JP2569052Y2 - ウェーハ装填用ガイド - Google Patents
ウェーハ装填用ガイドInfo
- Publication number
- JP2569052Y2 JP2569052Y2 JP1992072434U JP7243492U JP2569052Y2 JP 2569052 Y2 JP2569052 Y2 JP 2569052Y2 JP 1992072434 U JP1992072434 U JP 1992072434U JP 7243492 U JP7243492 U JP 7243492U JP 2569052 Y2 JP2569052 Y2 JP 2569052Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- guide
- loading
- slits
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウェーハをキャ
リアに移し替えるための装填用ガイドに関するものであ
る。
リアに移し替えるための装填用ガイドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの製造工程においては、
ウェーハをキャリアへ移しかえるための装填作業が多
い。従来、この装填方法は、ウェーハを手でキャリアの
端の溝から順次一枚一枚立てていく、手作業が一般的で
あった。
ウェーハをキャリアへ移しかえるための装填作業が多
い。従来、この装填方法は、ウェーハを手でキャリアの
端の溝から順次一枚一枚立てていく、手作業が一般的で
あった。
【０００３】ところで、ウェーハ装填用のキャリヤー
は、例えば図６に示すように、本体６の両則にウェーハ
支持溝７を備えている。８は位置合わせ用の突起であ
る。装填作業を容易にするため、この支持溝７にはウェ
ーハに対しかなりの遊びを持たせてある。反面、この遊
びによりウェーハの先側と手前側とが隣り合あった溝に
入ってしまい、ウェーハどうしが接触して、ウェーハの
カケや、ワレ不良が約１５％もの頻度で発生していた。
また正しく挿入しようとすると、作業スピードが遅くな
り、非効率的であった。
は、例えば図６に示すように、本体６の両則にウェーハ
支持溝７を備えている。８は位置合わせ用の突起であ
る。装填作業を容易にするため、この支持溝７にはウェ
ーハに対しかなりの遊びを持たせてある。反面、この遊
びによりウェーハの先側と手前側とが隣り合あった溝に
入ってしまい、ウェーハどうしが接触して、ウェーハの
カケや、ワレ不良が約１５％もの頻度で発生していた。
また正しく挿入しようとすると、作業スピードが遅くな
り、非効率的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記のこど
き欠点を解消するための補助具として、正確且つ効率的
なウェーハ装填作業を可能にするウェーハ装填用ガイド
を提供することを目的としている。
き欠点を解消するための補助具として、正確且つ効率的
なウェーハ装填作業を可能にするウェーハ装填用ガイド
を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成した本考
案のウェーハ装填用ガイドは、複数のウェーハ（９）を
収納するためのウェーハ支持溝（７）が形成されたキャ
リヤー（６）の上部に嵌合させる案内板（１）であっ
て、前記ウェーハ（９）を挿入可能な複数のスリット
（２）と、下面に設けられ、キャリヤー（６）上面の突
起（８）と嵌合する凹部（５）とからなり、前記スリッ
ト（２）のそれぞれの幅が、前記ウェーハ支持溝（７）
の幅と略同一に形成され、かつ前記スリット（２）のそ
れぞれの長さが、対抗する前記ウェーハ支持溝（７）の
間隔と略同一に設けられ、前記案内板（１）を前記キャ
リヤー（６）の上部に嵌合させることにより、それぞれ
の前記スリット（２）の位置が、それぞれ対抗する前記
ウェーハ支持溝（７）の位置と略一致するように配置さ
れることを第一の特徴とし、第二の特徴は、それぞれの
スリット（２）の間に設けられた桟（３Ａ）の上面部
が、案内板（１）の上面部よりも低い位置に形成されて
いることにある。
案のウェーハ装填用ガイドは、複数のウェーハ（９）を
収納するためのウェーハ支持溝（７）が形成されたキャ
リヤー（６）の上部に嵌合させる案内板（１）であっ
て、前記ウェーハ（９）を挿入可能な複数のスリット
（２）と、下面に設けられ、キャリヤー（６）上面の突
起（８）と嵌合する凹部（５）とからなり、前記スリッ
ト（２）のそれぞれの幅が、前記ウェーハ支持溝（７）
の幅と略同一に形成され、かつ前記スリット（２）のそ
れぞれの長さが、対抗する前記ウェーハ支持溝（７）の
間隔と略同一に設けられ、前記案内板（１）を前記キャ
リヤー（６）の上部に嵌合させることにより、それぞれ
の前記スリット（２）の位置が、それぞれ対抗する前記
ウェーハ支持溝（７）の位置と略一致するように配置さ
れることを第一の特徴とし、第二の特徴は、それぞれの
スリット（２）の間に設けられた桟（３Ａ）の上面部
が、案内板（１）の上面部よりも低い位置に形成されて
いることにある。
【０００６】キャリアのウェーハ支持溝に対応して設け
られたスリットは、ウェーハ支持溝と同じピッチで、ウ
ェーハの直径より若干長く、ウェーハの厚さより若干広
く、且つまたウェーハ支持溝と同じか、それより若干広
いのが望ましい。
られたスリットは、ウェーハ支持溝と同じピッチで、ウ
ェーハの直径より若干長く、ウェーハの厚さより若干広
く、且つまたウェーハ支持溝と同じか、それより若干広
いのが望ましい。
【０００７】案内板の周側および／または下面に設けら
れたスリットとウェーハ支持溝との位置合わせ手段とし
ては、案内板周側に側板を設け、キャリヤー本体上部と
の倣いによるのが簡便であるが、側板の倣いを厳密にす
ると着脱しにくくなるので、キャリヤー本体上面と案内
板下面の対辺、対角または一辺上の両端などに少なくと
も一対の嵌合部位を設けて位置合わせし、キャリヤーの
ウェーハ支持溝と案内板スリットを正確に位置づけるこ
ともできる。また、キャリヤー上部両側にガイドレール
のごときものを設けることもできる。側板と嵌合部位は
併設しても、いずれか一方だけでもよいが、キャリヤー
本体上面の一辺には、もともと両端にウェーハ移しかえ
時の位置合わせ用に突起を２個を備えているので、これ
を利用して側板に加え、案内板下面に嵌合凹部を設け、
側板で大略の位置合わせをし、嵌合凹部で正確に位置合
わせするのがもっとも望ましい。
れたスリットとウェーハ支持溝との位置合わせ手段とし
ては、案内板周側に側板を設け、キャリヤー本体上部と
の倣いによるのが簡便であるが、側板の倣いを厳密にす
ると着脱しにくくなるので、キャリヤー本体上面と案内
板下面の対辺、対角または一辺上の両端などに少なくと
も一対の嵌合部位を設けて位置合わせし、キャリヤーの
ウェーハ支持溝と案内板スリットを正確に位置づけるこ
ともできる。また、キャリヤー上部両側にガイドレール
のごときものを設けることもできる。側板と嵌合部位は
併設しても、いずれか一方だけでもよいが、キャリヤー
本体上面の一辺には、もともと両端にウェーハ移しかえ
時の位置合わせ用に突起を２個を備えているので、これ
を利用して側板に加え、案内板下面に嵌合凹部を設け、
側板で大略の位置合わせをし、嵌合凹部で正確に位置合
わせするのがもっとも望ましい。
【０００８】本考案のウェーハ装填用ガイドの素材とし
ては、耐薬品性の観点から、合成樹脂、例えばポリプロ
ピレンや、ポリテトラフルオロエチレンなどを使用す
る。
ては、耐薬品性の観点から、合成樹脂、例えばポリプロ
ピレンや、ポリテトラフルオロエチレンなどを使用す
る。
【０００９】また、キャリヤーはウェーハの大きさに応
じてサイズが異なるので、本考案のウェーハ装填用ガイ
ドも、当然それに対応して作成する。即ち、直径１５０
ｍｍウェーハ用のキャリアに対しては、そのキャリアに
合わせたガイドを、直径１２５ｍｍウェーハ用のキャリ
アに対しては、そのキャリアにあわせたガイドを用い
る。
じてサイズが異なるので、本考案のウェーハ装填用ガイ
ドも、当然それに対応して作成する。即ち、直径１５０
ｍｍウェーハ用のキャリアに対しては、そのキャリアに
合わせたガイドを、直径１２５ｍｍウェーハ用のキャリ
アに対しては、そのキャリアにあわせたガイドを用い
る。
【００１０】
【作用】本考案では、複雑な構造の付属部品を特別に必
要とせず、ウェーハ装填後の液中処理工程で用いる既存
のキャリヤーの突起に、案内板の凹部を嵌合させること
により位置合わせを行う。これにより、それぞれのスリ
ットとウェーハ支持溝との位置が略一致し、スリットの
長さがウェーハの直径とほぼ同じであるので、スリット
の長さ方向の両端部が、ウェーハ支持溝の上側両端部と
上下重なるようにほぼ一致して配置される。これによ
り、スリットからウェーハを挿入し、ウェーハの最大幅
部分がスリットを通過した際、対抗するウェーハ支持溝
の両側にウェーハが確実に装填され、必ずウェーハの下
部がウェーハ支持溝の下底にほぼ装填完了された挿入状
態で、ウエーハを手離すことができる。その結果、ウェ
ーハをスリットから挿入するだけで、ウェーハ支持溝に
静かに装填できる。したがって、隣接したウェーハ支持
溝にウェーハが誤って装填されないため、ウェーハ同士
の接触による損傷はなくなり、併せて装填作業自体もス
ピードアップされる。
要とせず、ウェーハ装填後の液中処理工程で用いる既存
のキャリヤーの突起に、案内板の凹部を嵌合させること
により位置合わせを行う。これにより、それぞれのスリ
ットとウェーハ支持溝との位置が略一致し、スリットの
長さがウェーハの直径とほぼ同じであるので、スリット
の長さ方向の両端部が、ウェーハ支持溝の上側両端部と
上下重なるようにほぼ一致して配置される。これによ
り、スリットからウェーハを挿入し、ウェーハの最大幅
部分がスリットを通過した際、対抗するウェーハ支持溝
の両側にウェーハが確実に装填され、必ずウェーハの下
部がウェーハ支持溝の下底にほぼ装填完了された挿入状
態で、ウエーハを手離すことができる。その結果、ウェ
ーハをスリットから挿入するだけで、ウェーハ支持溝に
静かに装填できる。したがって、隣接したウェーハ支持
溝にウェーハが誤って装填されないため、ウェーハ同士
の接触による損傷はなくなり、併せて装填作業自体もス
ピードアップされる。
【００１１】
【実施例】図１および図２において、案内板１は、複数
のウェーハ９を収納するためのウェーハ支持溝７が形成
され、後述のキャリヤー６の上部に嵌合させるものであ
って、複数のウェーハ挿入用のスリット２を備えてい
る。このスリット２の数、ピッチは、例えば図３に示す
ように、使用するキャリヤ６のウェーハ支持溝７に対応
し、スリット２の長さ、幅はウェーハ９を容易に挿入可
能である。したがって、スリット２の長さはウェーハ９
の直径よりやや長めで、対抗するウェーハ支持溝７の間
隔、すなわちスリット２の長さ方向と同じ方向における
ウェーハ支持溝７の左右上端の対向間隔と略同一に設け
られている（図３、図４および図６参照）。スリット２
の幅はウェーハ９の厚さよりやや大きめで、且つキャリ
ヤ６のウエーハ支持溝７の幅と同等か若干大きめが望ま
しい。各スリット２間のガイド桟３は、図２ｂに示すよ
うに案内板１と平行しているが、図２ｂ′および図５に
示すように、やや低めにくった桟３Ａを設けてもよい。
図示のように桟３Ａの上面部が、案内板１の上面部より
も低い位置になるように形成すれば、装填後のウェーハ
９上端部を見やすくし、すでにウェーハ９を装填した箇
所に重ねて他のウェーハ９を誤って挿入することがな
い。
のウェーハ９を収納するためのウェーハ支持溝７が形成
され、後述のキャリヤー６の上部に嵌合させるものであ
って、複数のウェーハ挿入用のスリット２を備えてい
る。このスリット２の数、ピッチは、例えば図３に示す
ように、使用するキャリヤ６のウェーハ支持溝７に対応
し、スリット２の長さ、幅はウェーハ９を容易に挿入可
能である。したがって、スリット２の長さはウェーハ９
の直径よりやや長めで、対抗するウェーハ支持溝７の間
隔、すなわちスリット２の長さ方向と同じ方向における
ウェーハ支持溝７の左右上端の対向間隔と略同一に設け
られている（図３、図４および図６参照）。スリット２
の幅はウェーハ９の厚さよりやや大きめで、且つキャリ
ヤ６のウエーハ支持溝７の幅と同等か若干大きめが望ま
しい。各スリット２間のガイド桟３は、図２ｂに示すよ
うに案内板１と平行しているが、図２ｂ′および図５に
示すように、やや低めにくった桟３Ａを設けてもよい。
図示のように桟３Ａの上面部が、案内板１の上面部より
も低い位置になるように形成すれば、装填後のウェーハ
９上端部を見やすくし、すでにウェーハ９を装填した箇
所に重ねて他のウェーハ９を誤って挿入することがな
い。
【００１２】一方、案内板１の周側には、位置合わせ手
段のひとつとして側板４を設けてある。加えて、位置合
わせを確実にするために、図６のキャリヤー本体６の一
方の側の上面両端にある突起８を利用して、図２ａに示
すように、これと嵌合する凹部５を案内板１の一方の側
の両端に対応して設けてある。
段のひとつとして側板４を設けてある。加えて、位置合
わせを確実にするために、図６のキャリヤー本体６の一
方の側の上面両端にある突起８を利用して、図２ａに示
すように、これと嵌合する凹部５を案内板１の一方の側
の両端に対応して設けてある。
【００１３】図１および図２に示すウェーハ装填用ガイ
ドを使用するに際しては、図３に示すようにキャリヤー
本体６の上にウェーハ装填用ガイドをのせる。案内板１
のスリット２とキャリヤー本体６のウェーハ支持溝７と
は、側板４とキャリヤー本体６との倣い、およびキャリ
ヤー本体の突起８と案内板１の凹部５との嵌合により位
置合わせされる。したがって、スリット２からウェーハ
９を挿入すると、スリット２に対応するキャリヤー本体
６のウェーハ支持溝７に確実に装填される。
ドを使用するに際しては、図３に示すようにキャリヤー
本体６の上にウェーハ装填用ガイドをのせる。案内板１
のスリット２とキャリヤー本体６のウェーハ支持溝７と
は、側板４とキャリヤー本体６との倣い、およびキャリ
ヤー本体の突起８と案内板１の凹部５との嵌合により位
置合わせされる。したがって、スリット２からウェーハ
９を挿入すると、スリット２に対応するキャリヤー本体
６のウェーハ支持溝７に確実に装填される。
【００１４】図２ｂに示す平行型桟３を有するウェーハ
装填ガイドを使用する場合は、装填後のウェーハ９は、
図４に示すように桟３に隠れて作業者から見えにくい。
一方図２ｂ′に示すくり型桟３Ａを備えたウェーハ装填
ガイドを使用する場合には、装填後のウェーハ９は、図
５に示すように桟３Ａのくった部分からはみ出て、装填
の有無を確認しやすい。
装填ガイドを使用する場合は、装填後のウェーハ９は、
図４に示すように桟３に隠れて作業者から見えにくい。
一方図２ｂ′に示すくり型桟３Ａを備えたウェーハ装填
ガイドを使用する場合には、装填後のウェーハ９は、図
５に示すように桟３Ａのくった部分からはみ出て、装填
の有無を確認しやすい。
【００１５】
【効果】本考案のウェーハ装填用ガイドを使用すると、
下記のごとき実用上の効果を奏することができる。
下記のごとき実用上の効果を奏することができる。
【００１６】（１）．キャリヤー本体６のウェーハ支持
溝７に対する装填作業が簡単で、しかも確実となり、一
枚のウェーハ９の先側と手前側を隣り合つウェーハ支持
溝７に装填するいわゆる斜め装填が、これまで約１５％
も発生していたのに皆無となった。
溝７に対する装填作業が簡単で、しかも確実となり、一
枚のウェーハ９の先側と手前側を隣り合つウェーハ支持
溝７に装填するいわゆる斜め装填が、これまで約１５％
も発生していたのに皆無となった。
【００１７】（２）．前記誤動作によるウェーハ９のカ
ケ、ワレなどの損傷不良の発生も皆無となった。
ケ、ワレなどの損傷不良の発生も皆無となった。
【００１８】（３）．誤動作のおそれがないので、ウェ
ーハ９の装填作業は大幅にスピードアップされ、併せて
作業者の疲労も軽減された。
ーハ９の装填作業は大幅にスピードアップされ、併せて
作業者の疲労も軽減された。
【図１】本考案のウェーハ装填ガイドの実施の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】図１のウェーハ装填ガイドを示すａは平面図、
ｂは同平行型桟の実施例の一部切り欠き断面を示す正面
図、ｂ′は同くり型桟の実施例の一部切り欠き断面を示
す正面図、ｃは同側断面図である。
ｂは同平行型桟の実施例の一部切り欠き断面を示す正面
図、ｂ′は同くり型桟の実施例の一部切り欠き断面を示
す正面図、ｃは同側断面図である。
【図３】図１のウェーハ装填ガイドの使用態様を示す斜
視図である。
視図である。
【図４】図２ｂの平行桟を備えたウェーハ装填ガイドの
使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面図で
ある。
使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面図で
ある。
【図５】図２ｂ′のくり型桟を備えたウェーハ装填ガイ
ドの使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面
図である。
ドの使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面
図である。
【図６】キャリヤー本体の典型的な一例を示す斜視図で
ある。
ある。
１ 案内板 ２ スリット ３ 桟 ４ 側板 ５ 凹部 ６ キャリヤー本体 ７ ウェーハ支持溝 ８ 突起 ９ ウェーハ
Claims (2)
- 【請求項１】複数のウェーハ（９）を収納するためのウ
ェーハ支持溝（７）が形成されたキャリヤー（６）の上
部に嵌合させる案内板（１）であって、前記ウェーハ
（９）を挿入可能な複数のスリット（２）と、下面に設
けられ、キャリヤー（６）上面の突起（８）と嵌合する
凹部（５）とからなり、前記スリット（２）のそれぞれ
の幅が、前記ウェーハ支持溝（７）の幅と略同一に形成
され、かつ前記スリット（２）のそれぞれの長さが、対
抗する前記ウェーハ支持溝（７）の間隔と略同一に設け
られ、前記案内板（１）を前記キャリヤー（６）の上部
に嵌合させることにより、それぞれの前記スリット
（２）の位置が、それぞれ対抗する前記ウェーハ支持溝
（７）の位置と略一致するように配置されることを特徴
とするウェーハ装填用ガイド。 - 【請求項２】それぞれのスリット（２）の間に設けられ
た桟（３Ａ）の上面部が、案内板（１）の上面部よりも
低い位置に形成されたことを特徴とする請求項１に記載
のウェーハ装填用ガイド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992072434U JP2569052Y2 (ja) | 1992-09-05 | 1992-09-05 | ウェーハ装填用ガイド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992072434U JP2569052Y2 (ja) | 1992-09-05 | 1992-09-05 | ウェーハ装填用ガイド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629143U JPH0629143U (ja) | 1994-04-15 |
| JP2569052Y2 true JP2569052Y2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=13489198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992072434U Expired - Lifetime JP2569052Y2 (ja) | 1992-09-05 | 1992-09-05 | ウェーハ装填用ガイド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2569052Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012104580A (ja) * | 2010-11-09 | 2012-05-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハ収容カセット |
| JP6971727B2 (ja) * | 2017-09-08 | 2021-11-24 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5323279A (en) * | 1976-08-16 | 1978-03-03 | Matsushita Electronics Corp | Mutual pitch cont rol device for parallelly arrayed plate elements |
| JPS5594041U (ja) * | 1978-12-25 | 1980-06-30 | ||
| JPS5626428A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | Tool for transferring thin plate |
-
1992
- 1992-09-05 JP JP1992072434U patent/JP2569052Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629143U (ja) | 1994-04-15 |
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