KR900007689B1 - 반도체웨이퍼의 이체용구 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체웨이퍼의 이체용구

제1도 및 제2도는 본 발명에 의한 반도체웨이퍼 이체용구의 한 실시예를 표시하고, 제1도는 반도체웨이퍼를 수납한 카세트와 웨이퍼 받이기구의 사시도.

제2도는 제1도의 이체용구에 받은 웨이퍼를 끼워둔 웨이퍼 끼워들기기구와 보우트의 사시도.

제3도는 종래의 반도체웨이퍼의 이체용구에 의한 카세트로부터 보우트에 이체하는 것을 표시한 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 반도체웨이퍼 2 : 보우트

2a : 지지봉 2c : 홈

3 : 카세트 3a : 수용홈

10 : 웨이퍼받이기구 11 : 밑판

12 : 받이몸통 12a : 수용홈

20 : 웨이퍼끼워들기기구 21∼23 : 끼워들기봉

21a∼23a : 수용홈 24 : 결합틀

25 : 지지편 26 : 지지체

27 : 손잡이 29 : 레버

32 : 용수철부재

본 발명은 카세트와 보우트간에서 반도체웨이퍼를 옮기기위한 이체용구에 관한 것이다. 제3도는 종래의 반도체웨이퍼(이하 웨이퍼라 칭한다)의 이체를 표시하는 사시도이다. 도면에 있어서 1은 웨이퍼, 2는 석영재로된 보우트로서 3본의 지지봉(2a)이 양단을 연결체(2b)에 의하여 결합 성립되어 각 지지봉(2a)에는 여러장의 웨이퍼(1)가 간격을 두어 수납하기 위한 여러줄의 홈(2c)이 설정되어있다.

3은 내처리액성의 합성수지재로된 카세트로 상, 하부는 개구되어있어 양측부의 내부에는 대향하여 여러줄의 수용홈(3a)이, 상기 보우트의 홈(2c)과 동일피치에 설정되어있으며 아래쪽은 안쪽으로 좁혀져있고, 여러장의 웨이퍼 간격을 두어 세운자세로 수납하도록 되어있다.

카세트(3)의 양측부의 윗쪽에는 바깥방향으로 돌기부(3b)가 설정되어 취급하기 편하게 되어있다. 카세트(3)에 수납되어 있는 웨이퍼(1)를 보우트(2)에 이체하는데 손으로 핀세트(4)를 사용하여 웨이퍼(1)의 언저리를 끼워들어 인출하여 보우트(2) 3본의 지지봉(2)의 각 홈(2c)을 걸쳐서 수납하고 웨이퍼(1)가 바로서서 지지된 것을 확인한후 핀세트(4)를 뗀다. 이와같은 동작을 반복하여 전수(예컨네 25매)의 웨이퍼(1)를 이체하여왔다. 보우트(2)의 웨이퍼(1)를 소정의 처리후, 카세트(3)의 이체는 상기와는 정반대인 동작을 반복한다.

상기와 같은 종래의 이체로서는 카세트(3)로부터 웨이퍼(l)를 빼어낼때, 웨이퍼(1)가 기울어 카세트(3)의 수용홈(3a)이나 옆의 웨이퍼(1)에 접속되어 홈이 생기거나 보우트(2)로 옮기는 도중 떨어트려 파손하거나 다음 공정에 지대한 영향을 주어 담보저하의 원인이 되는등 문제점이 있었다. 또 웨이퍼(1)를 한장씩 옮기므로 여러장의 웨이퍼의 이체에는 상당한 시간이 필요하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기위하여 창안된 것이며 수납되어있는 여러장의 웨이퍼가 동시에 이체되며 보우트의 좁은공간내에서의 이체가 용이하며 또 웨이퍼표면에 흠이않나는 웨이퍼 이체용구를 얻는데 그 목적이 있다.

본 발명에 관한 웨이퍼 이체용구는 윗면에 많은 줄의 수용홈이 설정된 받이몸통이 밑판위에 간격을 두어 설정된 웨이퍼받이기구와 내면에 많은줄의 수용홈이 설정된 3본의 끼워들기봉을 웨이퍼의 외주에 대하여 한쪽측과 다른측의 상하 2군데에 위치하도록 지지체에 지지하여 이 지지체에 손잡이를 달아 레바수단에 의한 다른축의 밑쪽 끼워받이봉이 웨이퍼의 반경방향으로 회동되게끔 끼워받이지지구를 구비한 것이다.

본 발명에 있어서는 여러장의 웨이퍼를 수납한 카세트를 웨이퍼받이기부 윗쪽에서부터 하강시키면, 여러장의 웨이퍼는 밑쪽이 받이체의 각 수용홈내에 끼워져서 카세트는 밑판위에 내려온다. 이 받이체 위에 수용된 여러장의 웨이퍼를 끼워받이 지지구로 끼워들기봉에 의하여 외주 3개소에서 끼워받아 각 수용홈에 끼워 일괄하여 보우트상에 옮긴다. 또 보우트상의 여러장의 웨이퍼를 끼워받이 지지구로서 끼워받기를 유지하여 일괄하여 받이기구의 받이체상에 실려 수용한다. 이상태에서 밑쪽의 밑판상의 카세트를 상승시켜 웨이퍼를 일괄하여 각 수용홈내에 받아서 수납한다.

본 발명에 의한 웨이퍼 이체용구의 한 실시예를 제1도 및 제2도에 표시한다. 우선 제1도의 웨이퍼받이기구(10)는 다음과 같이 구성되어있다. 11은 밑판, 12는 이 밑판상에 지지봉(13)을 통하여 고정된 받침체로서 윗면은 원호면이되어 여러장의 웨이퍼(1)를 바로세워서 받아 수용하기위한 여러줄의 수용홈(12a)이 카세트(3)의 수용홈(3a)과 동일한 피치에 설정되어있다. 14는 밑판(11)에 고착되어 하강된 카세트(3)의 둘레를 밖으로 받을 위치를 결정하는 안내판이다.

15는 카세트 지지구로서 ㄷ자 모양의 받이부(15a)로서 카세트(3)의 양돌기부(3b)를 밑쪽에서부터 받아 운반한다. 다음에 제2도는 웨이퍼끼워들기 기구부를 표시한다. 도면에 있어서 20은 웨이퍼끼워들기기구 21,22,23은 3본의 끼워들기봉으로 각각 내면에 여러줄의 수용홈(21a), (22a), (23a)이 상기 카세트(3)의 수용홈(3a)과 동일피치로 설정되어 웨이퍼(1)의 둘레를 3개소의 위치에서 끼워, 각 수용홈에 끼워서 유지하게끔 되어있다.

24는 끼워들기봉으로서 21, 22의 양단을 고착하는 양측일대의 결합틀로서, 지지체(26)에 고착되어있다. 지지체(26)로부터 손잡이(27)가 나와있다. 25는 일단이 지지핀(28)에 의하여 지지체(26)에 회동가능하게 지지되어, 다본 끝단에 상기 끼워들기봉(23)을 고정한 양측일대의 지지편, 29는 일단이 지지핀(30)에 의하여 지지체(26)에 회동가능하게 지지된 레바로서, 연결편(31)을 통하여 지지편(25)에 회동을 전달하고 끼워들기봉(23)에 웨이퍼(1)의 반경방향을 이동시킨다. 32는 지지핀(30)에 끼워져 양단이 지지체(26)와 레바(29)에 걸려, 상시는 레바(29)를 웨이퍼(1) 방향으로 회동시키는 용수철이다.

상기한 실시예의 용구에 의한 웨이퍼(1)의 이체는 다음과 같이 한다. 우선, 제1도와같이 여러장의 웨이퍼(l)를 수납한 카세트(3)를 지지구(15)에 의하여 지지하고, 웨이퍼끼워들기기구(10)상에 위치하여 하강한다. 그러면 카세트(3)는 각 안내판(14)에 안내되어 밑판(11)위에 실려진다. 이 카세트(3)의 하강도중에 웨이퍼(1)는 일괄하여 받이몸통(12)에 받아지게되어, 각 수용홈(12a)에 각각 끼워져서 바로서서 수용되어 제2도와같이 된다. 여기서, 웨이퍼끼워들기기구(20)을 손잡이(27)로 주고 레바(29)를 끼워들기봉(23)에 후퇴시켜 끼워들기봉(21)과의 간격을 넓혀 웨이퍼(1)의 위에서부터 하강하여 끼워들기봉(22)와 (23)과의 중간을 끼워들기봉(22)을 연결하는 선이 웨이퍼(1)의 직경선상이되는 위치로하여 레바(29)를 놓는다. 그러면 용수철(32)의 누르는 압력에 의하여 레바(29)는 웨이퍼(l) 방향으로 회동하여 끼워들기봉(23)이 같은 방향으로 전진하여 각 웨이퍼(1)는 일괄하여 각 끼워들기봉(21)∼(23)에 끼워 각 수용홈(21a)∼(23a)에 끼워진다.

이와같이하여 웨이퍼끼워들기기구(20)로서 웨이퍼(1)를 일괄지지하여 보우트(2)상에 실어, 각 지지봉(2a)의 각홈(2c)내에 걸쳐 바로끼워 수납된다. 보우트(2)에 수납되어있는 웨이퍼(1)를 카세트(3)에 이체할려면 상기 동작과의 역순서대로 행한다. 더우기 상기 실시예에서는 웨이퍼(1)의 이체는 수동에 의하였으나 자동수단에 의하여 자동화하여 행할수도 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면 웨이퍼끼워들기기구에 의하여 카세트내의 웨이퍼를 일괄하여 받이몸통상에 똑바로 받아, 또는 받이몸통에 받아지는 웨이퍼를 일괄하여 카세트에 수납되게하고, 웨이퍼를 일괄하여 웨이퍼끼워들기기구로 지지하여 받이몸통과 보우트간의 이체를 하게하였으므로 여러장의 웨이퍼가 단시간내에 용이하게 이체할 수 있으므로 생산성이 향상되어 웨이퍼의 파손이나 오염이 없어지고 품질이 향상되어 제품의 생산률을 높일수가 있다.

Claims (1)

1. 양측내면에 설정된 여러줄의 수용홈에 걸쳐, 여러장의 반도체웨이퍼를 같은 간격으로 세운자세로서 수납하는 카세트와 3본의 지지봉에 상기 카세트의 수용홈과 동일피치에 설정된 여러줄의 홈에 걸쳐, 여러장의 반도체웨이퍼를 세운자세로 아래방향으로부터 지지하는 보우트간에 상기 반도체웨이퍼를 이체하는 용구에 있어서 밑판위에 간격을 비워 고착된 받이몸통 윗면의 원호면에 상기 카세트의 수용홈과 동일피치의 여러줄의 수용홈을 설정하여 놓고, 상기 반도체웨이퍼를 수납한 카세트가 위에서부터 하강되면 반도체웨이퍼를 상기 받이몸통의 수용홈에 일괄하여 받아, 지지하는 웨이퍼받이기구, 상기 보우트 또는 웨이퍼받이기구에 지지된 여러장의 반도체웨이퍼에 대하여 원둘레의 일방측위치의 끼워들기봉과 다른방향측의 위, 아래방향 위치의 제2 및 제3의 끼워들기봉이 각각 측방향으로 배설되어있어 각 끼워들기봉의 내면에는 상기 카세트의 수용홈과 동일피치의 여러줄의 수용홈이 설정되어 있어 상기 제1 및 제2의 끼워들기봉은 양단이 지지체측에 고정되어 이 지지체에는 손잡이가 나와있어 상기 제3의 끼워들기봉은 상기 지지체에 일대의 지지편을 거쳐 반도체웨이퍼에 대한 반경방향의 가동에 지지되어있어 지지체에 설정된 레바의 용수철부재에 의하여 상시예는 반도체웨이퍼를 끼워서 들수있도록 누르는 압력으로 상기 레바를 잡아당기므로서 개방되게끔되어있는 웨이퍼끼워들기기구를 구비하고 상기 웨이퍼받이기구와 보우트와의 사이에 여러장의 반도체웨이퍼를 상기 끼워들기기구에 의하여 끼워들어 일괄하여 옮길수 있게한 것을 특징으로 하는 반도체웨이퍼의 이체용구.

Images