送用アーム２０の厚み数ｍｍを省くとその隙間は
非常に狭くなり、微小な位置調整に時間がかかる。ウエ
ハキャリア５１が変形した場合はウエハ２の傾きは、ウ
エハキャリア毎で異なり、一旦特定のウエハキャリアで
位置調整してもそれ以外のウエハキャリア５１を使用す
るとウエハ２の取り出しまたは取り入れ時に搬送アーム
２０とウエハ２が再び接触するという問題がある。

【００１０】これを防止するため、従来は例えば１つの
工程処理が終了した後、特定の製造装置専用の、それ以
外使用しないウエハキャリアにウエハ２を移す作業をお
こないウエハキャリアに起因する搬送エラーを防止して
いる。しかし、これにより、ウエハ２を専用ウエハキャ
リアに移し替えるという作業が発生し、作業工程が増加
したり、製造効率が悪いものであった。

【００１１】したがって、この発明の目的は、上記従来
の問題を解決する構成を有し、ウエハキャリアの運搬
時、ウエハが落下するのを防止し、また高温処理工程な
どで溝が変形してもウエハキャリアにおけるウエハ取り
出し、載置ができるウエハキャリアおよびウエハキャリ
アを用いた半導体製造装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】以上のような問題を解決
するためにこの発明の請求項１記載のウエハキャリア
は、左右両側面板、前面板および後面板で枠組みされ、
前記両側面板のそれぞれの内側にウエハ収納用の複数の
溝が前記前面板および後面板と平行に並べて形成された
ウエハキャリア本体と、対向する面に前記ウエハキャリ
ア本体の溝と同一ピッチ、および同一断面形状の溝を有
する棒形状の２本の差込部が、可撓性の梁の両端に互い
に平行に設けた治具とを備え、前記前面板および後面板
は、左右両端部に前記差込部を挿通可能な穴をそれぞれ
有し、前記穴に対応する前記両側面板の位置に前記差込
部の挿通方向に沿って凹部を設け、前記治具は、前記差
込部を前記前面板に設けた穴から凹部に差し込んだ状態
で、前記梁を前記前面板に固定可能であり、前記ウエハ
キャリア本体の溝と前記治具の差込部の溝とがずれるこ
とでウエハを保持可能とした。

【００１３】このように、ウエハキャリア本体と治具と
を備え、前面板および後面板は、左右両端部に差込部を
挿通可能な穴をそれぞれ有し、穴に対応する両側面板の
位置に差込部の挿通方向に沿って凹部を設け、治具は、
差込部を前面板に設けた穴から凹部に差し込んだ状態
で、梁を前面板に固定可能であり、ウエハキャリア本体
の溝と治具の差込部の溝とがずれることでウエハを保持
可能としたので、持ち運びの際にはウエハがウエハキャ
リアの溝に固定され、ウエハが落下することがなくな
る。また、半導体製造装置にウエハキャリアが置かれた
とき等において、ウエハキャリア本体の溝と治具の差込
部の溝とが揃うと自由にウエハを取り出し、挿入ができ
る。

【００１４】請求項２記載のウエハキャリアは、請求項
１において、梁が前面板に固定された状態で、差込部の
先端は後面板に設けた穴から突出するようにした。この
ように、梁が前面板に固定された状態で、差込部の先端
は後面板に設けた穴から突出するようにしたので、この
状態でウエハキャリア本体の溝と治具の差込部の溝とが
ずれてウエハを保持することができる。

【００１５】請求項３記載のウエハキャリアは、請求項
２において、治具の差込部の先端が後面板表面と一致す
るまで押し込まれたとき、ウエハキャリア本体の溝が前
記治具の差込部の溝と揃うようにした。このように、治
具の差込部の先端が後面板表面と一致するまで押し込ま
れたとき、ウエハキャリア本体の溝が治具の差込部の溝
と揃うようにしたので、ウエハを取り出し、挿入ができ
る。

【００１６】請求項４記載のウエハキャリアは、請求項
２において、治具の差込部の先端の、後面板表面からの
突出長さは、ウエハキャリア本体の溝ピッチより小さい
長さ、または前記ウエハキャリアの溝ピッチの整数倍と
前記溝ピッチより小さい長さとの和である。このよう
に、治具の差込部の先端の、後面板表面からの突出長さ
は、ウエハキャリア本体の溝ピッチより小さい長さ、ま
たはウエハキャリアの溝ピッチの整数倍と溝ピッチより
小さい長さとの和であるので、ウエハキャリア本体の溝
と治具の差込部の溝とがずれ、ウエハを固定することが
できる。

【００１７】請求項５記載のウエハキャリアは、請求項
１，２，３または４において、穴および凹部は、ウエハ
をウエハキャリア本体の溝に挿入したときの前記ウエハ
周辺部と重なる位置に設けられている。このように、穴
および凹部は、ウエハをウエハキャリア本体の溝に挿入
したときのウエハ周辺部と重なる位置に設けられている
ので、ウエハ周辺部は治具の差込部の溝を形成する溝凸
部全体で押さえられる。

【００１８】請求項６記載のウエハキャリアは、請求項
１，２，３または４において、穴および凹部は、ウエハ
をウエハキャリア本体の溝に挿入したときの挿入側で前
記ウエハ周辺部と重ならない位置に設けられている。こ
のように、穴および凹部は、ウエハをウエハキャリア本
体の溝に挿入したときの挿入側でウエハ周辺部と重なら
ない位置に設けられているので、治具の差込部の溝を形
成する溝凸部はウエハキャリア本体の溝を塞ぎ、ウエハ
が動くことを阻止することができる。

【００１９】請求項７記載のウエハキャリアは、請求項
６において、治具の差込部の溝を形成する溝凸部の前記
差込部の差込方向側に内向きの傾斜面を形成した。この
ように、治具の差込部の溝を形成する溝凸部の差込部の
差込方向側に内向きの傾斜面を形成したので、溝凸部は
ウエハをウエハキャリア本体に押し込むように斜めから
接触して押えるとともに、ウエハキャリア本体側の溝を
塞ぎ、ウエハが動くことを阻止する。

【００２０】請求項８記載の半導体製造装置は、請求項
１記載のウエハキャリアが、後面板を下にして設置され
る平面を有し、前記後面板の穴と対向する前記平面の位
置に、差込部の先端を所定の長さだけ突き上げる突き上
げピンを備えた。このように、請求項１記載のウエハキ
ャリアが、後面板を下にして設置される平面を有し、後
面板の穴と対向する平面の位置に、差込部の先端を所定
の長さだけ突き上げる突き上げピンを備えたので、ウエ
ハキャリアが経年変化で変形しても、突き上げピンによ
って治具の差込部の溝が移動し、ウエハの方向の一定方
向に揃えることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】この発明の第１の実施の形態を図
１〜３に基づいて説明する。図１（ａ）はこの発明の実
施の形態のウエハキャリアの概略を示す分解斜視図、
（ｂ）はその治具の要部拡大図、図２はこの発明の実施
の形態のウエハキャリアの概略図である。

【００２２】図１および図２に示すように、ウエハキャ
リアは、左右両側面板２１、前面板２２および後面板２
３で枠組みされ、両側面板２１のそれぞれの内側にウエ
ハ収納用の複数の溝１３が前面板２２および後面板２３
と平行に並べて形成されたウエハキャリア本体１と、こ
の本体１に差し込まれた、ウエハキャリア本体１と同様
の樹脂からなる治具３とから構成されている。治具３
は、対向する面にウエハキャリア本体１の溝１３と同一
ピッチ、および同一断面形状の溝４を有する棒形状の２
本の差込部９が、可撓性の梁１９の両端に互いに平行に
設けてある。５はウエハキャリア本体１と治具３とをウ
エハキャリア本体１の前面板２２に固定する固定部を示
す。治具３はウエハキャリア本体１と固定部５の箇所で
取り外し自在である。

【００２３】また、前面板２２および後面板２３は、左
右両端部に差込部９を挿通可能な穴１５をそれぞれ有
し、穴１５に対応する両側面板２１の位置に差込部９の
挿通方向に沿って凹部（図示せず）を設けている。治具
３は、差込部９を前面板２２に設けた穴１５から凹部に
差し込んだ状態で、梁１９を前面板２２に固定可能であ
り、梁１９が前面板２２に固定された状態で、差込部９
の先端は後面板２３に設けた穴から突出するとともに、
ウエハキャリア本体１の溝１３と治具３の差込部９の溝
４とがずれることでウエハを保持可能とした。

【００２４】図１において、さらに構造を説明すると、
治具３の差込部９の内側には、ウエハキャリア本体１の
溝１３と同数で、同一の溝幅および溝ピッチのウエハ用
溝４と溝と凸部１０が形成されている。そして治具３の
差込量を調整すればウエハキャリア側の溝と正確に合う
ようになっている。この治具３に対応してウエハキャリ
ア本体１には差込用穴１５が左右前後４カ所に対称に形
成され、治具３をこの穴１５に完全に差し込んだとき、
差込部９の先端はウエハキャリア本体１の反対側の穴１
５から僅かに突き出るような長さとなっている。そして
治具３の２本の差込部９をつなぐ梁部１９も樹脂製であ
り、固定部５を固定点として上下に自由にたわみ、また
回復することができる。

【００２５】次にウエハキャリアにウエハ２を入れて持
ち運び、また、このウエハキャリアを半導体製造装置の
搬送用ポートに設置したときの、作用、ウエハ固定状態
について、図３を用いて説明する。

【００２６】図３（ａ）は図１とは形状は異なるがウエ
ハ２を内蔵したウエハキャリアを前面または後面から見
た図である。図３（ｂ）はウエハ２を入れた持ち運び状
態の時のウエハ２の固定状態を示したもので、図３
（ａ）のＡ−Ａ’線の断面図である。また、図３（ｃ）
は半導体製造装置の搬送ポート８の平面上にウエハ２を
挿入したウエハキャリアを設置したときのウエハ２の状
態を示すもので、図３（ａ）のＡ−Ａ’線の断面図であ
る。

【００２７】治具３の差込部９の先端はウエハキャリア
本体１が製造装置上に設置する前は、すでに述べたよう
に後面板の穴１５から少し突き出た状態にあるが、図３
（ｃ）を参照すると、製造装置の搬送ポート８その平面
から押され後面板２３と同一位置まで上方に移動して停
止する。この時、ウエハキャリア本体１の溝１３と差込
部９の溝４、およびウエハキャリア本体１の溝凸部１３
ａと差込部９の凸部１０とは一致して揃うことになる。
そうするとウエハ２はウエハキャリア本体１の溝１３内
で自由に動くことができる状態となる。従って、ウエハ
キャリア本体１が搬送ポート８上に設置されると、図８
に示した搬送アームでウエハを取り出したり挿入が可能
となるのである。

【００２８】以上の説明からわかるように、ウエハキャ
リア本体１が設置されない状態における、治具３の差込
部９先端の後面板２３の表面からの突き出し長さは、設
置したときにちょうどウエハキャリア１本体の溝１３と
揃うような長さに設計されている。その長さは、具体的
にはウエハキャリア本体１の溝ピッチより小さい長さま
たは溝ピッチの整数倍プラス溝ピッチより小さい長さで
あればよい。そして左右の差込部９をつないでいる梁１
９は固定部５で固定されているが、梁１９は可撓性の樹
脂材料から成っているので、搬送ポート８の平面から押
し上げられたとき、容易に移動できる。

【００２９】次に、ウエハ２が製造装置上でウエハキャ
リア本体１に入れられた後、持ち上げると図３（ｂ）に
示すように、差込部９は、梁１９の可撓性によって元の
位置へ回復しようとし下方へ移動する。一方、ウエハキ
ャリア本体１の溝１３にはウエハが存在するので差込部
９の溝凸部１０はウエハ周辺部を押し、これとウエハキ
ャリア本体１の溝凸部１３とで固定されることになる。
このように、ウエハキャリア本体１を持ち運ぶときや、
半導体製造装置の搬送ポート８上にウエハキャリア本体
１をオペレータが載せるときに誤って傾斜させてもウエ
ハが落下する事がなくなる。

【００３０】図３（ａ）に示した例では、差込部９の穴
１５の位置は、ウエハ２をウエハキャリア本体１に入れ
たとき、その左右側面と底面支持部１４で支えられた、
オリフラはあるが円状のウエハ２の最大径がくる位置に
形成されている。この場合はウエハ２の周辺部は、凸部
１０全体で押さえられる。

【００３１】なお、梁１９が前面板２２に固定された状
態で、差込部９の先端は後面板２３に設けた穴１５から
突出していなくてもよい。この場合、搬送ポート８の差
込部９に対応する位置に差込部９を押し込み可能な凸部
を設けておけば同様の作用が得られる。

【００３２】以上はウエハキャリア構成の一例である
が、ウエハキャリア本体１における治具３の差込位置と
ウエハの固定形態はこれ以外にも可能である。図４はこ
の発明の第２の実施の形態を示したものである。図４
（ａ）はウエハ２を内蔵したウエハキャリアを前面また
は後面から見た図である。図４（ｂ）はウエハ２を入れ
た持ち運び状態の時のウエハ２の固定状態を示したもの
で、図４（ａ）のＢ−Ｂ’線の断面図である。また、図
４（ｃ）は半導体製造装置の搬送ポート８の平面上にウ
エハ２を挿入したウエハキャリアを設置したときのウエ
ハ２の状態を示すもので、図４（ａ）のＢ−Ｂ’線の断
面図である。

【００３３】このウエハキャリアにおいては、治具３の
差込部９の穴１５はウエハキャリア本体１の溝１３に入
れられたウエハ２が差込部９と接触しない位置に形成さ
れている。そして差込部９に形成された溝４と凸部１
０’は図３と同一である。このようなウエハキャリア本
体１では、製造装置の搬送ポート８にウエハキャリア本
体１が設置された時は図３の場合と同様にしてウエハ２
は自由に動ける状態となっている。

【００３４】一方、ウエハキャリア本体１を持ち上げた
ときは、差込部９は下方に移動するが、図４（ｂ）から
わかるように差込部９は、ウエハ２に接触しない箇所に
設けられているので、溝凸部１０’はウエハ２に接触せ
ずに下方に移動して停止する。この状態ではウエハキャ
リア本体１の溝１３は差込部９の溝４とは揃わず、凸部
１０’はウエハキャリア溝部中央付近にきて溝１３を塞
ぐので、凸部１０’はウエハ２が動くことを阻止する。
このようにウエハ２は固定される。

【００３５】さらにまた、次のようなウエハキャリアの
形態も可能である。図５はこの発明の第３の実施の形態
を示したものである。図５（ａ）はウエハ２を内蔵した
ウエハキャリアを前面または後面から見た図である。図
５（ｂ）はウエハ２を入れた持ち運び状態の時のウエハ
２の固定状態を示したもので、図５（ａ）のＣ−Ｃ’線
の断面図である。また、図５（ｃ）は半導体製造装置の
搬送ポート８の平面上にウエハ２を挿入したウエハキャ
リアを設置したときのウエハ２の状態を示すもので、図
４（ａ）のＣ−Ｃ’線の断面図である。

【００３６】このウエハキャリアにおいては、治具３の
差込部９の穴１５はウエハキャリア本体１の溝１３に入
れられたウエハ２が差込部９と一部接触するような位置
に形成されている。そして差込部９に形成された凸部１
０”は図５（ｂ），（ｃ）のように、その下側、すなわ
ち差込方向側が斜めになっており、内向きの傾斜面を形
成している。このようなウエハキャリア本体１でも、製
造装置の搬送ポート８にウエハキャリア本体１が設置さ
れた時は図３の場合と同様にしてウエハ２は自由に動け
る状態となっている。

【００３７】一方、ウエハキャリア本体１を持ち上げた
ときは、差込部９は下方に移動するが、図５（ｂ）から
わかるように差込部９は、ウエハ２に一部接触するよう
な箇所に設けられているので、溝凸部１０”はウエハ２
をウエハキャリア本体１に押し込むように斜めから接触
し、停止する。この状態ではやはりウエハキャリア本体
１の溝１３は差込部９の溝４とは揃わず、凸部１０”は
ウエハ２を押さえるとともにウエハキャリア側の溝１３
を塞ぎ、ウエハ２が動くことを阻止する。このようにウ
エハ２は固定される。溝凸部１０”は片側が斜めになっ
ており、ウエハキャリア本体１側の溝形状と必ずしも一
致はしないが、溝凸部１０”の左右どちらかの溝および
凸部形状が揃えば製造装置上に設置したときのウエハ２
搬送に問題はないものである。

【００３８】以上の様なウエハキャリアを使用すればウ
エハは搬送時ウエハキャリアから落下することはない。
しかしながらこのウエハキャリアを高温に曝される製造
工程に用いた場合はその回数を重ねる毎に微小変形が起
こり、製造装置の搬送アームでウエハの取り出し、挿入
ができなくなったり、ウエハを搬送アームで損傷させる
場合が生じる。以下にそのような問題を解決する、この
発明の第４の実施の形態について説明する。

【００３９】図６はこの発明によるウエハキャリアを用
いる製造装置の搬送ポート部を示す図であり、ウエハキ
ャリア本体１の断面図は図３（ａ）のＡ−Ａ’線で切断
した断面図である。図６（ａ）はウエハキャリア本体１
を製造装置の搬送ポート８上に設置した図であるが、ウ
エハキャリア本体１の溝凸部１３は他の工程で使用した
ために若干の変形がある。これは搬送ポート８の平面上
にウエハキャリア本体１をおいたときに差込部９の突き
出し部が押さえられてキャリア本体１内部に移動し、本
来はウエハキャリア本体１の溝１３と差込部９の溝４と
が揃うはずであるが、図ではそれらにずれがあることで
示される。ウエハキャリア本体１側の溝１３が変形して
本来より上方へ変形しているために、ウエハ２も本来の
位置より上方を向いている。こうした状態では搬送アー
ムがウエハとウエハとの間に挿入できない場合もあり得
る。

【００４０】この実施の形態によるウエハキャリアを用
いる製造装置の搬送ポート８には、図６（ｂ）に示すよ
うにウエハキャリアを設置したとき、差込部９がくる位
置に治具３の突き上げピン１１が設けられている。ピン
１１は搬送ポート８の平面からウエハキャリア本体１の
溝幅よりも小さい長さだけ差込部９の先端を突き上げる
ように動作する。これにより差込部９の溝凸部１０が適
度に移動し、複数のウエハ２を一斉に同一の方向に向く
まで誘導する。これにより、ウエハ２は平面からの高さ
１２から差込部９の溝ピッチに対応した高さ１２′に移
動する。このようにしてウエハ２の方向が揃うと、ウエ
ハ２の間隔も揃い、それに対応して搬送アームの位置調
整をすればウエハキャリア本体１中のウエハすべてを問
題なく取り出したりまたは溝に挿入することができる。

【００４１】

【発明の効果】この発明の請求項１記載のウエハキャリ
アによれば、ウエハキャリア本体と治具とを備え、前面
板および後面板は、左右両端部に差込部を挿通可能な穴
をそれぞれ有し、穴に対応する両側面板の位置に差込部
の挿通方向に沿って凹部を設け、治具は、差込部を前面
板に設けた穴から凹部に差し込んだ状態で、梁を前面板
に固定可能であり、梁が前面板に固定された状態で、差
込部の先端は後面板に設けた穴から突出するとともに、
ウエハキャリア本体の溝と治具の差込部の溝とがずれる
ことでウエハを保持可能としたので、持ち運びの際には
ウエハがウエハキャリアの溝に固定され、ウエハが落下
することがなくなる。また、半導体製造装置にウエハキ
ャリアが置かれたとき等において、ウエハキャリア本体
の溝と治具の差込部の溝とが揃うと自由にウエハを取り
出し、挿入ができる。

【００４２】請求項２では、梁が前面板に固定された状
態で、差込部の先端は後面板に設けた穴から突出するよ
うにしたので、この状態でウエハキャリア本体の溝と治
具の差込部の溝とがずれてウエハを保持することができ
る。

【００４３】請求項３では、治具の差込部の先端が後面
板表面と一致するまで押し込まれたとき、ウエハキャリ
ア本体の溝が治具の差込部の溝と揃うようにしたので、
ウエハを取り出し、挿入ができる。

【００４４】請求項４では、治具の差込部の先端の、後
面板表面からの突出長さは、ウエハキャリア本体の溝ピ
ッチより小さい長さ、またはウエハキャリアの溝ピッチ
の整数倍と溝ピッチより小さい長さとの和であるので、
ウエハキャリア本体の溝と治具の差込部の溝とがずれ、
ウエハを固定することができる。

【００４５】請求項５では、穴および凹部は、ウエハを
ウエハキャリア本体の溝に挿入したときのウエハ周辺部
と重なる位置に設けられているので、ウエハ周辺部は治
具の差込部の溝を形成する溝凸部全体で押さえられる。

【００４６】請求項６では、穴および凹部は、ウエハを
ウエハキャリア本体の溝に挿入したときの挿入側でウエ
ハ周辺部と重ならない位置に設けられているので、治具
の差込部の溝を形成する溝凸部はウエハキャリア本体の
溝を塞ぎ、ウエハが動くことを阻止することができる。

【００４７】請求項７では、治具の差込部の溝を形成す
る溝凸部の差込部の差込方向側に内向きの傾斜面を形成
したので、溝凸部はウエハをウエハキャリア本体に押し
込むように斜めから接触して押えるとともに、ウエハキ
ャリア本体側の溝を塞ぎ、ウエハが動くことを阻止す
る。

【００４８】この発明の請求項８記載の半導体製造装置
によれば、請求項１記載のウエハキャリアが、後面板を
下にして設置される平面を有し、後面板の穴と対向する
平面の位置に、差込部の先端を所定の長さだけ突き上げ
る突き上げピンを備えたので、ウエハキャリアが経年変
化で変形しても、突き上げピンによって治具の差込部の
溝が移動し、ウエハの方向の一定方向に揃えることがで
きる。このため、搬送エラーを起こすことがないので、
製造装置専用のウエハキャリアに移し替える作業をなく
すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はこの発明の実施の形態のウエハキャリ
アの概略を示す分解斜視図、（ｂ）はその治具の要部拡
大図である。

【図２】この発明の実施の形態のウエハキャリアの概略
図である。

【図３】（ａ）は第１の実施の形態においてウエハを内
蔵したウエハキャリアを前面または後面から見た説明
図、（ｂ），（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ’線の断面図であ
る。

【図４】（ａ）は第２の実施の形態においてウエハを内
蔵したウエハキャリアを前面または後面から見た説明
図、（ｂ），（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線の断面図であ
る。

【図５】（ａ）は第３の実施の形態においてウエハを内
蔵したウエハキャリアを前面または後面から見た説明
図、（ｂ），（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線の断面図であ
る。

【図６】（ａ）この発明の第４の実施の形態によるウエ
ハキャリアを用いる製造装置の搬送ポート部を示す断面
図であり、（ｂ）はその突き上げピン動作時の断面図で
ある。

【図７】従来のウエハキャリアの概略図である。

【図８】ウエハキャリア内でのウエハの姿勢と搬送アー
ムの関係を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ウエハキャリア本体 ２ ウエハ ３ 治具 ４ 差込部の溝 ５ 治具の固定部 ６ 搬送アームの位置 ７ 搬送アームの位置 ８ 搬送ポート ９ 治具の差込部 １０，１０’，１０” 差込部溝の凸部 １１ 治具突き上げピン １２，１２’ ウエハの平面からの高さ １３ ウエハキャリアの溝部 １３ａ ウエハキャリアの溝凸部 １４ ウエハの底面支持部 １５ 差込部の穴 ２０ 搬送アーム ２１ 側面板 ２２ 前面板 ２３ 後面板

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 左右両側面板、前面板および後面板で枠
   組みされ、前記両側面板のそれぞれの内側にウエハ収納
   用の複数の溝が前記前面板および後面板と平行に並べて
   形成されたウエハキャリア本体と、対向する面に前記ウ
   エハキャリア本体の溝と同一ピッチ、および同一断面形
   状の溝を有する棒形状の２本の差込部が、可撓性の梁の
   両端に互いに平行に設けた治具とを備え、前記前面板お
   よび後面板は、左右両端部に前記差込部を挿通可能な穴
   をそれぞれ有し、前記穴に対応する前記両側面板の位置
   に前記差込部の挿通方向に沿って凹部を設け、前記治具
   は、前記差込部を前記前面板に設けた穴から凹部に差し
   込んだ状態で、前記梁を前記前面板に固定可能であり、
   前記ウエハキャリア本体の溝と前記治具の差込部の溝と
   がずれることでウエハを保持可能としたことを特徴とす
   るウエハキャリア。
2. 【請求項２】 梁が前面板に固定された状態で、差込部
   の先端は後面板に設けた穴から突出するようにした請求
   項１記載のウエハキャリア。
3. 【請求項３】 治具の差込部の先端が後面板表面と一致
   するまで押し込まれたとき、ウエハキャリア本体の溝が
   前記治具の差込部の溝と揃うようにした請求項２記載の
   ウエハキャリア。
4. 【請求項４】 治具の差込部の先端の、後面板表面から
   の突出長さは、ウエハキャリア本体の溝ピッチより小さ
   い長さ、または前記ウエハキャリアの溝ピッチの整数倍
   と前記溝ピッチより小さい長さとの和である請求項２記
   載のウエハキャリア。
5. 【請求項５】 穴および凹部は、ウエハをウエハキャリ
   ア本体の溝に挿入したときの前記ウエハ周辺部と重なる
   位置に設けられている請求項１，２，３または４記載の
   ウエハキャリア。
6. 【請求項６】 穴および凹部は、ウエハをウエハキャリ
   ア本体の溝に挿入したときの前記ウエハ周辺部と重なら
   ない位置に設けられている請求項１，２，３または４記
   載のウエハキャリア。
7. 【請求項７】 治具の差込部の溝を形成する溝凸部の前
   記差込部の差込方向側に内向きの傾斜面を形成した請求
   項６記載のウエハキャリア。
8. 【請求項８】 請求項１記載のウエハキャリアが、後面
   板を下にして設置される平面を有し、前記後面板の穴と
   対向する前記平面の位置に、差込部の先端を所定の長さ
   だけ突き上げる突き上げピンを備えたウエハキャリアを
   用いた半導体製造装置。