CN111186701A - 一种自动寻参读码设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种自动寻参读码设备，包括晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。本发明的有益效果是能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本。

Description

一种自动寻参读码设备

技术领域

本发明属于硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种自动寻参读码设备。

背景技术

在硅片生产过程中，需要进行搬运，在硅片搬运中,人为搬运和手持读取，很容易产生颗粒和错误数据，工作效率低，劳动强度大。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种自动寻参读码设备，通过自动化设备，可以快速的搬运，并且保证洁净度、提高信息读取正确率，提高自动化程度。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，

晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；

机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；

寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；

晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。

具体的，晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，定位机构与开盖机构均与装卸控制装置电连接，装卸控制装置根据定位机构的信息控制开盖机构动作。

具体的，机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，晶圆扫描装置设于吸取搬运装置上，其中，

晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；

吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。

进一步的，吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，

第一连接臂的一端与机器人本体连接，第一连接臂的另一端与第二连接臂连接，第一连接臂可相对于机器人本体转动和升降，同时，第二连接臂可相对于第一连接臂转动；

第二连接臂的另一端与第三连接臂连接，第三连接臂可相对于第二连接臂转动；

吸取装置与第三连接臂连接，吸取装置可相对于第三连接臂转动。

进一步的，吸取装置为真空吸盘。

进一步的，晶圆扫描装置为扫描传感器。

具体的，寻参读码装置包括寻参转动装置、参考边检测装置、晶圆信息读取装置和承载装置，其中，

承载装置与寻参转动装置连接，用于对晶圆的承载；

参考边检测装置与寻参转动装置连接，且参考边检测装置与承载装置相对应设置，用于对晶圆寻参考边；

晶圆信息读取装置设于承载装置的两侧，用于读取晶圆信息。

进一步的，参考边检测装置为线性传感器。

进一步的，晶圆信息读取装置为读码器。

进一步的，自动寻参读码设备还包括控制装置，控制装置分别与晶圆装卸装置、寻参读码装置和机器人装置电连接，控制晶圆装卸装置、寻参读码装置与机器人装置动作。

由于采用上述技术方案，使得自动寻参读码设备结构紧凑，安装、拆卸方便，具有晶圆装卸装置、机器人装置和寻参读码装置，能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本，自动化程度高，能够准确、快速、高效的进行晶体搬运与寻边读码。

附图说明

图1是本发明的一实施例的一个方向结构示意图；

图2是本发明的一实施例的另一个方向结构示意图；

图3是本发明的一实施例的晶圆装卸装置的俯视结构示意图；

图4是本发明的一实施例的晶圆装卸装置的结构示意图；

图5是本发明的一实施例的寻参读码装置结构示意图；

图6是本发明的一实施例的机器人装置结构示意图。

图中：

1、框架 2、晶圆装卸装置 3、寻参读码装置

4、机器人装置 20、开盖机构 21、定位机构

201、开盖件 202、插接件 210、定位件

211、承载件 300、晶圆信息读取装置 301、参考边检测装置

302、承载装置 303、寻参转动装置 400、机器人本体

401、第一连接臂 402、第二连接臂 403、第三连接臂

404、吸取装置

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明。

图1示出了本发明一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种自动寻参读码设备，用于晶圆寻找参考边、读取打标信息和倒篮搬运，并进行晶圆信息的存储和管理，避免人工寻边造成颗粒增加，且读码效率高，自动化程度高，减少人工参与，提高工作效率。

一种自动寻参读码设备，如图1和2所示，包括晶圆装卸装置2，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒，晶圆传递盒用于放置未寻参读码的晶圆，晶圆盒用于放置已经寻参读码的晶圆，便于晶圆在倒篮搬运中进行存储放置；机器人装置4，用于晶圆的抓取和传递，用于抓取未寻参读码的晶圆，并将该晶圆放置于寻参读码装置3上，进行寻参读码，寻参读码完成后，将该晶圆取下，并放置于晶圆盒内，减少该晶圆搬运过程中人工的参与，避免颗粒的增加；寻参读码装置3，用于读取晶圆的生产过程中的相关信息及寻参考边，寻找晶圆的参考边，并读取晶圆双面的ID信息；该自动寻参读码设备在使用时，晶圆装卸装置2与寻参读码装置3通过机器人装置4连通，将晶圆装卸装置2上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置3上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运，避免人工的参与，避免颗粒的增加，自动可控，工作效率高。

该自动寻参读码设备还包括控制装置，控制装置分别与晶圆装卸装置2、寻参读码装置3和机器人装置4电连接，控制晶圆装卸装置2、寻参读码装置3与机器人装置4动作。在该控制装置内设有编辑好的程序，使得晶圆装卸装置2、机器人装置4和寻参读码装置3按照程序动作，对晶圆进行倒篮搬运，并进行寻找参考边和读取晶圆的双面ID信息。

该自动寻参读码设备还包括上位系统和显示装置，上位系统与控制装置通讯连接，上位系统与显示装置电连接，控制装置将信息传递给上位系统，并在显示装置上进行显示，对晶圆的信息进行存储。

该控制装置可以是PLC控制器，或者是其他控制装置，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，通过RS232与上位系统通讯。

上位系统可以是计算机，或者是其他上位系统，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

显示装置可以是显示器，或者是其他显示装置，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

该自动寻参读码设备还包括框架1，框架1的设置，便于晶圆装卸装置2、机器人装置4和寻参读码装置3的安装，该框架1由铝型材拼接而成，并且在铝型材的外面固定安装有不锈钢板，使得框架1整体结构稳定，同时在框架1的底部，转动安装有万向轮，便于该自动寻参读码设备移动。

如图3和4所示，上述的晶圆装卸装置2包括定位机构21、开盖机构20和装卸控制装置，定位机构21与开盖机构20均与装卸控制装置电连接，装卸控制装置根据定位机构21的检测信息控制开盖机构20动作。盛装有未寻参读码的晶圆的晶圆传递盒放置于定位机构21上，对该晶圆传递盒进行定位，定位后，开盖机构20对晶圆传递盒进行开盖，便于后续机器人装置4动作，进行晶圆的拿取。

该定位机构21包括承载件211和定位件210，承载件211固定安装在支撑架上，该承载件211为板状结构，通过螺栓等连接件固定安装在支撑架上，承载件211的尺寸大于晶圆传送盒的尺寸，便于晶圆传送盒的放置，承载件211的形状可以与晶圆传送盒的形状相适应，便于晶圆传送盒的放置；定位件210固定设于承载件211上，定位件210的数量为多个，均固定安装在承载件211上，可以呈三角形设置，或者是四边形设置，或者是其他形状设置，根据实际需求进行选择，该定位件210的为定位销，定位销垂直设置于承载件211的上表面，并突出承载件211的上表面，便于在晶圆传送盒放置时，插入晶圆传送盒，对晶圆传送盒进行定位。该定位机构21还包括检测装置，该检测装置用于检测是否有晶圆传送盒放置于承载件211上，检测装置安装在承载件211的上表面，优选的，该检测装置为重力传感器。

开盖机构20与支撑架固定连接，且开盖机构20位于定位机构21的一侧面，该开盖机构20与定位机构21垂直设置，也就是，该开盖机构20与晶圆传送盒放置于定位机构21上相平行，且与晶圆传送盒盖一侧相对应，便于对晶圆传送盒进行开盖。该开盖机构20包括开盖件201、移动件和开盖支架，开盖支架固定安装在支撑架上，移动件与支撑架固定连接，开盖件201与移动件固定连接，通过移动件的移动件的移动，带动开盖件201动作，对晶圆传送盒进行开盖。该开盖支架为四边形框架1结构，且该开盖支架的尺寸与开盖件201的尺寸相适应，大于晶圆传送盒盖的尺寸，便于开盖件201的安装，同时对开盖件201的运动进行限位，也便于晶圆传送盒盖通过。该开盖件201为板状结构，具有与晶圆传送盒盖上插接孔相对应的插接件202，在进行开盖时，插接件202插入晶圆传送盒盖的插接孔内，移动件带动开盖件201向上运动，将晶圆传送盒盖取下，再向下运动，使得晶圆传送盒盖远离晶圆传送盒，机器人装置4进行晶圆的拿取。优选的，该移动件优选为气缸，为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

上述的装卸控制装置分别与定位机构21的检测装置和开盖机构20的移动件电连接，根据检测装置传送的检测信号，控制移动件动作，该装卸控制装置优选为PLC控制器，且该装卸控制装置与控制装置电连接，将开盖信息传送给控制装置，控制装置控制机器人装置4动作，进行晶圆的拿取。

如图6所示，上述的机器人装置4通过螺栓等连接件与框架1固定连接。该机器人装置4包括晶圆扫描装置、机器人本体400、吸取装置404、第一连接臂401、第二连接臂402和第三连接臂403，其中，晶圆扫描装置与第一连接臂401连接，用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；第一连接臂401的一端与机器人本体400连接，第一连接臂401的另一端与第二连接臂402连接，第一连接臂401可相对于机器人本体400转动和升降，同时，第二连接臂402可相对于第一连接臂401转动；第二连接臂402的另一端与第三连接臂403连接，第三连接臂403可相对于第二连接臂402转动；吸取装置404与第三连接臂403连接，吸取装置404可相对于第三连接臂403转动。通过晶圆扫描装置扫描晶圆传送盒和晶圆盒内的晶圆的位置和数量，为第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404的动作提供依据，第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404依次动作，根据晶圆扫描装置的扫描的结果，对晶圆传送盒内的晶圆进行吸取，放置于寻参读码装置3上，晶圆经过寻参读码后，第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404依次动作，将该晶圆放置于晶圆盒内，完成晶圆的倒篮搬运，并记录其参考边和打标信息。

上述的机器人本体400通过螺栓等连接件固定安装在框架1上，该机器人本体400包括壳体、机器人控制装置和升降装置，机器人控制装置固定安装在壳体内，机器人控制装置分别与升降装置、第一连接臂401、第二连接臂402和第三连接臂403电连接，控制第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404动作，升降装置与壳体连接，且升降装置设于壳体内部，并能够延伸出壳体，升降装置与第一连接臂401连接，带动第一连接臂401进行上升和下降，使得吸取装置404能够抓取不同高度的晶圆。该机器人控制装置内预设有编辑好的程序，使得第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404按照预定的程序动作，实现晶圆的抓取和放置动作。

该机器人控制装置可以是PLC控制器，为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不作具体要求，且该机器人控制装置与控制装置电连接，控制装置对机器人控制装置发送信息，使得机器人控制装置控制第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404动作。

上述的升降装置可以是气缸，或者是液压缸，或者是齿轮齿条传动，或者是其他升降装置，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。优选的，在本实施例中，该升降装置为气缸，在气缸的伸缩杆的自由端与第一连接臂401的一端转动连接，使得第一连接臂401在气缸的作用下进行上下升降移动，并可以沿着气缸的伸缩杆转动，进行晶圆的抓取、搬运。

第一连接臂401为杆状结构，内部具有空间，第一连接臂401的一端通过第一转动轴与升降装置转动连接，同时，在该第一连接臂401的该端，第一转动轴通过传动与第一连接臂401的驱动装置连接，第一连接臂401的驱动装置带动第一转动轴转动，实现第一连接臂401相对于升降装置自由转动。该第一连接臂401的驱动装置为电机，传动装置为齿轮传动。第一转动轴的两端分别与第一连接臂401固定连接，第一转动轴上安装有齿轮，第一连接臂401的驱动装置固定安装在第一连接臂401的内部空间内，且第一连接臂401的驱动装置上安装有齿轮，通过齿轮的啮合传动，电机带动第一转动轴转动，进而带动第一连接臂401的转动。

第二连接臂402为杆状结构，内部具有空间，第二连接臂402的一端与第一连接臂401的远离与升降装置连接的一端转动连接，第二连接臂402的该端与第一连接臂401通过第二转动轴连接，同时，该第二转动轴与第二连接臂402的驱动装置通过传动装置连接，使得第二转动轴在第二连接臂402的驱动装置的作用下转动，带动第二连接臂402转动。在本实施例中，第二连接臂402的驱动装置为电机，传动装置为齿轮传动，通过齿轮传动，第二连接臂402的驱动装置带动第二转动轴转动，进行带动第二连接臂402转动。第二转动轴的两端与第二连接臂402固定连接，且第二转动轴穿过第二连接臂402，同时通过轴承与第一连接臂401转动连接，在第二转动轴上安装有齿轮，在第二连接臂402的驱动装置上安装有齿轮，通过齿轮的啮合，第二连接臂402的驱动装置带动第二转动轴转动，进而带动第二连接臂402转动。

第三连接臂403为杆状结构，内部具有空间，第三连接臂403与第二连接臂402远离与第一连接臂401连接的一端通过第三转动轴连接，使得第三连接臂403可相对于第二连接臂402转动连接，第三转动轴的两端与第三连接臂403固定连接，且该第三转动轴通过轴承与第二连接臂402转动连接，在第三连接臂403的内部空间内固定安装有第三连接臂403的驱动装置，第三连接臂403的驱动装置通过传动装置与第三转动轴连接，使得第三转动轴在第三连接臂403的驱动装置的作用下进行转动。在本实施例中，传动装置为齿轮传动，第三连接臂403的驱动装置为电机，在第三转动轴上安装有齿轮，在第三连接臂403的驱动装置上安装有齿轮，通过齿轮的啮合，实现第三连接臂403的驱动装置带动第三连接臂403转动。

第三连接臂403的另一端与吸取装置404固定连接，使得吸取装置404在第三连接臂403的作用下进行移动。

上述的第一连接臂401的驱动装置、第二连接臂402的驱动装置和第三连接臂403的驱动装置均与机器人控制装置电连接，机器人控制装置第一连接臂401、第二连接臂402和第三连接臂403的转动角度，便于对晶圆进行抓取、搬运。

上述的吸取装置404为真空吸盘，优选为陶瓷吸盘，该真空吸盘通过连接管道与真空泵连接，真空泵通过控制开关与机器人控制装置电连接，机器人控制装置根据控制开关的信号控制真空泵的开始与停止，控制真空吸盘对晶圆的抓取与放开。

该真空吸盘的形状可以是Y型，或者是平板型，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。

上述的晶圆扫描装置为扫描传感器，用于扫描晶圆传送盒和晶圆盒内的晶圆的数量及各个晶圆的位置，便于机器人控制装置根据晶圆的位置控制升降装置、第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404动作，对晶圆进行抓取，并进行放置。

如图5所示，上述的寻参读码装置3包括寻参转动装置303、参考边检测装置301、晶圆信息读取装置300和承载装置302，其中，承载装置302与寻参转动装置303连接，用于对晶圆的承载，承载装置302在寻参转动装置303的作用下转动，参考边检测装置301与承载装置302连接，且参考边检测装置301与承载装置302相对应设置，用于对晶圆寻参考边；晶圆信息读取装置300设于承载装置302的两侧，用于读取晶圆信息。将晶圆放置于承载装置302上，承载装置302在寻参转动装置303的作用下转动，晶圆随着承载装置302进行旋转，在晶圆旋转的过程中，参考边检测装置301对晶圆的参考边进行检测，晶圆信息读取装置300对晶圆的信息进行读取。

上述的寻参转动装置303为电机，电机的输出轴承载装置302固定连接，使得承载装置302能够在电机输出轴的转动下进行转动，该电机为市售产品，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。该承载装置302为托盘，该托盘的材质为透明材质，便于参考边检测装置301对晶圆的参考边位置进行检测，同时，便于晶圆信息读取装置300对晶圆信息进行读取。在托盘的周侧安装有卡合件，对晶圆进行限位，避免晶圆在转动过程中脱落。

该寻参转动装置303固定安装在安装壳内，安装壳固定安装在框架1上，参考边检测装置301固定安装在安装壳上，且参考边检测装置301的数量为多个，对称设置在承载装置302的周侧，从不同位置对晶圆的参考边位置进行检测。该参考边检测装置301为线性传感器，优选为测距传感器，通过检测到晶圆的距离来判断晶圆参考边的位置，为市售产品，根据实际需求进行选择。

该晶圆信息读取装置300固定安装在框架1上，且晶圆信息读取装置300的数量为两个，上下设置，分别位于承载装置302的上下两侧，且上下设置的两个晶圆信息读取装置300均在垂直方向上对晶圆的边缘进行覆盖，便于对晶圆两侧的打标信息进行读取，确定晶圆相关信息。该晶圆信息读取装置300为读码器，为市售产品，根据实际需求进行选择，优选为HTT读码器。

上述的寻参转动装置303、参考边检测装置301和晶圆信息读取装置300均与控制装置电连接，控制装置控制寻参转动装置303动作，晶圆放置后进行转动，晶圆检测完毕后，停止转动；参考边检测装置301与晶圆信息读取装置300将检测、读取到的晶圆的参考边位置和打标信息传送给控制装置，控制装置控制机器人装置4动作，将检测后的晶圆放置于晶圆盒内，完成晶圆的倒篮。

该自动寻参读码设备在进行晶圆倒篮搬运时，操作人员将盛装有未寻参读码的晶圆的晶圆传送盒放置于晶圆装卸装置2上，同时将空的晶圆盒放置于晶圆装卸装置2上，通过定位件210进行定位，开盖机构20的插接件202插入晶圆传送盒盖上的插接孔内，移动件动作，将晶圆传送盒盖取下；机器人装置4动作，晶圆扫描装置动作，确定晶圆传送盒内晶圆的数量及位置信息，机器人本体400控制第一连接臂401、第二连接臂402、第三连接臂403和吸取装置404动作，进行晶圆的拿取，并将晶圆放置于寻参读码装置3上，参考边检测装置301检测晶圆的参考边的位置，晶圆信息读取装置300对晶圆的打标信息进行读取，确定晶圆的信息，且参考边检测装置301与晶圆信息读取装置300将检测到的信息传送至控制装置，控制装置将该信息上传至上位系统处，并在显示装置显示相关信息；同时，控制装置控制机器人装置4动作，将该检测后的晶圆放置于晶圆盒内，完成一个晶圆的倒篮动作，等所有晶圆都完成上述流程后，进行封盖工作，完成晶圆的倒篮，能够自动寻边读码，避免人工寻边造成颗粒增加，读码效率高，自动化程度高，减少人工参与，提高工作效率。

由于采用上述技术方案，使得自动寻参读码设备结构紧凑，安装、拆卸方便，具有晶圆装卸装置、机器人装置和寻参读码装置，能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本，自动化程度高，能够准确、快速、高效的进行晶体搬运与寻边读码。

以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种自动寻参读码设备，其特征在于：包括，

晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；

机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；

寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；

所述晶圆装卸装置与所述寻参读码装置通过所述机器人装置连通，将所述晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于所述寻参读码装置上，经寻参读码后，将所述晶圆放置于所述晶圆盒上，进行倒篮搬运。

2.根据权利要求1所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆装卸装置包括定位机构、开盖机构和装卸控制装置，所述定位机构与所述开盖机构均与所述装卸控制装置电连接，所述装卸控制装置根据所述定位机构的信息控制所述开盖机构动作。

3.根据权利要求1或2所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述机器人装置包括晶圆扫描装置和吸取搬运装置，所述晶圆扫描装置设于所述吸取搬运装置上，其中，

所述晶圆扫描装置用于检测晶圆传递盒和晶圆盒中晶圆的位置和数量；

所述吸取搬运装置用于对晶圆的吸取、搬运。

4.根据权利要求3所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述吸取搬运装置包括机器人本体、吸取装置、第一连接臂、第二连接臂和第三连接臂，其中，

所述第一连接臂的一端与所述机器人本体连接，所述第一连接臂的另一端与所述第二连接臂连接，所述第一连接臂可相对于所述机器人本体转动和升降，同时，所述第二连接臂可相对于所述第一连接臂转动；

所述第二连接臂的另一端与所述第三连接臂连接，所述第三连接臂可相对于所述第二连接臂转动；

所述吸取装置与所述第三连接臂连接，所述吸取装置可相对于所述第三连接臂转动。

5.根据权利要求4所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述吸取装置为真空吸盘。

6.根据权利要求5所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆扫描装置为扫描传感器。

7.根据权利要求1或2或4或5或6所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述寻参读码装置包括寻参转动装置、参考边检测装置、晶圆信息读取装置和承载装置，其中，

所述承载装置与所述寻参转动装置连接，用于对晶圆的承载；

所述参考边检测装置与所述寻参转动装置连接，且所述参考边检测装置与所述承载装置相对应设置，用于对晶圆寻参考边；

所述晶圆信息读取装置设于所述承载装置的两侧，用于读取晶圆信息。

8.根据权利要求7所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述参考边检测装置为线性传感器。

9.根据权利要求8所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述晶圆信息读取装置为读码器。

10.根据权利要求1-2、4-6、8-9任一项所述的自动寻参读码设备，其特征在于：所述自动寻参读码设备还包括控制装置，所述控制装置分别与所述晶圆装卸装置、所述寻参读码装置和所述机器人装置电连接，控制所述晶圆装卸装置、所述寻参读码装置与所述机器人装置动作。

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