JPH05338685A - 平面状基板の収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 例えばウエハ等の平面状基板を簡単かつ確実
に所定の位置に平行状に収納することができるようにす
る。 【構成】 ウエハキャリヤ１の両側板３の内側面にそれ
ぞれ複数の突条部４を平行状に設け、前面開口２の近傍
における両側の各突条部４の先端にそれぞれ内方へ延出
させたガイド部６を設ける。各ガイド部６の下面を収納
されるウエハ１０のパターン面Ｐに対して離間する逃げ
面６ｂとする。ウエハ１０を前面開口２から挿入させる
際、各ガイド部６によってウエハ１０の挿入先端側がガ
イドされるので、ウエハ１０の両側の外周部１０ａが両
側の対向する各突条部４の間に簡単かつ確実に係合さ
れ、ウエハ１０は段違いに斜めになることなく所定の位
置に正しく平行状に収納される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の平面状基板を平
行状に収納するようにした収納装置に関し、例えば複数
のウエハを平行状に収納するためのウエハキャリヤとし
て最適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体装置の製造工程におい
て、ウエハを各種の処理工程の間で搬送したり各処理工
程の前後で保管したりする場合、複数のウエハを収納す
るウエハキャリヤが使用されている。図５及び図６はこ
の種のウエハキャリヤの一従来例を示すものである。こ
のウエハキャリヤ１は例えば合成樹脂によってほぼ箱状
に形成され、その前面がウエハ１０を挿入するための前
面開口２となっている。ウエハキャリヤ１の対向する両
側板３の内側面には、それぞれ複数の突条部４が平行状
に設けられ、これら各突条部４によって複数の条溝部５
が相対的に形成されている。そして、ウエハ１０を前面
開口２から矢印ａ方向へ挿入させて、そのウエハ１０の
両側の外周部１０ａをそれぞれ両側の各突条部４の間
（即ち各条溝部５内）に係合させることにより、複数
（例えば２５枚）のウエハ１０を平行状に収納するよう
に構成されている。なお、両側の各突条部４の後方部分
は互いに近接するように傾斜しており、これらの部分で
ウエハ１０が位置決めされる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うなウエハキャリヤ１へのウエハ１０の収納は、通常、
ロボットハンド等による自動作業で行われるが、少量生
産や試験生産等においては、作業者が真空ピンセット等
を用いて手作業で行う場合がある。しかしながら、従来
のウエハキャリヤ１では、複数のウエハ１０をできるだ
けコンパクトに収納するために、両側の各突条部４の上
下間隔ｂが狭く、また、両側の各突条部４がウエハ１０
の外周部１０ａのみを保持して両面のうち特に表面のパ
ターン面Ｐと接触しないようにするために、各突条部４
の突出長さｃが短くなっている。このため、作業者がウ
エハ１０を手作業で収納する際、図５に示すように、ウ
エハ１０を少しでも傾斜させて挿入すると、ウエハ１０
の両側の外周部１０ａがそれぞれ両側の各突条部４の間
に段違いに係合されてしまい、ウエハ１０を所定の位置
に正しく平行状に収納することができないことがあっ
た。従って、手作業によるウエハキャリヤ１へのウエハ
１０の収納は、充分に慎重に行う必要があって極めて煩
わしい上に、場合によってはウエハ１０を無理に収納し
て不測に反りや損傷を生じさせてしまう、等の問題があ
った。

【０００４】そこで本発明は、例えばウエハ等の平面状
基板を簡単かつ確実に所定の位置に平行状に収納するこ
とができるようにした平面状基板の収納装置を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、前面開口を有する収納箱体の対向する両
側板の内側面に、それぞれ複数の突条部を平行状に設
け、平面状基板を前記前面開口から挿入させて、その基
板の両側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に
係合させることにより、複数の基板を平行状に収納する
ように構成した平面状基板の収納装置において、少なく
とも前記前面開口の近傍における前記各突条部の先端
に、それぞれ内方へ延出させたガイド部を設け、かつ、
これら各ガイド部の両面の少なくとも一方の面を、前記
収納される基板の面に対して離間する逃げ面にて構成し
たものである。

【０００６】

【作用】上記のように構成された本発明によれば、平面
状基板を前面開口から挿入させる際、両側の各突条部の
先端に内方へ延出するように設けられた各ガイド部によ
って、基板の挿入先端側がガイドされるので、その基板
の両側の外周部が両側の対向する各突条部の間に簡単か
つ確実に係合される。また、基板を必要以上に傾斜させ
て挿入させようとした場合には、その基板の挿入が各ガ
イド部によって規制される。従って、基板が段違いに斜
めに収納されることが未然に防止される。そして、各ガ
イド部の両面の少なくとも一方の面が逃げ面となってい
るので、基板の挿入時には、その基板の面とガイド部と
の接触が回避される。

【０００７】

【実施例】以下、本発明をウエハキャリヤに適用した実
施例を図１〜図４を参照して説明する。なお、前記従来
例と実質的に同一の部分には同一の符号を付してその説
明を省略する。

【０００８】まず、図１〜図３は第１実施例を示すもの
であり、最も基本的な構成を示している。即ち、ウエハ
キャリヤ１の前面開口２の近傍において、両側の各突条
部４の先端には、それぞれ内方へ延出させた板状のガイ
ド部６が一体に設けられている。これら各ガイド部６は
各突条部４の前端から後方へ沿って設けられ、その後端
は収納されたウエハ１０に接触しないように円弧状に形
成されている。

【０００９】そして、各ガイド部６の上面は各突条部４
の上面と連続する平坦面６ａになっており、各ガイド部
６の下面は各突条部４の下面よりも上方へ段差がつけら
れて、収納されるウエハ１０の表面に対して離間する逃
げ面６ｂにて構成されている。この例においては、ウエ
ハ１０の表面のパターン面Ｐを上側にしてウエハキャリ
ヤ１に収納するので、各ガイド部６の逃げ面６ｂがウエ
ハ１０のパターン面Ｐと対向し、各ガイド部６の平坦面
６ａがウエハ１０の裏面の非パターン面と対向する。

【００１０】上述のように構成されたウエハキャリヤ１
によれば、図３に示すように、ウエハ１０を手作業で前
面開口２から矢印ａ方向へ挿入させる際、両側の各突条
部４の先端に設けられた各ガイド部６によってウエハ１
０の挿入先端側がガイドされるので、図２に示すよう
に、そのウエハ１０の両側の外周部１０ａが両側の対向
する各突条部４の間（即ち各条溝部５内）に簡単かつ確
実に係合される。また、図２に一点鎖線で示すように、
ウエハ１０を必要以上に傾斜させて挿入させようとした
場合には、そのウエハ１０の挿入先端縁が各ガイド部６
に当接して挿入が規制される。従って、ウエハ１０を段
違いに斜めに収納してしまうことを未然に防止すること
ができ、ウエハ１０を所定の位置に正しく平行状に収納
することができる。

【００１１】そして、各ガイド部６の下面がウエハ１０
のパターン面Ｐに対して離間する逃げ面６ｂとなってい
るので、ウエハ１０の挿入時には、ウエハ１０のパター
ン面Ｐと各ガイド部６との接触が回避され、パターンの
損傷を防止することができる。なお、挿入時にはウエハ
１０の裏面が各ガイド部６の平坦面６ａに接触するが、
その裏面は非パターン面であるから特に問題はない。

【００１２】なお、ウエハ１０を手作業で収納する場合
に限らず、ロボットハンド等による自動収納の際にウエ
ハキャリヤ１に対する自動機器の位置決め誤差等があっ
ても、前述のようにウエハ１０が各ガイド部６によって
ガイドされるので、ウエハ１０を確実に収納することが
できる。

【００１３】ところで、自動収納のためのロボットハン
ド或いは手作業収納のための真空ピンセット等を挿入す
るために、両側の各ガイド部６の間には間隔ｄを設ける
必要がある。従って、各ガイド部６の延出長さｅは、ウ
エハ１０が斜めに収納されない範囲で、必要とすべき中
央の間隔ｄや各突条部４の前記上下間隔ｂ等に基づいて
設定される。

【００１４】なお、各ガイド部６を各突条部４の前端か
ら後方に沿って全体的に設けてもよいが、本実施例にお
いては、各ガイド部６が前面開口２の近傍に設けられて
いるので、ウエハ１０がウエハキャリヤ１内に完全に収
納された状態では、ウエハ１０が各ガイド部６に接触す
ることはなく、従来と同様にウエハ１０の両側の外周部
１０ａのみが各突条部４によって保持されることにな
る。また、各ガイド部６の後端を円弧状に形成すること
によって、各突条部４との連続部分が幅広になるので、
強度も充分に高いものとなる。

【００１５】次に、図４は第２実施例を示すものであ
り、さらに好適な構成を示している。即ち、ウエハキャ
リヤ１の両側板３の内側面に設けられた各突条部７の上
下両面が傾斜面７ａ及び７ｂにて構成され、それら各突
条部７が全体的にテーパ状に形成されている。そして、
各突条部７の先端に、それぞれ内方へ延出させたテーパ
状のガイド部９が一体に設けられ、これら各ガイド部９
の上下両面は、各突条部７の傾斜面７ａ及び７ｂと連続
する傾斜逃げ面９ａ及び９ｂにて構成されている。

【００１６】この第２実施例の場合でも、ウエハ１０を
前面開口２から挿入させる際、各ガイド部９によってウ
エハ１０の挿入先端側がガイドされるので、そのウエハ
１０の両側の外周部１０ａが両側の対向する各突条部７
の間（即ち各条溝部８内）に簡単かつ確実に係合され
る。

【００１７】そして、この第２実施例の場合、ウエハ１
０の挿入時には、各ガイド部９の下面の傾斜逃げ面９ｂ
によってウエハ１０のパターン面Ｐとの接触が回避され
るが、特にこの例のように、各ガイド部９の上面も傾斜
逃げ面９ａにすると、一点鎖線で示すように、ウエハ１
０の挿入時には外周エッジ１０ｂのみが傾斜逃げ面９ａ
に接触することになるので、各ガイド部９に対する接触
部分をより少なくすることができる。

【００１８】以上、本発明の実施例に付き説明したが、
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更並びに応用が可能
である。例えば、第１実施例では板状の突条部及びガイ
ド部、第２実施例ではテーパ状の突条部及びガイド部に
ついて説明したが、両方を相互に組合せてもよい。なお
本発明は、ウエハを収納するウエハキャリヤに限らず、
例えばＴＦＴガラス基板等の各種の平面状基板の収納装
置に広範囲に適用することができる。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
少なくとも前面開口の近傍における両側の各突条部の先
端にそれぞれ内方へ延出させたガイド部を設けることに
よって、例えばウエハ等の複数の平面状基板を前面開口
から挿入させる際、各ガイド部によって基板の挿入先端
側をガイドさせることができ、その基板の両側の外周部
を両側の対向する各突条部の間に極めて簡単かつ確実に
係合させることができる。従って、基板を手作業で収納
する場合でも、基板を段違いに斜めに収納してしまうよ
うなことを未然に防止することができ、その基板に反り
や損傷等を生じさせることなく、所定の位置に正しく平
行状に収納することができる。また、各ガイド部に設け
られた逃げ面によって、基板の挿入時において基板の例
えばパターン面と各ガイド部との接触を回避することが
できるので、そのパターンの不用意な損傷も未然に防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明をウエハキャリヤに適用した第１実施例
における要部の斜視図である。

【図２】上記実施例における全体の縦断面状態の正面図
である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における矢視断面状態
の平面図である。

【図４】本発明をウエハキャリヤに適用した第２実施例
における要部の縦断面状態の正面図である。

【図５】ウエハキャリヤの一従来例における全体の縦断
面状態の正面図である。

【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線における矢視断面状態の平
面図である。

【符号の説明】

１ ウエハキャリヤ ２ 前面開口 ３ 側板 ４ 突条部 ６ ガイド部 ６ｂ 逃げ面 ７ 突条部 ７ａ、７ｂ 傾斜面 ９ ガイド部 ９ａ、９ｂ 傾斜逃げ面 １０ ウエハ １０ａ 外周部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前面開口を有する収納箱体の対向する両
   側板の内側面に、それぞれ複数の突条部を平行状に設
   け、平面状基板を前記前面開口から挿入させて、その基
   板の両側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に
   係合させることにより、複数の基板を平行状に収納する
   ように構成した平面状基板の収納装置において、 少なくとも前記前面開口の近傍における前記各突条部の
   先端に、それぞれ内方へ延出させたガイド部を設け、か
   つ、これら各ガイド部の両面の少なくとも一方の面を、
   前記収納される基板の面に対して離間する逃げ面にて構
   成したことを特徴とする平面状基板の収納装置。
2. 【請求項２】 前記各突条部の両面の少なくとも一方の
   面が傾斜面であることを特徴とする請求項１記載の平面
   状基板の収納装置。
3. 【請求項３】 前記各ガイド部の両面の少なくとも一方
   の面が前記各突条部の傾斜面と連続する傾斜逃げ面であ
   ることを特徴とする請求項２記載の平面状基板の収納装
   置。