CN112820663B - 一种自动复位的对开型晶圆盒托架 - Google Patents

一种自动复位的对开型晶圆盒托架 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面。本发明采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点。

Description

一种自动复位的对开型晶圆盒托架
技术领域
本发明属于半导体制造设备技术领域，尤其涉及自动复位的对开型晶圆盒托架。
背景技术
在全球半导体相关技术的发展之下，各领域的制造设备与制造方法各有发展的路径，在中国欲提升半导体相关的制造技术与相关设备及零组件的发展目标下，相关的厂商如雨后春笋般地在全国各地扩散开来。随着国家政策与资金的持续支持，国产化设备持续地、高强度地研发投入和核心技术的自主掌握日益提升，其中以半导体晶圆的负载、移动或是有关工艺流程使用所需要置放晶圆或是批量式晶圆等相关的零组件模组装置应用于各种工艺流程的应用设计与技术理念应需而生。晶圆盒在传输的使用常见于各种需要将单一晶圆盒或批量晶圆盒以夹持或是抱持方式置于移动模组上。晶圆的负载、移动、衔接过程中的微量或是过量的晃动偏移以及不当偏转会造成相关模组之间产生物理干涉，进而会造成设备的损害。现有的晶圆盒托架均为一体式设计，这限制了托架的使用范围的适用性，另外现有的晶圆盒托架在抱持晶圆盒时，晶圆盒无法正确与有效地置于托架上，会导致晶圆盒放置位置的偏移，进而会造成自动化流程的失效。
因此，提供一种使用范围适用性强，且能够正确、有效抱持晶圆盒的托架实为重要。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种自动复位的对开型晶圆盒托架，该托架的使用范围适用性强，且能够正确、有效抱持晶圆盒，避免晶圆盒的放置位置发生偏移，以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面。
本发明采用上述结构，左、右托臂能够在开合驱动机构驱动下分离和靠近，实现开合动作，能提高使用范围适用性，能有效、广泛地使用于半导体制程工艺设备的传输用途。将定位沟槽的槽壁设计成倾斜面，使得槽壁具有导向复位功能，使晶圆盒欲置放于托架时能快速地将晶圆盒的托耳复位于托架上，使晶圆盒位置准确地被托架抱持，从而有效避免在后续运动过程中与其它模组发生干涉，进而避免造成设备运行故障和损害。在本发明中，优选槽壁的倾斜角为45-60°。
在本发明具体实施方式中，所述开合驱动机构包括气缸、水平滑轨、左滑块、右滑块、左L型曲柄、右L型曲柄，所述气缸和水平滑轨均固定在所述托架支撑板上，所述水平滑轨位于气缸的下方，所述气缸的活塞杆向下延伸，端头固定有连接板，所述左滑块和所述右滑块位于所述水平滑轨上，所述左L型曲柄的两端分别铰接在所述左滑块和所述连接板的左下角，所述右L型曲柄的两端分别铰接在所述右滑块和所述连接板的右下角，所述左托臂连接在所述左滑块上，所述右托臂连接在所述右滑块上。采用这样的结构，能够保证左托臂和右托臂开合动作的同步性。
在本发明具体实施方式中，所述左托臂和所述右托臂上沿长度方向分布有两个定位沟槽。这样的结构使得一个托架具有两对定位沟槽，能够同时输送两个晶圆盒，从而提高了晶圆盒转移的效率。
在本发明具体实施方式中，所述左托臂和所述右托臂包括有定位条、支撑条，所述定位条固定在所述支撑条上，所述定位条上内侧具有条状缺口与所述支撑条的上表面形成所述台阶结构的所述定位沟槽，所述条状缺口的三个侧壁形成所述定位沟槽的槽壁。这样的结构，使得定位沟槽的加工比较简单，容易实现。
在本发明具体实施方式中，所述左托臂和所述右托臂还包括加强板，所述支撑条固定在所述加强板上，所述左托臂的加强板的固定端通过转接板与所述左滑块连接，所述右托臂的加强板的固定端通过转接板与所述右滑块连接。通过增加加强板，提供了支撑力，提高了左托臂和右托臂的刚性和强度，使得左、右托臂承载晶圆盒更加稳固。
为实现晶圆盒托架的联动，所述托架支撑板设置在联动传送机构上。所述联动传送机构为竖直移动机构、水平移动机构和旋转机构中的一种机构或者二种机构结合或者三种机构的结合。
采用上述技术方案，本发明采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明：
图1为本发明的晶圆盒托架的立体结构示意图；
图2为本发明的晶圆盒托架抱持晶圆盒的示意图。
具体实施方式
如图1所示，本发明的自动复位的对开型晶圆盒托架，包括托架支撑板100，具有对称结构的左托臂210和右托臂220，以及设于托架支撑板100上且驱动左托臂210和右托臂220水平开合的开合驱动机构300。
左托臂210的内边缘和右托臂220的内边缘沿长度方向分别分布有两个定位沟槽230，左托臂210的定位沟槽230和右托臂220的定位沟槽230彼此结构对称。托架具有两对定位沟槽，能够同时输送两个晶圆盒，从而提高了晶圆盒转移的效率。
左托臂210和右托臂220材料要求不受限于使用金属材料或是非金属材料，可针对环境特性需求而变化，如铝合金、钛合金、不锈钢合金或是各种工程塑料，需要能够满足物理刚性要求。
定位沟槽230为台阶结构，其三个槽壁231均为倾斜面，槽壁231的倾斜角为45-60°，在本实施例中优选为45°。将定位沟槽230的槽壁设计成倾斜面，使得槽壁具有导向复位功能，结合图2所示，使晶圆盒10欲置放于托架时能快速地将晶圆盒10的托耳11复位于托架上，使晶圆盒10能够位置准确地被托架抱持，从而有效避免在后续运动过程中与其它模组发生干涉，进而避免造成设备运行故障和损害。
开合驱动机构300包括气缸301、水平滑轨302、左滑块303、右滑块304、左L型曲柄305、右L型曲柄306。气缸301和水平滑轨302均固定在托架支撑板100上，水平滑轨302位于气缸301的下方。气缸301的活塞杆向下延伸，端头固定有连接板307。左滑块303和右滑块304位于水平滑轨302上，左L型曲柄305的两端分别铰接在左滑块303和连接板307的左下角，右L型曲柄306的两端分别铰接在右滑块304和连接板307的右下角，左托臂210连接在左滑块303上，右托臂220连接在右滑块304上。采用这样的结构，能够保证左托臂210和右托臂320开合动作的同步性。
左托臂210和右托臂220均包括有定位条201、支撑条202以及加强板203。定位条201、支撑条202以及加强板203具有相等的长度。定位条201固定在支撑条202上，该定位条201上内侧具有条状缺口与支撑条202的上表面形成台阶结构的定位沟槽230，条状缺口的三个倾斜的侧壁形成定位沟槽230的槽壁231。支撑条202固定在加强板203的上端面上(图1中，右托臂220的加强板未示出)。支撑条202截面为L型结构，能够便于与加强板203配合时的定位。加强板203为固定端宽、自由端窄的梯形板。
左托臂210的加强板203的固定端通过L型结构的转接板204与左滑块303连接，右托臂220的加强板203的固定端也通过L型结构的转接板204与右滑块304连接。通过增加加强板203，提供了支撑力，提高了左托臂210和右托臂220的刚性和强度，使得左、右托臂承载晶圆盒更加稳固。
托架支撑板100左、右肩部还各设有两个间隔分布的传感器205，在转接板204上设有被传感器205感测的薄片206。通过设置传感器205能够程控左、右托臂移动位置。另外，托架支撑板100上位于水平滑轨302旁还设有用于分别限定左、右滑块移动行程极限的左挡柱207和右挡柱208。
为实现晶圆盒托架的联动，托架支撑板100设置在联动传送机构400上。联动传送机构为竖直移动机构、水平移动机构和旋转机构中的一种机构或者二种机构结合或者三种机构的结合。这些机构可以是气缸驱动、或者电机驱动，也可以是磁驱动，由于这部分是现有技术，因此不再累述。
以上就是本发明的自动复位的对开型晶圆盒托架，该晶圆盒托架采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点
但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求保护范围内。

Claims (6)

1.一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面，其特征在于：所述开合驱动机构包括气缸、水平滑轨、左滑块、右滑块、左L型曲柄、右L型曲柄，所述气缸和水平滑轨均固定在所述托架支撑板上，所述水平滑轨位于气缸的下方，所述气缸的活塞杆向下延伸，端头固定有连接板，所述左滑块和所述右滑块位于所述水平滑轨上，所述左L型曲柄的两端分别铰接在所述左滑块和所述连接板的左下角，所述右L型曲柄的两端分别铰接在所述右滑块和所述连接板的右下角，所述左托臂连接在所述左滑块上，所述右托臂连接在所述右滑块上，所述托架支撑板两侧设有传感器，所述左托臂和所述右托臂上分别设有被传感器感测的薄片。
2.根据权利要求1所述的自动复位的对开型晶圆盒托架，其特征在于：所述槽壁的倾斜角为45-60°。
3.根据权利要求1所述的自动复位的对开型晶圆盒托架，其特征在于：所述左托臂和所述右托臂上沿长度方向分布有两个定位沟槽。
4.根据权利要求1所述的自动复位的对开型晶圆盒托架，其特征在于：所述左托臂和所述右托臂包括有定位条、支撑条，所述定位条固定在所述支撑条上，所述定位条上内侧具有条状缺口与所述支撑条的上表面形成所述台阶结构的所述定位沟槽，所述条状缺口的三个侧壁形成所述定位沟槽的槽壁。
5.根据权利要求4所述的自动复位的对开型晶圆盒托架，其特征在于：所述左托臂和所述右托臂还包括加强板，所述支撑条固定在所述加强板上，所述左托臂的加强板的固定端通过转接板与所述左滑块连接，所述右托臂的加强板的固定端通过转接板与所述右滑块连接。
6.根据权利要求1所述的自动复位的对开型晶圆盒托架，其特征在于：所述联动传送机构为竖直移动机构、水平移动机构和旋转机构中的一种机构或者二种机构的结合或者三种机构的结合。
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