KR20000012303U

KR20000012303U - 웨이퍼 이송장치

Info

Publication number: KR20000012303U
Application number: KR2019980025225U
Authority: KR
Inventors: 장문수
Original assignee: 김규현; 아남반도체 주식회사
Priority date: 1998-12-16
Filing date: 1998-12-16
Publication date: 2000-07-05

Abstract

본 고안은 보트 내의 웨이퍼들을 이송하기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 좌, 우 슬라이딩 이송가능한 X축 아암(11), X축 아암(11)에 상, 하 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 장착된 Z축 아암(12), Z축 아암(12)의 상부에 회전가능하도록 장착된 Y축 아암(13), Y축 아암(13)에 좌, 우 방향으로 슬라이딩 이동가능하도록 장착되어 보트(1) 내의 웨이퍼들을 이송하기 위한 웨이퍼 이송아암(14)을 포함하고, Y축 아암(13)은 보트(1)와 대응하는 면에 웨이퍼 스캐닝 센서(18)를 구비하여, 웨이퍼 이송아암(14)의 웨이퍼 이송과정 전에, 보트(1)의 상단에서 하단까지 스캐닝하여 보트(1) 내의 웨이퍼(2)의 탑재상태를 체크하는 것에 의해, 탑재가 불량한 웨이퍼를 제거할 수 있다.

Description

웨이퍼 이송장치

본 고안은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 스캐닝 센서(wafer scanning sensor)가 부착된 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 공정의 확산로(diffusion furnace)에서는 공정의 진행을 위해 카세트에 장착된 웨이퍼들이 카세트로부터 보트로 이송되고, 웨이퍼를 장착한 보트가 프로세스 챔버 내로 로딩되어 소정의 공정, 예를들면 증착공정 등이 수행된 후, 보트는 다시 프로세스 챔버로부터 언로딩된다. 이때, 일차적으로 공정이 완료된 보트 내의 웨이퍼들은 웨이퍼 이송장치에 의해 다음의 공정을 위한 위치로 이동하게 된다.

도 1에는 종래의 웨이퍼 이송장치중 하나가 도시되어 있다.

도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 이송장치는 좌, 우 슬라이딩 이송가능한 X축 아암(11), X축 아암(11)에 상, 하 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 장착된 Z축 아암(12), Z축 아암(12)의 상부에 회전가능하도록 장착된 Y축 아암(13) 및 Y축 아암(13)에 좌, 우 방향으로 슬라이딩 이동가능하도록 장착된 웨이퍼 이송아암(14)을 포함한다.

웨이퍼 이송아암(14)의 한쪽 면에는 보트(1)의 웨이퍼(2)의 유, 무를 감지하기 위한 다수개의 웨이퍼 위치 센서(15)가 마련되며, 각각의 웨이퍼 위치 센서(15)의 아래에는 보트(1) 내의 웨이퍼(2)를 이송시키기 위한 포크(fork, 16)가 마련되어 있다.

상술한 바와 같이, 일차 공정이 완료된 보트(1) 내의 웨이퍼(2)들을 다음의 공정 위치로 이동시키기 위해서는, 우선 X축 아암(11)의 슬라이딩 운동에 의해 보트(1)와 웨이퍼 이송아암(14)의 거리가 적정하게 유지되도록 한다.

계속해서, Z축 아암(12)의 상, 하 슬라이딩 운동에 의해 보트(1)의 상단에 위치한 웨이퍼와 웨이퍼 이송아암(14)의 상단에 위치한 웨이퍼 위치 센서(15)가 대응되도록 웨이퍼 이송아암(14)이 이동된다.

다음에, 웨이퍼 위치 센서(15)의 작동에 의해 웨이퍼(2)의 위치가 감지되면, 웨이퍼 이송아암(14)은 보트(1)쪽으로 슬라이딩 운동하여 보트(1) 내의 웨이퍼(2) 사이에 포크(16)를 삽입시킨 후, Z축 아암(12)의 약간의 상방향 슬라이딩 운동에 의해 각각의 웨이퍼(2)들을 그들에 대응하는 포크(16)의 상부에 안착시킨다.

그후, 웨이퍼 이송아암(14)은 보트(1)와 멀어지는 방향으로 슬라이딩 운동하여 웨이퍼(2)를 보트(1)와 분리시킨다.

마지막으로, X축 아암(11)의 슬라이딩 운동에 의해 분리된 웨이퍼(2)는 다음 공정 위치로 이동된다.

그러나, 도 2에 도시된 바와 같이, 프로세스 챔버 내의 공정은 대체로 900℃에서 진행되기 때문에, 고온 공정후 언로딩된 보트 내의 웨이퍼는 열적 손상(thermal damage) 또는 가장자리가 손상되는 소위 에지 챠핑(edge chopping) 등의 이유로 웨이퍼(2)가 보트(1)의 슬롯에 불안정한 상태로 장착되어 있는 경우가 발생한다. 이러한 경우에도, 웨이퍼 위치 센서(15)의 작동에 의해 웨이퍼(2)가 감지되면, 상술한 바와 같은 일련의 슬라이딩 운동에 의해 웨이퍼 이송장치의 포크(16)가 보트(1) 내의 웨이퍼(2) 사이에 삽입된다.

상술한 구성에 있어서, 보트 내에 불안정하게 장착된 웨이퍼가 존재하는 경우에도 포크의 삽입동작이 이루어지므로, 포크와 웨이퍼간의 충돌이 발생하여 웨이퍼가 손상되거나 보트 자체가 넘어져 보트 내의 다수의 웨이퍼들이 손상되는 문제점이 있다.

본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 보트를 향하는 웨이퍼 이송아암의 측면에 웨이퍼 스캐닝 센서를 장착하여 보트의 상단에서 하단까지의 웨이퍼의 상태를 스캐닝할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치는, 좌, 우 슬라이딩 이송가능한 X축 아암, X축 아암에 상, 하 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 장착된 Z축 아암, Z축 아암의 상부에 회전가능하도록 장착된 Y축 아암, Y축 아암에 좌, 우 방향으로 슬라이딩 이동가능하도록 장착되어 보트 내의 웨이퍼들을 이송하기 위한 웨이퍼 이송아암을 포함하며, Y축 아암은 보트와 대응하는 면에 웨이퍼 스캐닝 센서를 구비하여 웨이퍼 이송아암의 웨이퍼 이송과정 전에, 보트의 상단에서 하단까지 스캐닝하여 보트 내의 웨이퍼의 탑재상태를 체크하는 것을 특징으로 한다.

본 고안의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

도 1은 웨이퍼를 탑재한 보트와 종래 웨이퍼 이송장치의 측면도,

도 2는 종래 웨이퍼 이송장치의 웨이퍼 이송과정을 설명하기 위한 도면,

도 3은 웨이퍼를 탑재한 보트와 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치의 측면도,

도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치의 웨이퍼 이송과정을 설명하기 위한 도면.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 보트 2 : 웨이퍼

11 : X축 아암 12 : Z축 아암

13 : Y축 아암 14 : 웨이퍼 이송아암

15 : 웨이퍼 위치 센서 16 : 포크

18 : 웨이퍼 스캐닝 센서

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 기재에 있어서 종래와 동일한 부품에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치는 좌, 우 슬라이딩 이송가능한 X축 아암(11), X축 아암(11)에 상, 하 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 장착된 Z축 아암(12), Z축 아암(12)의 상부에 회전가능하도록 장착된 Y축 아암(13) 및 Y축 아암(13)에 좌, 우 방향으로 슬라이딩 이동가능하도록 장착된 웨이퍼 이송아암(14)을 포함한다.

Y축 아암(13)은 보트(1)와 대응하는 면에 광학센서와 같은 웨이퍼 스캐닝 센서(18)를 갖는다. 이 웨이퍼 스캐닝 센서(wafer scanning sensor, 18)는 보트(1)의 상단에서 하단까지 스캐닝하는 것에 의해 보트(1) 내의 웨이퍼(2)의 상태를 사전에 감지하기 위한 것이다.

이하, 본 고안에 따른 웨이퍼 이송장치의 작동을 도 4를 참조하여 설명한다.

일차 공정이 완료된 보트(1) 내의 웨이퍼(2)들을 다음의 공정 위치로 이동시키기 위해서는, 우선 X축 아암(11)의 슬라이딩 운동에 의해 보트(1)와 웨이퍼 이송아암(14)의 거리가 적정하게 유지되도록 한다.

계속해서, Z축 아암(12)의 상, 하 슬라이딩 운동에 의해 보트(1)의 상단에 위치한 웨이퍼와 Y축 아암(13)의 한쪽 면에 마련된 웨이퍼 스캐닝 센서(18)가 서로 일치하도록 위치시킨 후, 웨이퍼 스캐닝 센서(18)를 작동시키고 Z축 아암(12)을 하방으로 슬라이딩 운동시키는 것에 의해, 보트(1)의 상단에서 하단까지 탑재된 웨이퍼(2)들의 탑재상태를 체크한다. 탑재상태를 체크한 결과, 웨이퍼(2)중 한 장이라도 탑재상태가 불량한 웨이퍼가 존재하면 웨이퍼 이송장치의 작동을 중단시킨 후, 불량한 탑재상태의 웨이퍼를 적절하게 조치한다. 예를들어, 웨이퍼가 단순히 보트(1)내에서 슬롯을 이탈한 경우에는 슬롯에 끼우고, 웨이퍼가 깨어지거나 손상된 경우에는 이들을 제거한 후, 웨이퍼 이송장치의 작동을 재개시킨다.

웨이퍼 이송장치의 작동이 재개되면, Z축 아암(12)의 상방향 슬라이딩 운동에 의해 보트(1)의 상단에 위치한 웨이퍼와 웨이퍼 이송아암(14)의 상단에 위치한 웨이퍼 위치 센서(15)가 대응되도록 웨이퍼 이송아암(14)이 이동된다.

상술한 바와 같이 본 고안은 바람직한 예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 고안의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형 실시 할 수 있음을 알 수 있을 것이다.

상술한 구성에 있어서, Y축 아암에 장착된 웨이퍼 스캐닝 센서를 사용하여 웨이퍼 이송아암의 작동 전에 보트 내의 웨이퍼의 탑재상태를 체크하는 것에 의해, 탑재가 불량한 웨이퍼를 제거할 수 있다.

Claims

보트 내의 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송장치에 있어서,

좌, 우 슬라이딩 이송가능한 X축 아암(11);

상기 X축 아암(11)에 상, 하 방향으로 슬라이딩 이동가능하게 장착된 Z축 아암(12);

상기 Z축 아암(12)의 상부에 회전가능하도록 장착된 Y축 아암(13);

상기 Y축 아암(13)에 좌, 우 방향으로 슬라이딩 이동가능하도록 장착되어 보트(1) 내의 웨이퍼들을 이송하기 위한 웨이퍼 이송아암(14)을 포함하며,

상기 Y축 아암(13)은 보트(1)와 대응하는 면에 웨이퍼 스캐닝 센서(18)를 구비하여, 상기 웨이퍼 이송아암(14)의 웨이퍼 이송과정 전에, 보트(1)의 상단에서 하단까지 스캐닝하여 보트(1) 내의 웨이퍼(2)의 탑재상태를 체크하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 스캐닝 센서(18)는 광학 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.