CN220950102U - 搬送装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了搬送装置及真空镀膜设备。该装置用于搬运载具，载具用于承载基板，具体包括升降台、机械臂、第一驱动件和第二驱动件。升降台上穿设有驱动轴；机械臂的第一端设有挂接部，挂接部能与载具选择性挂接，机械臂的第二端连接驱动轴的第一端；第一驱动件设于升降台，第一驱动件与驱动轴驱动连接，第二驱动件与升降台驱动连接，第二驱动件能驱动升降台沿驱动轴的轴向升降。通过本实用新型，能够灵活调整基板位置，且自动化程度高，利于高效率的镀膜生产。

Description

搬送装置及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及搬送装置及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是在真空条件下采用物理或化学方法，使物体表面获得沉积薄膜的一种技术。真空镀膜可使物体表面具有独特性能，例如，能够大幅度提高材料的光学、电学和机械等方面的性能，从而获得明显的经济效益。

在进行真空镀膜过程中，通常在镀膜过程之前利用机械泵对镀膜室进行初抽真空，再由分子泵获得高真空，其后在高真空坏境下进行的镀膜。为实现更佳的薄膜品质和镀膜效率，往往需要对镀膜基板进行自动化搬送。不过，目前的自动化搬送装置难以灵活调整基板位置，且结构较复杂，难以适应高效率的镀膜生产。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供搬送装置及真空镀膜设备，能够灵活调整基板位置，且自动化程度高，利于高效率的镀膜生产。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

搬送装置，用于搬运载具，所述载具用于承载基板，包括：

升降台，所述升降台上穿设有驱动轴；

机械臂，所述机械臂的第一端设有挂接部，所述挂接部能与所述载具选择性挂接，所述机械臂的第二端连接所述驱动轴的第一端；

第一驱动件，设于所述升降台，所述第一驱动件与所述驱动轴驱动连接，

第二驱动件，与所述升降台驱动连接，所述第二驱动件能驱动所述升降台沿所述驱动轴的轴向升降。

作为一种搬送装置的可选方案，所述升降台开设有第一安装孔，所述驱动轴穿设于所述第一安装孔。

作为一种搬送装置的可选方案，所述驱动轴上套设有磁流体，所述磁流体的固定在所述升降台。

作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括机架，所述机架包括顶板和底板，所述顶板和所述底板分别位于所述升降台的两侧，所述底板与所述顶板之间通过多根立柱连接，所述底板设于镀膜室的外壁。

作为一种搬送装置的可选方案，所述升降台上设有导孔，所述立柱滑动穿设于所述导孔。

作为一种搬送装置的可选方案，所述底板上设有第二安装孔，所述驱动轴穿过所述第二安装孔。

作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括套设于所述驱动轴的波纹管，所述波纹管一端与所述升降台的底部连接，另一端与所述底板连接。

作为一种搬送装置的可选方案，所述第二驱动件设于所述顶板，所述顶板与所述底板之间设有传动组件，所述传动组件与所述升降台传动连接。

作为一种搬送装置的可选方案，所述传动组件包括丝杠和设于所述升降台底部的顶升件，所述顶升件与所述丝杠螺纹连接。

作为一种搬送装置的可选方案，两个所述第二驱动件对称设于所述驱动轴的两侧，所述第二驱动件的驱动端与所述丝杠之间通过皮带传动连接。

作为一种搬送装置的可选方案，所述底板上螺接有多个调节螺栓，所述调节螺栓用于调整所述底板至水平位。

作为一种搬送装置的可选方案，所述挂接部包括主体和设于所述主体上的挂钩，所述载具上设有能与所述挂钩挂接配合的挂孔。

作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括原点检测组件，所述原点检测组件包括设于所述顶板上的检测盘和检测杆，所述检测盘固定在所述驱动轴的第二端，所述检测杆的顶部设有传感器，所述传感器用于检测所述检测盘的识别部。

真空镀膜设备，包括镀膜室，还包括以上任一方案所述的搬送装置。

有益效果：

本实用新型的第一方面中，载具用于对基板传递和承载，通过机械臂上的挂接部与载具挂接，完成对载具的搬送，同时，挂接部能与载具挂接配合，以使机械臂能够完整提起载具，另外也能使挂接部与载具脱钩，以使机械臂完成与载具的分离，通过第一驱动件驱动驱动轴，因为驱动轴的第一端与机械臂相连接，能带动机械臂绕着驱动轴的轴向转动，进一步地，通过第二驱动件带动升降台沿着竖直方向移动，进而能使驱动轴沿着设置方向移动，以保证挂接部能准确完成挂接和脱扣的动作，此时，第一驱动件也会随着升降台沿着竖直方向移动。本装置能同时使载具具备沿着驱动轴的轴向移动和周向转动两个自由度，提升了搬送装置对于基板的位置调整的灵活性，进一步提升自动化程度，有利于高效率的镀膜生产。

本实用新型的第二方面中，配置有以上的搬送装置的真空镀膜设备，提升了镀膜生产的自动化程度和效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的搬送装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的镀膜室与搬送装置的主视图；

图3是本实用新型实施例提供的局部机械臂与载具的第一结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的局部机械臂与载具的第二结构示意图。

图中：

100、载具；110、挂孔；200、基板；

1、升降台；11、驱动轴；12、磁流体；13、波纹管；

2、机械臂；21、挂接部；211、主体；212、挂钩；22、连接台；23、延伸臂；

3、第一驱动件；

4、第二驱动件；41、皮带；

5、机架；51、顶板；52、底板；53、立柱；54、传动组件；541、丝杠；542、顶升件；55、调节螺栓；

6、原点检测组件；61、检测盘；62、检测杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

请参阅附图1，本实施例的第一方面涉及一种搬送装置(以下简称“装置”)，该装置用于搬运载具100，载具100用于承载基板200，装置具体包括升降台1、机械臂2、第一驱动件3和第二驱动件4。其中，升降台1上穿设有驱动轴11；机械臂2的第一端设有挂接部21，挂接部21能与载具100选择性挂接，机械臂2的第二端连接驱动轴11的第一端；第一驱动件3设于升降台1，第一驱动件3与驱动轴11的另一端转动连接；第二驱动件4与升降台1驱动连接，第二驱动件4能驱动升降台1沿驱动轴11的轴向升降。

实际上，载具100用于对基板200传递和承载，同一载具100能够放置多个基板200，基板200随着载具100在真空镀膜设备中进行整体移动。

在本实施例中，通过机械臂2上的挂接部21与载具100挂接，完成对载具100的搬送，示例性地，机械臂2可以将载具100从真空镀膜设备的进料室报送至出料室，同时，挂接部21能与载具100挂接配合，以使机械臂2能够完整提起载具100，同时也能使挂接部21与载具100脱钩，以使机械臂2完成与载具100的分离，另外，通过第一驱动件3固定在升降台1上，能驱动驱动轴11转动，驱动轴11的一侧与机械臂2相连接，从而带动机械臂2绕着驱动轴11的轴向转动，进一步地，通过第二驱动件4带动升降台1沿着竖直方向移动，进而能使驱动轴11沿着竖直方向移动，以保证挂接部21能准确完成挂接和脱扣的动作，此时，第一驱动件3也会随着升降台1沿着竖直方向移动。本装置能同时使载具100具备沿着驱动轴11的轴向和轴向两个方向的自由度，提升了搬送装置对于基板200的位置调整能力和灵活性，进一步提升自动化程度，有利于高效率的镀膜生产。

在本实施例中，为了配合载具100的布置方向，实际是与水平面保持一定的倾角设置，本实施例的机械臂2也与水平面呈相同的倾角，机械臂2包括一个连接台22和与连接台22底部连接的延伸臂23，延伸臂23相对于连接台22的位置能够调整，以适应整个装置与装载载具100的台架的相对距离。

可选地，升降台1开设有第一安装孔，驱动轴11穿设于第一安装孔。

在本实施例中，第一驱动件3设于升降台1的顶面上，并与驱动轴11驱动连接，驱动轴11穿过第一安装孔，驱动轴11能在第一安装孔内部转动。

可选地，驱动轴11上套设有磁流体12，磁流体12的固定在升降台1。

在真空镀膜过程中，需要严格的密封环境，为了防止外部的空气和灰尘通过第一驱动件3与升降台1之间的转动间隙进入，采用磁流体12实现转轴的动态密封。

可选地，本装置还包括机架5，机架5包括顶板51和底板52，顶板51和底板52分别位于升降台1的两侧，底板52与顶板51之间通过多根立柱53连接，底板52设于镀膜室的外壁。

在本实施例中，机架5用于支撑和固定整个装置的其他零部件，其中具体包括两个平行设置的顶板51和底板52，且分别位于升降台1的上面和下面，顶板51和底板52整体呈矩形，在顶板51和底板52的四个顶角位置分别连接四根立柱53。

进一步地，升降台1上设有导孔，立柱53滑动穿设于导孔。

在本实施例中，四根立柱53分别穿设于升降台1对应的导孔，由于升降台1能够在竖直方向上移动，立柱53能够在导孔的导向限位作用下滑动。

进一步地，底板52上设有第二安装孔，驱动轴11穿过第二安装孔。搬送装置还包括套设于驱动轴11的波纹管13，波纹管13一端与升降台1的底部连接，另一端与底板52连接。

在本实施例中，驱动轴11穿过底板52上的第二安装孔，为了保证升降台1与底板52之间的驱动轴11的动密封，在升降台1与底板52通过波纹管13密封连接，波纹管13能保证升降台1与底板52之间相对距离的调整。

可选地，第二驱动件4设于顶板51，顶板51与底板52之间设有传动组件54，传动组件54与升降台1传动连接；传动组件54包括丝杠541和设于升降台1底部的顶升件542，顶升件542与丝杠541螺纹连接；两个第二驱动件4对称设于驱动轴11的两侧，第二驱动件4的驱动端与丝杠541之间通过皮带41传动连接。

在本实施例中，第二驱动件4可以选用电机，电机的驱动端带动皮带41转动，皮带41带动丝杠541的一端转动，丝杠541的外壁上设有螺纹，与顶升件542的内螺纹进行螺纹传动连接，丝杠541转动可以直接带动顶升件542沿着丝杠541移动，当然，丝杠541与顶升件542的传动形式也可以选用常规的涡轮蜗杆配合。顶升件542进一步地带动升降台1沿着竖直方向移动。

可选地，底板52上螺接有多个调节螺栓55，调节螺栓55用于调整底板52至水平位。

在本实施例中，共设置了四个调节螺栓55，通过调整调节螺栓55能够灵活调整底板52水平。

可选地，挂接部21包括主体211和设于主体211上的挂钩212，载具100上设有能与挂钩212挂接配合的挂孔110。

在本实施例中，载具100上凸设有三个挂孔110，相应地，在挂接部21上包括三个挂钩212，其中三个挂钩212能分别与对应的挂孔110选择性挂接或脱扣。在挂孔110的内侧设有弧形凸起，在挂钩212上对应设有弧形凹槽，弧形凸起能嵌设在弧形凹槽内，以保证挂接的可靠性和稳定性，防止机械臂2移动速度过快导致载具100脱落。

可选地，装置还包括原点检测组件6，原点检测组件6包括设于顶板51上的检测盘61和检测杆62，检测盘61固定在驱动轴11的第二端，检测杆62的顶部设有传感器，传感器用于检测检测盘61的识别部。

在本实施例中，识别部为开设于检测盘61上的检测孔，由于第一驱动件3能带动驱动轴11，驱动轴11的转动带动机械臂2，所以机械臂2的转动角度与第一驱动件3以及驱动轴11的转动角度相同，检测盘61设于驱动轴11的第二端也能随着第一驱动件3转动，检测盘61的转动角度能够反映出机械臂2的转动角度，进一步地，通过传感器检测检测孔的位置，进而确定机械臂2的转动位置以及是否回撤到原点。

本实施例的另一方面还涉及一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括镀膜室和以上的装置，配置有以上装置的真空镀膜设备，能有效提升镀膜生产的自动化程度和效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (14)

1.搬送装置，用于搬运载具(100)，所述载具(100)用于承载基板(200)，其特征在于，包括：

升降台(1)，所述升降台(1)上穿设有驱动轴(11)；

机械臂(2)，所述机械臂(2)的第一端设有挂接部(21)，所述挂接部(21)能与所述载具(100)选择性挂接，所述机械臂(2)的第二端连接所述驱动轴(11)的第一端；

第一驱动件(3)，设于所述升降台(1)，所述第一驱动件(3)与所述驱动轴(11)驱动连接，

第二驱动件(4)，与所述升降台(1)驱动连接，所述第二驱动件(4)能驱动所述升降台(1)沿所述驱动轴(11)的轴向升降。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)开设有第一安装孔，所述驱动轴(11)穿设于所述第一安装孔。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动轴(11)上套设有磁流体(12)，所述磁流体(12)的固定在所述升降台(1)。

4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括机架(5)，所述机架(5)包括顶板(51)和底板(52)，所述顶板(51)和所述底板(52)分别位于所述升降台(1)的两侧，所述底板(52)与所述顶板(51)之间通过多根立柱(53)连接，所述底板(52)设于镀膜室的外壁。

5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)上设有导孔，所述立柱(53)滑动穿设于所述导孔。

6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，所述底板(52)上设有第二安装孔，所述驱动轴(11)穿过所述第二安装孔。

7.根据权利要求6所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括套设于所述驱动轴(11)的波纹管(13)，所述波纹管(13)一端与所述升降台(1)的底部连接，另一端与所述底板(52)连接。

8.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述第二驱动件(4)设于所述顶板(51)，所述顶板(51)与所述底板(52)之间设有传动组件(54)，所述传动组件(54)与所述升降台(1)传动连接。

9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述传动组件(54)包括丝杠(541)和设于所述升降台(1)底部的顶升件(542)，所述顶升件(542)与所述丝杠(541)螺纹连接。

10.根据权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，两个所述第二驱动件(4)对称设于所述驱动轴(11)的两侧，所述第二驱动件(4)的驱动端与所述丝杠(541)之间通过皮带(41)传动连接。

11.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述底板(52)上螺接有多个调节螺栓(55)，所述调节螺栓(55)用于调整所述底板(52)至水平位。

12.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述挂接部(21)包括主体(211)和设于所述主体(211)上的挂钩(212)，所述载具(100)上设有能与所述挂钩(212)挂接配合的挂孔(110)。

13.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括原点检测组件(6)，所述原点检测组件(6)包括设于所述顶板(51)上的检测盘(61)和检测杆(62)，所述检测盘(61)固定在所述驱动轴(11)的第二端，所述检测杆(62)的顶部设有传感器，所述传感器用于检测所述检测盘(61)的识别部。

14.真空镀膜设备，包括镀膜室，其特征在于，还包括如权利要求1-13任一项所述的搬送装置。