KR100422903B1 - 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 웨이퍼 돌출시 포크를 정지시키지 않고 작업을 진행시킬 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있고, 또 다른 목적은 웨이퍼 돌출시 웨이퍼가 포크 사이에 끼이는 것을 방지하는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

이에 본 발명은 웨이퍼 로딩시 웨이퍼의 안착위치가 결정되도록 웨이퍼가이드가 형성된 다수의 포크를 포함하는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 포크의 이동시 웨이퍼의 측면에 접촉되도록 포크에 설치되는 진입방지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치를 제공한다.

Description

웨이퍼 이송장치{WAFER TRANSFERRING APPARATUS}

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 특히 확산장치에서 사용되는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에서 사용되는 확산장치는 고온을 이용하여 웨이퍼 표면에 불순물을 침투시키거나 산화막을 형성시키는 장치로서, 확산로의 설치방향에 따라 수평형 확산장치와 수직형 확산장치로 크게 나뉘어진다.

특히 수직형 확산장치는 설치하기 위한 점유면적이 적고, 막의 균일성이 우수한 장점이 있어 반도체 제조 공정에서 주로 사용되고 있다.

이러한 수직형 확산장치의 내부로 웨이퍼가 안착되는 과정은, 먼저 웨이퍼가 안착된 카세트를 카세트 로딩장치를 이용하여 이송스테이지에 안착시킨 후, 웨이퍼 이송장치를 이용하여 카세트 내부의 웨이퍼를 확산장치의 보트 내부에 장입시켜 이루어진다.

종래의 웨이퍼 이송장치는 카세트로부터 확산장치의 보트로 웨이퍼를 장입시키기 위해서 웨이퍼 이송장치의 본체의 일측에 설치된 다수개의 포크를 카세트에 안착된 웨이퍼의 사이사이로 진입시킨다.

이어서, 포크는 진입종료 후 상승하여 웨이퍼를 포크에 안착시키고, 카세트에서 빠져 나온 후 확산장치의 보트로 이동하게 된다.

이와 같은 작업진행 중 포크가 카세트의 내부로 진입하는 과정에서 포크의 사이로 웨이퍼가 끼이는 경우가 종종 발생한다.

이러한 문제점은 앞서 설명한 바와 같이 웨이퍼가 장착된 카세트를 이송스테이지로 안착시키는 과정에서 진동이 발생할 경우 카세트의 내부에 안착된 웨이퍼의 일부가 카세트 밖으로 돌출되어 있기 때문이다.

따라서, 상기한 문제점을 해결하기 위해서 종래에는 포크의 상면에 웨이퍼의 존재여부를 감지하기 위한 웨이퍼감지센서와, 웨이퍼의 돌출을 감지하는 돌출감지센서를 설치한다.

그러나, 웨이퍼의 돌출이 감지되면 포크를 정지시키고 돌출된 웨이퍼를 카세트의 내부로 민 후 포크를 진입시켜야 한다.

따라서 돌출된 웨이퍼를 처리하기 위한 공정단계가 늘어나므로 생산성이 떨어지는 문제점이 있다.

또한 웨이퍼의 돌출이 감지되지 못하여, 포크가 카세트의 내부로 진입되면 돌출된 웨이퍼는 포크사이에 끼이게 된다.

그 결과로 웨이퍼의 표면에 스크렛칭이 발생되거나 웨이퍼가 파손되어 웨이퍼의 수율이 떨어지게 된다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 돌출시 포크를 정지시키지 않고 작업을 진행시킬 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

또 다른 목적은 웨이퍼 돌출시 웨이퍼가 포크 사이에 끼이는 것을 방지하는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 작업상태도이고, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 평면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 본체 12 : 포크

14 : 웨이퍼가이드 16 : 진입방지부재

22 : 웨이퍼감지센서 W : 웨이퍼

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼 로딩시 웨이퍼의 안착위치가 결정되도록 웨이퍼가이드가 형성된 다수의 포크를 포함하는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 포크의 이동시 웨이퍼의 측면에 접촉되도록 포크에 설치되는 진입방지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치를 제공한다.

여기서 웨이퍼의 측면과 접촉되는 진입방지부재의 선단부가 라운딩되도록 형성되고, 진입방지부재의 재질은 피크재질인 것이 바람직하다.

이하 본 발명에 대한 일실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 작업상태도이고, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 평면도이다.

상기한 도면에 의하면 웨이퍼 이송장치는 본체(10)와, 이 본체(10)의 일측에 다수개 설치된 포크(12)로 이루어진다.

본체(10)는 이동과 회전이 가능하도록 설치되며, 이 본체(10)의 일측에 포크(12)가 다수개 설치된다.

포크(12)는 윗면 각 모서리에 웨이퍼가이드(14)가 형성되고, 이 웨이퍼가이드(14)에 의해 웨이퍼(W)의 이탈이 방지된다.

즉 웨이퍼가이드(14)는 웨이퍼(W) 안착시 웨이퍼(W)의 중심방향으로 단차지도록 설치되어 웨이퍼(W)가 이탈되는 것을 방지해 준다.

또한 포크(12)에는 포크(12)의 이동시 돌출된 웨이퍼(W)의 측면에 접촉되도록 본 발명의 특징에 따른 진입방지부재(16)가 설치된다.

진입방지부재(16)는 포크(12)의 후방 양측으로부터 선단방향으로 돌출 연장되어 선단부(18)가 웨이퍼(W)의 측면에 접촉되도록 설치된다.

여기서 선단부(18)는 웨이퍼(W)의 측면과 접촉시 웨이퍼(W)를 손상시키지 않도록 라운딩되어 설치되는 것이 바람직하다.

또한 진입방지부재(16)는 웨이퍼(W)의 측면을 손상시키지 않을 뿐만 아니라, 웨이퍼(W)와 접촉하여도 오염물질을 발생시키지 않는 피크(PEEK; Poly Ether Ether Ketine)로 제조되는 것이 바람직하다.

피크는 영국의 ICI에서 개발된 엔지니어링 플라스틱의 일종으로 고온에서 기계적 강도가 우수하고, 내방사성을 가지며, 내화학성을 가진 결정성 타입의 방향족직고리 자기소화성 플라스틱이다.

이러한 피크의 특성으로 인하여 진입방지부재(16)는 확산로에서 고온의 공정을 마치고 배출되는 고온의 웨이퍼(W)와 직접 접촉하여도 오염물을 발생시키지 않는다.

한편 본 실시예에서 돌출된 웨이퍼(W)는 진입방지부재(16)에 의해서 카셋트(20)의 내부에 형성된 슬롯으로 밀려들어간다.

따라서 돌출감지센서는 설치되지 않고 웨이퍼(W)의 유무를 감지하는 웨이퍼감지센서(22)만이 설치된다.

다음으로 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 작용에 대해서 설명한다.

클리닝을 마친 웨이퍼(W)는 카세트(20)에 수납되어 이송스테이지(24) 위로 이송된다.

카세트(20)가 이송스테이지(24) 위로 이송되면 웨이퍼 이송장치의 포크(12)를 카셋트(20) 앞으로 이동시킨 후, 포크(12)를 카세트(20)에 수납된 웨이퍼(W) 사이로 진입시킨다.

이 때 카세트(20)로부터 돌출된 웨이퍼(W)는 본 발명의 특징에 따라 제안된 진입방지부재(16)에 의해 포크(12)의 진입 깊이까지 뒤로 밀리게 되며, 뒤로 밀린 웨이퍼(W)는 카셋트(20)의 슬롯에 안착된다.

이와 같이 웨이퍼(W) 사이로 포크(12)의 진입이 완료되면 포크(12)를 상승시켜 웨이퍼가이드(14) 위에 웨이퍼(W)를 안착시킨다.

웨이퍼(W)가 안착된 포크(12)는 역으로 후진한 후, 웨이퍼 이송장치본체(10)의 작동에 따라 보트(26)의 정면으로 이동된다.

보트(26)의 정면으로 이송된 포크(12)는 보트(26)의 슬롯 사이로 진입한 후 하강하여 웨이퍼(W)를 슬롯에 안착되도록 한다.

웨이퍼(W)의 안착이 완료되면 포크(12)는 하강 종료지점까지 하강된 후 후진하여 최초의 위치로 복귀한다.

이어서 웨이퍼(W)가 안착된 보트(26)를 상승시켜 확산로에 진입시킨 후 확산공정을 진행시킨다.

확산공정이 종료되면 상기한 방법의 역순으로 웨이퍼(W)를 보트(26)에서 인출하여 이송스테이지(24)에 준비된 카세트(20)의 내부로 수납시킨다.

이상 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치는 진입방지부재가 설치되므로 웨이퍼의 돌출시 기구적으로 웨이퍼가 뒤로 밀려 카셋트의 슬롯에 안착된다.

따라서 돌출된 웨이퍼를 밀어 넣기 위한 작업시간을 줄일 수 있으므로 생산성이 향상된다.

또한 웨이퍼가 포크 사이에 끼어서 발생되는 웨이퍼표면의 스크렛칭이나 웨이퍼의 파손이 방지되므로 웨이퍼의 수율이 향상된다.

Claims (3)

1. (정정)웨이퍼 로딩시 웨이퍼의 안착위치가 결정되도록 웨이퍼가이드가 형성된 다수의 포크를 포함하는 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   상기 포크의 이동시 상기 웨이퍼의 측면에 접촉되도록 상기 포크의 후방 양측으로부터 선단 방향으로 돌출 설치되는 한쌍의 진입방지부재를 포함하며, 상기 웨이퍼와 접촉되는 상기 진입방지부재의 접촉부가 라운딩되도록 형성되고, 상기 진입방지부재가 피크재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
2. (삭제)
3. (삭제)