JPH0724279B2 - ウェハ移し替え装置 - Google Patents
ウェハ移し替え装置Info
- Publication number
- JPH0724279B2 JPH0724279B2 JP62224579A JP22457987A JPH0724279B2 JP H0724279 B2 JPH0724279 B2 JP H0724279B2 JP 62224579 A JP62224579 A JP 62224579A JP 22457987 A JP22457987 A JP 22457987A JP H0724279 B2 JPH0724279 B2 JP H0724279B2
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- JP
- Japan
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- carrier
- wafer
- transfer device
- wafer transfer
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、半導体製造に用いるウエハ移し替え装置に
関するものである。
関するものである。
従来の技術 ウエハは、キヤリアに収容されて所定位置に搬送される
が、このキヤリアは、位置決め装置、即ち、キヤリア台
の載置部の両側に対向して設けた垂直状の支持部材によ
り挾持されている。そして、このキヤリア内のウエハ
は、開閉自在なウエハ爪を備えたウエハ移し替え機によ
り、石英ボートに移し替えられ、その後、該石英ボート
を熱処理炉に挿入してウエハの熱処理をすると共に、熱
処理終了後、該ウエハを前記ウエハ移し替え機を用いて
石英ボートからキヤリアに移し替えている。
が、このキヤリアは、位置決め装置、即ち、キヤリア台
の載置部の両側に対向して設けた垂直状の支持部材によ
り挾持されている。そして、このキヤリア内のウエハ
は、開閉自在なウエハ爪を備えたウエハ移し替え機によ
り、石英ボートに移し替えられ、その後、該石英ボート
を熱処理炉に挿入してウエハの熱処理をすると共に、熱
処理終了後、該ウエハを前記ウエハ移し替え機を用いて
石英ボートからキヤリアに移し替えている。
従来のウエハ移し替えシステムでは、同一サイズのウエ
ハの移し替えだけを行なつているので、一度ウエハのサ
イズに応じて位置決めの装置等をセツトすると、途中で
そのセツトを変更する必要がなかつたが、近年、４イン
チ,6インチなどとウエハのサイズが大きくなるにつれ異
なるサイズのウエハを同一移し替えシステムで移し替え
えることが要求されるようになり、一度セツトした後シ
ステムを途中変更しなければならないことがある。
ハの移し替えだけを行なつているので、一度ウエハのサ
イズに応じて位置決めの装置等をセツトすると、途中で
そのセツトを変更する必要がなかつたが、近年、４イン
チ,6インチなどとウエハのサイズが大きくなるにつれ異
なるサイズのウエハを同一移し替えシステムで移し替え
えることが要求されるようになり、一度セツトした後シ
ステムを途中変更しなければならないことがある。
発明が解決しようとする問題点 従来例のキヤリアの位置決め装置は、一種類のキヤリア
の位置決めしかできないので、キヤリアのサイズが異な
る度毎に該位置決め装置を取り替えなければならない。
そのため、多種類の位置決め装置を備えなければならな
いので、極めて不経済である。
の位置決めしかできないので、キヤリアのサイズが異な
る度毎に該位置決め装置を取り替えなければならない。
そのため、多種類の位置決め装置を備えなければならな
いので、極めて不経済である。
又作業者はサイズの異なるウエハ毎にウエハ移し替え機
のウエハ爪の開閉度を調整しなければならず、このこと
が複数サイズのウエハ移し替えの自動化を困難にしてい
た。
のウエハ爪の開閉度を調整しなければならず、このこと
が複数サイズのウエハ移し替えの自動化を困難にしてい
た。
この発明は、上記事情に鑑み、一台の位置決め装置で、
サイズの異なるキャリアの位置決めをすると共に、ウエ
ハのサイズを自動的に判別することを目的とする。
サイズの異なるキャリアの位置決めをすると共に、ウエ
ハのサイズを自動的に判別することを目的とする。
他の目的は、ウエハのサイズに応じてウエハ移し替え装
置を自動的に操作することである。
置を自動的に操作することである。
問題点を解決するための手段 この発明は、キャリア台に設けた載置部と、該載置部の
両側に対向して設けた支持台と、該支持台の内面に形成
した段部と、該段部に載置される各種サイズのキャリア
の判別手段と、を備えたウエハ移し替え装置であって；
前記判別手段が、発光部もしくは受光部の一方を前記キ
ャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方に
配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前記
各キャリアの大きさに対応して複数配置することにより
前記目的を達成しようとするものである。
両側に対向して設けた支持台と、該支持台の内面に形成
した段部と、該段部に載置される各種サイズのキャリア
の判別手段と、を備えたウエハ移し替え装置であって；
前記判別手段が、発光部もしくは受光部の一方を前記キ
ャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方に
配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前記
各キャリアの大きさに対応して複数配置することにより
前記目的を達成しようとするものである。
作用 キヤリア台の載置部にキヤリアを置くと、このキヤリア
の脚部は、上段又は下段のいずれかのステージにセツト
され、位置決めされる。
の脚部は、上段又は下段のいずれかのステージにセツト
され、位置決めされる。
そして、キヤリアが位置決めされると、キヤリアのサイ
ズを判別するためのセンサにより、キヤリアのサイズ及
び傾かないで正しく位置しているかが判断されると共
に、この判断に基き自動ウエハ移し替え装置のウエハ爪
の開閉度が指示される。
ズを判別するためのセンサにより、キヤリアのサイズ及
び傾かないで正しく位置しているかが判断されると共
に、この判断に基き自動ウエハ移し替え装置のウエハ爪
の開閉度が指示される。
この支持により、自動ウエハ移し替え装置はウエハのサ
イズに応じてウエハ爪を開閉し、ウエハの移し替えを行
なう。
イズに応じてウエハ爪を開閉し、ウエハの移し替えを行
なう。
実施例 この発明の実施例を添附図面により説明するが、同一図
面符号はその名称も機能も同一である。
面符号はその名称も機能も同一である。
第１図において１はキヤリア２の位置決め装置で、この
装置１は、キヤリア台３に設けた載置部４と、該載置部
４の両側に対向して設けた支持台５とを備えている。
装置１は、キヤリア台３に設けた載置部４と、該載置部
４の両側に対向して設けた支持台５とを備えている。
この支持台５の内面には段部６が形成され、５インチ用
キヤリア２の脚部７を載置する下段ステージ８と、６イ
ンチ用キヤリア2Aの脚部９を載置する上段ステージ10が
設けられている。キヤリア２の前後端は、仕切壁11,12
により挾持され、キヤリア２の前後方向への移動は規制
されている。
キヤリア２の脚部７を載置する下段ステージ８と、６イ
ンチ用キヤリア2Aの脚部９を載置する上段ステージ10が
設けられている。キヤリア２の前後端は、仕切壁11,12
により挾持され、キヤリア２の前後方向への移動は規制
されている。
第３図、第５図は、キヤリアの判別装置を示す図で、13
は、第１光センサで、５インチ用キヤリア２の前後端を
挟んで、第１発光部13aと第１受光部13bとが設けられ、
キヤリア２が下段ステージ８にセツトされている時に
は、第１発光部13aの光は、該キヤリア２に遮断される
ので、第１受光部13bに入らない。
は、第１光センサで、５インチ用キヤリア２の前後端を
挟んで、第１発光部13aと第１受光部13bとが設けられ、
キヤリア２が下段ステージ８にセツトされている時に
は、第１発光部13aの光は、該キヤリア２に遮断される
ので、第１受光部13bに入らない。
14は、第２光センサで、６インチ用キヤリア2Aの前後端
を挾んで第２発光部14aと第２受光部14bとが設けられて
いるが、この第２発光部14aはその光が５インチ用キヤ
リア２の外側を通る位置に設けられており、キヤリア2A
が上段ステージ10にセツトされている時には、第２発光
部14aの光は、該キヤリア2Aに遮断されるので、第２受
光部14bに入らない。
を挾んで第２発光部14aと第２受光部14bとが設けられて
いるが、この第２発光部14aはその光が５インチ用キヤ
リア２の外側を通る位置に設けられており、キヤリア2A
が上段ステージ10にセツトされている時には、第２発光
部14aの光は、該キヤリア2Aに遮断されるので、第２受
光部14bに入らない。
なお、このセンサとして、第４図に示すように上段ステ
ージ10と下段ステージ８に夫々圧力スイツチ15,16を設
けてもよいことは勿論である。センサ13,14の受光部13
b,14bは夫々コンピユータ17を介して、自動ウエハ移し
替え装置13に接続されている。
ージ10と下段ステージ８に夫々圧力スイツチ15,16を設
けてもよいことは勿論である。センサ13,14の受光部13
b,14bは夫々コンピユータ17を介して、自動ウエハ移し
替え装置13に接続されている。
この自動ウエハ移し替え装置18は、第６図に示す様に、
ウエハを突き上げるための突き上げ装置19と、ウエハを
着脱するためのウエハチヤツク20,21,22,23とを備えて
おり、このウエハチヤツク20〜23のウエハ爪24,25の開
閉度は、コンピユータ17により指示される。
ウエハを突き上げるための突き上げ装置19と、ウエハを
着脱するためのウエハチヤツク20,21,22,23とを備えて
おり、このウエハチヤツク20〜23のウエハ爪24,25の開
閉度は、コンピユータ17により指示される。
次に、この実施例の作動につき説明すると、５インチの
ウエハW5を収容したキヤリア２をキヤリア台３の載置部
４に置くと、キヤリア２の脚部７は支持台５の下段ステ
ージ８に乗る。
ウエハW5を収容したキヤリア２をキヤリア台３の載置部
４に置くと、キヤリア２の脚部７は支持台５の下段ステ
ージ８に乗る。
この時第１光センサ13の発光部13aの光は、キヤリア21
により遮断され、受光部13bに入らないで、受光部13bは
出力しないが、第２センサ14の発光部14aの光は、受光
部14bに入るので、受光部14bは出力する。
により遮断され、受光部13bに入らないで、受光部13bは
出力しないが、第２センサ14の発光部14aの光は、受光
部14bに入るので、受光部14bは出力する。
そのため、コンピユータ17はキヤリア台３に載置されて
いるキヤリアが５インチ用キヤリア２であることを判別
すると共に、この判別に基いて、自動ウエハ移し替え装
置18のウエハ爪24,25の開閉度を指示する。このウエハ
爪24,25の開き幅Ｓは、第７図、第８図に示す様に、５
インチウエハW5も６インチウエハW6も同幅に設定され、
又、その閉の幅Ｌは、５インチウエハW5の閉め幅L1が、
６インチウエハW6の閉め幅L2より小さく設定されてい
る。
いるキヤリアが５インチ用キヤリア２であることを判別
すると共に、この判別に基いて、自動ウエハ移し替え装
置18のウエハ爪24,25の開閉度を指示する。このウエハ
爪24,25の開き幅Ｓは、第７図、第８図に示す様に、５
インチウエハW5も６インチウエハW6も同幅に設定され、
又、その閉の幅Ｌは、５インチウエハW5の閉め幅L1が、
６インチウエハW6の閉め幅L2より小さく設定されてい
る。
そして、ウエハ24,25の開閉度の指示が終ると突き上げ
装置19が作動し、突き上げ板19aがキヤリア２内のウエ
ハW5を突き上げて、第７図の一点鎖線で示す状態AW5に
する。
装置19が作動し、突き上げ板19aがキヤリア２内のウエ
ハW5を突き上げて、第７図の一点鎖線で示す状態AW5に
する。
そうすると、ウエハ爪24,25が互に内方に所定距離移動
してウエハW5を挾持すると共に、この状態で自動ウエハ
移し替え装置18が、図示しない石英ボートの方向に向つ
て移動し、該ウエハ爪24,25を石英ボートの真上に位置
せしめる。そして、突き上げ装置19の突き上げ板19aを
石英ボートの下方から突出せしめて上記ウエハW5を乗せ
た後、ウエハ爪24,25を互に外方に移動せしめて元の位
置まで戻す。
してウエハW5を挾持すると共に、この状態で自動ウエハ
移し替え装置18が、図示しない石英ボートの方向に向つ
て移動し、該ウエハ爪24,25を石英ボートの真上に位置
せしめる。そして、突き上げ装置19の突き上げ板19aを
石英ボートの下方から突出せしめて上記ウエハW5を乗せ
た後、ウエハ爪24,25を互に外方に移動せしめて元の位
置まで戻す。
次に突き上げた板19aを下降させてウエハW5を石英ボー
トのウエハ溝に収容する。
トのウエハ溝に収容する。
又、６インチのウエハW6を収容したキヤリア2Aをキヤリ
ア台３の載置部４に置くと、キヤリア2Aの脚部９は支持
台５の上段ステージ10に乗る。この時、第１光センサ13
の発光部13a、及び第２光センサ14の発光部14aの光は、
キヤリア2Aに遮断されるため、受光部13b,14bには入ら
ないので受光部13b,14bからの出力はない。
ア台３の載置部４に置くと、キヤリア2Aの脚部９は支持
台５の上段ステージ10に乗る。この時、第１光センサ13
の発光部13a、及び第２光センサ14の発光部14aの光は、
キヤリア2Aに遮断されるため、受光部13b,14bには入ら
ないので受光部13b,14bからの出力はない。
そのため、コンピユータ17は、キヤリア台３に載置され
ているキヤリアが６インチ用キヤリア2Aであることを判
別すると共に、この判別に基いて自動ウエハ移し替え装
置18のウエハ爪24,25の開閉度を指示する。
ているキヤリアが６インチ用キヤリア2Aであることを判
別すると共に、この判別に基いて自動ウエハ移し替え装
置18のウエハ爪24,25の開閉度を指示する。
その後の作動については、５インチのウエハW5の場合と
同様である。
同様である。
なお、キヤリア台３にキヤリアが載置されていない時に
は、第１光センサ13、第２光センサ14の受光部13b,14b
は、共に受光して出力する。
は、第１光センサ13、第２光センサ14の受光部13b,14b
は、共に受光して出力する。
発明の効果 この発明は、以上のように支持台の内面に段部を形成し
たので、同一支持台で異なつたサイズのキヤリアを位置
決めすることができる。従つて従来例のように、各種の
支持台を準備する必要がないので、極めて経済的であ
る。前記判別手段が発光部もしくは受光部の一方を前記
キャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方
に配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前
記各キャリアの大きさに対応して複数配設されているの
で、キャリアのサイズ判別時において各光センサが同時
に検出を開始し、該キャリアに対応する光センサの光の
みが遮光され、受光部に入らないが、他の光センサの光
は全て受光部に入る。そのため、段部に載置されるキャ
リアのサイズを知ることができる。又段部上のキャリア
が傾いたりして異常状態で載置されている場合には、該
キャリアは他のサイズのキャリアの載置スペースにも入
り込むので、複数の透過型光センサの光が同時に遮光さ
れることになる。そのためキャリアが異常状態で載置さ
れていることを知ることができる。
たので、同一支持台で異なつたサイズのキヤリアを位置
決めすることができる。従つて従来例のように、各種の
支持台を準備する必要がないので、極めて経済的であ
る。前記判別手段が発光部もしくは受光部の一方を前記
キャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方
に配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前
記各キャリアの大きさに対応して複数配設されているの
で、キャリアのサイズ判別時において各光センサが同時
に検出を開始し、該キャリアに対応する光センサの光の
みが遮光され、受光部に入らないが、他の光センサの光
は全て受光部に入る。そのため、段部に載置されるキャ
リアのサイズを知ることができる。又段部上のキャリア
が傾いたりして異常状態で載置されている場合には、該
キャリアは他のサイズのキャリアの載置スペースにも入
り込むので、複数の透過型光センサの光が同時に遮光さ
れることになる。そのためキャリアが異常状態で載置さ
れていることを知ることができる。
又、キヤリアのサイズを判別するためのセンサと自動ウ
エハ移し替え装置を接続したので、キヤリアのサイズ、
即ち、ウエハのサイズに応じて自動的に自動ウエハ移し
替え装置のウエハ爪の開閉度をコントロールすることが
できる。
エハ移し替え装置を接続したので、キヤリアのサイズ、
即ち、ウエハのサイズに応じて自動的に自動ウエハ移し
替え装置のウエハ爪の開閉度をコントロールすることが
できる。
従つて、従来例のように作業者が、ウエハのサイズの異
なる毎にウエハ爪の開閉度を調整しなくてもウエハの移
し替えを自動的に行なうことができる。
なる毎にウエハ爪の開閉度を調整しなくてもウエハの移
し替えを自動的に行なうことができる。
尚、段部のステージ数を三つ以上にし、対応するキヤリ
アセンサーを三つ以上設ける事により３種類以上の異な
るウエハサイズにも適用できる事はもちろんである。
アセンサーを三つ以上設ける事により３種類以上の異な
るウエハサイズにも適用できる事はもちろんである。
第１図〜第８図は夫々この発明の実施例を示す図で、第
１図は、キヤリアの位置決め装置の正面図、第２図は、
その側面図、第３図はキヤリアの判別装置を示す正面図
の略図、第４図は他のキヤリアの判別装置を示す縦断面
図、第５図は、キヤリアの判別装置と自動ウエハ移し替
え装置のブロツク図、第６図は自動ウエハ移し替え装置
の斜視図、第７図は、５インチウエハの移し替え状態を
示す図、第８図は６インチウエハの移し替え状態を示す
図である。 １……キヤリアの位置決め装置 ２……キヤリア 2A……キヤリア ３……キヤリア台 ４……載置部 ５……支持台 ６……段部 13……第１光センサ 14……第２光センサ 18……自動ウエハ移し替え装置
１図は、キヤリアの位置決め装置の正面図、第２図は、
その側面図、第３図はキヤリアの判別装置を示す正面図
の略図、第４図は他のキヤリアの判別装置を示す縦断面
図、第５図は、キヤリアの判別装置と自動ウエハ移し替
え装置のブロツク図、第６図は自動ウエハ移し替え装置
の斜視図、第７図は、５インチウエハの移し替え状態を
示す図、第８図は６インチウエハの移し替え状態を示す
図である。 １……キヤリアの位置決め装置 ２……キヤリア 2A……キヤリア ３……キヤリア台 ４……載置部 ５……支持台 ６……段部 13……第１光センサ 14……第２光センサ 18……自動ウエハ移し替え装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ Ｔ
Claims (2)
- 【請求項１】キャリア台に設けた載置部と、該載置部の
両側に対向して設けた支持台と、該支持台の内面に形成
した段部と、該段部に載置される各種サイズのキャリア
の判別手段と、を備えたウエハ移し替え装置であって； 前記判別手段が、発光部もしくは受光部の一方を前記キ
ャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方に
配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前記
各キャリアの大きさに対応して複数配置されていること
を特徴とするウエハ移し替え装置。 - 【請求項２】キャリア台に設けた載置部と、該載置部の
両側に対向して設けた支持台と、該支持台の内面に形成
した段部と、該段部に載置される各種サイズのキャリア
の判別手段と、を備えたウエハ移し替え装置であって； 前記判別手段が、発光部もしくは受光部の一方を前記キ
ャリアの前方に配すると共に、他方をキャリアの後方に
配する透過型光センサであり、該透過型光センサが前記
各キャリアの大きさに対応して複数配置され、又、該透
過型光センサの出力により自動ウエハ移し替え装置を制
御することを特徴とするウエハ移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62224579A JPH0724279B2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 | ウェハ移し替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62224579A JPH0724279B2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 | ウェハ移し替え装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6467933A JPS6467933A (en) | 1989-03-14 |
| JPH0724279B2 true JPH0724279B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=16815945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62224579A Expired - Fee Related JPH0724279B2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 | ウェハ移し替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724279B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3573634B2 (ja) * | 1998-11-30 | 2004-10-06 | オリンパス株式会社 | 基板搬送装置 |
| JP2001328229A (ja) | 2000-05-23 | 2001-11-27 | Sony Corp | 転写フィルム、転写フィルムによる表示装置用パネルの薄膜形成方法及びこの方法により形成した薄膜を有する表示装置 |
| JP6233340B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2017-11-22 | 村田機械株式会社 | ストッカ及び物品の支持方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109147U (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-23 | 富士通株式会社 | ウエハ収納ケ−ス |
| JPH0713995B2 (ja) * | 1985-07-08 | 1995-02-15 | 株式会社ニコン | 基板搬送装置 |
-
1987
- 1987-09-08 JP JP62224579A patent/JPH0724279B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6467933A (en) | 1989-03-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |