JP6971727B2 - 収容カセット - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る収容カセットを図面に基いて説明する。図1は、実施形態1に係る収容カセットが用いられる加工装置の一例である切削装置を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る収容カセットが収容するウエーハの斜視図である。図3は、実施形態1に係る収容カセットの構成例を示す斜視図である。図4は、図3に示された収容カセットの分解斜視図である。図5は、図3に示された収容カセットのウエーハを出し入れする状態を示す斜視図である。
10 カセット本体
11 側壁
14 収容棚
15 開口部
20 ウエーハ挿入ガイド
22 貫通溝
24−1 端部
25 傾斜
26 切りかけ部
30 ウエーハ落下防止機構
100 ウエーハ
101 粘着テープ
102 環状フレーム
103 開口
200 切削装置(加工装置)
220 切削ユニット(加工手段)
260 カセットエレベータ(載置手段)
270 搬送ユニット(搬送手段)
Claims (3)
- 粘着テープを介して環状フレームの開口に保持されたウエーハを複数枚収容可能であり、該ウエーハを加工する加工手段と、収容カセットを載置する載置手段と、該加工手段と該載置手段に置かれた該収容カセットとの間において該ウエーハを搬送する搬送手段と、を少なくとも有する加工装置において用いられる収容カセットであって、
対向する一対の側壁の内面に該ウエーハを収容する左右で高さの揃った複数対の収容棚が形成されるとともに該収容棚に該ウエーハを出し入れする開口部を前面に有するカセット本体と、
該カセット本体の該開口部を覆うウエーハ挿入ガイドと、
を具備し、
該ウエーハ挿入ガイドは、
該複数対の収容棚の高さに対応した位置に複数個の貫通溝が形成された板状物であり、
該貫通溝は、中央部分から該環状フレームをガイドする両端部にかけて狭まる傾斜が形成され、
該搬送手段が該収容カセットに収容された該ウエーハを把持して搬出及び搬入できるように該環状フレームの先端を露出させる切りかけ部をさらに備えることを特徴とする収容カセット。 - 該ウエーハ挿入ガイドは該カセット本体に着脱可能に装着されていることを特徴とする請求項1に記載の収容カセット。
- 該ウエーハ挿入ガイドは、該ウエーハ挿入ガイドの上面から底面まで貫通する貫通孔と、該貫通孔に抜き差し可能な抜き差し部材とを含むウエーハ落下防止機構を更に備える事を特徴とする請求項1または請求項2に記載の収容カセット。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2017173115A JP6971727B2 (ja) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 収容カセット |
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JP2019050257A JP2019050257A (ja) | 2019-03-28 |
JP6971727B2 true JP6971727B2 (ja) | 2021-11-24 |
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ID=65905126
Family Applications (1)
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