JPH0629143U - ウェーハ装填用ガイド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 キャリヤーにウェーハを装填する際の装填ミ
スをなくし、ウェーハの損傷を防止するとともに、装填
作業を効率化する。 【構成】 キャリヤー本体６のウェーハ支持溝７に対応
して、案内板１にウェーハ９を挿入可能なスリット２を
設ける。スリット２間の桟は、案内板１に平行型の桟３
あるいはこれよりやや低めにくった型の桟にする。案内
板１の周側には側板４を設け、キャリヤー本体６との倣
いでスリット２とウェーハ支持溝７との位置合わせを行
う。加えて、キャリヤー本体６の上面突起に対応する凹
部を案内板１の下面に設け、突起と凹部の嵌合により、
位置合わせを確実にすることもできる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハをキャリアに移し替えるための装填用ガイドに関す るものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウェーハの製造工程においては、ウェーハをキャリアへ移しかえるため の装填作業が多い。従来、この装填方法は、ウェーハを手でキャリアの端の溝か ら順次一枚一枚立てていく、手作業が一般的であった。

【０００３】 ところで、ウェーハ装填用のキャリヤーは、例えば図６に示すように、本体６ の両則にウェーハ支持溝７を備えている。８は位置合わせ用の突起である。装填 作業を容易にするため、この支持溝７にはウェーハに対しかなりの遊びを持たせ てある。反面、この遊びによりウェーハの先側と手前側とが隣り合あった溝に入 ってしまい、ウェーハどうしが接触して、ウェーハのカケや、ワレ不良が約１５ ％もの頻度で発生していた。また正しく挿入しようとすると、作業スピードが遅 くなり、非効率的であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】

本発明は、前記のこどき欠点を解消するための補助具として、正確且つ効率的 なウェーハ装填作業を可能にするウェーハ装填用ガイドを提供することを目的と している。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成した本考案のウェーハ装填用ガイドは、キャリヤーのウェーハ 支持溝に対応して、ウェーハ挿入可能なスリットを備えた案内板と、案内板の周 側および／または下面に設けられたスリットとウェーハ支持溝との位置合わせ手 段とを備えたことを特徴としている。

【０００６】 キャリアのウェーハ支持溝に対応して設けられたスリットは、ウェーハ支持溝 と同じピッチで、ウェーハの直径より若干長く、ウェーハの厚さより若干広く、 且つまたウェーハ支持溝と同じか、それより若干広いのが望ましい。

【０００７】 案内板の周側および／または下面に設けられたスリットとウェーハ支持溝との 位置合わせ手段としては、案内板周側に側板を設け、キャリヤー本体上部との倣 いによるのが簡便であるが、側板の倣いを厳密にすると着脱しにくくなるので、 キャリヤー本体上面と案内板下面の対辺、対角または一辺上の両端などに少なく とも一対の嵌合部位を設けて位置合わせし、キャリヤーのウェーハ支持溝と案内 板スリットを正確に位置づけることもできる。また、キャリヤー上部両側にガイ ドレールのごときものを設けることもできる。側板と嵌合部位は併設しても、い ずれか一方だけでもよいが、キャリヤー本体上面の一辺には、もともと両端にウ ェーハ移しかえ時の位置合わせ用に突起を２個を備えているので、これを利用し て側板に加え、案内板下面に嵌合凹部を設け、側板で大略の位置合わせをし、嵌 合凹部で正確に位置合わせするのがもっとも望ましい。

【０００８】 本考案のウェーハ装填用ガイドの素材としては、耐薬品性の観点から、合成樹 脂、例えばポリプロピレンや、ポリテトラフルオロエチレンなどを使用する。

【０００９】 また、キャリヤーはウェーハの大きさに応じてサイズが異なるので、本考案の ウェーハ装填用ガイドも、当然それに対応して作成する。即ち、直径１５０ｍｍ ウェーハ用のキャリアに対しては、そのキャリアに合わせたガイドを、直径１２ ５ｍｍウェーハ用のキャリアに対しては、そのキャリアにあわせたガイドを用い る。

【００１０】

【作用】

キャリヤー本体上に本考案のウェーハ装填ガイドをおいて位置合わせすれば、 案内板のスリットがキャリヤー本体のウェーハ支持溝に一対一で対応するので、 このスリットからウェーハを挿入するだけで、ウェーハは隣接した支持溝に入る おそれは全くなく、確実に対応する支持溝に装填される。このため、装填時のウ ェーハどうしの接触による損傷はなくなり、併せて装填作業自体もスピードアッ プされる。

【００１１】

【実施例】

図１および図２において、案内板１は複数のウェーハ挿入用スリット２を備え ている。このスリット２の数、ピッチは、例えば図３に示すように、使用するキ ャリヤ６のウェーハ支持溝７に対応している。スリット２の長さ、幅はウェーハ ９を容易に挿入可能であればよい。すなわち、スリット２の長さはウェーハ９の 直径よりやや長めで、幅はウェーハ９の厚さよりやや大きめで、且つキャリヤ６ のウェーハ支持溝７の幅と同等か若干大きめが望ましい。各スリット２間のガイ ド桟３は、図２ｂに示すように案内板１と平行しているが、図２ｂ′に示すよう にやや低めにくった桟３Ａを設けて、装填後のウェーハ９を見えやすくすること もできる。

【００１２】 一方、案内板１の周側には、位置合わせ手段のひとつとして側板４を設けてあ る。加えて、位置合わせを確実にするために、図６のキャリヤー本体６の一方の 側の上面両端にある突起８を利用して、図２ａに示すように、これと嵌合する凹 部５を案内板１の一方の側の両端に対応して設けてある。

【００１３】 図１および図２に示すウェーハ装填用ガイドを使用するに際しては、図３に示 すようにキャリヤー本体６の上にウェーハ装填用ガイドをのせる。案内板１のス リット２とキャリヤー本体６のウェーハ支持溝７とは、側板４とキャリヤー本体 ６との倣い、およびキャリヤー本体の突起８と案内板１の凹部５との嵌合により 位置合わせされる。したがって、スリット２からウェーハ９を挿入すると、スリ ット２に対応するキャリヤー本体６のウェーハ支持溝７に確実に装填される。

【００１４】 図２ｂに示す平行型桟３を有するウェーハ装填ガイドを使用する場合は、装填 後のウェーハ９は、図４に示すように桟３に隠れて作業者から見えにくい。一方 図２ｂ′に示すくり型桟３Ａを備えたウェーハ装填ガイドを使用する場合には、 装填後のウェーハ９は、図５に示すように桟３Ａのくった部分からはみ出て、装 填の有無を確認しやすい。

【００１５】

【効果】

本考案のウェーハ装填用ガイドを使用すると、下記のごとき実用上の効果を奏 することができる。

【００１６】 （１）．キャリヤー本体６のウェーハ支持溝７に対する装填作業が簡単で、し かも確実となり、一枚のウェーハ９の先側と手前側を隣り合つウェーハ支持溝７ に装填するいわゆる斜め装填が、これまで約１５％も発生していたのに皆無とな った。

【００１７】 （２）．前記誤動作によるウェーハ９のカケ、ワレなどの損傷不良の発生も皆 無となった。

【００１８】 （３）．誤動作のおそれがないので、ウェーハ９の装填作業は大幅にスピード アップされ、併せて作業者の疲労も軽減された。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のウェーハ装填ガイドの実施の一例を示
す斜視図である。

【図２】図１のウェーハ装填ガイドを示すａは平面図、
ｂは同平行型桟の実施例の一部切り欠き断面を示す正面
図、ｂ′は同くり型桟の実施例の一部切り欠き断面を示
す正面図、ｃは同側断面図である。

【図３】図１のウェーハ装填ガイドの使用態様を示す斜
視図である。

【図４】図２ｂの平行桟を備えたウェーハ装填ガイドの
使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面図で
ある。

【図５】図２ｂ′のくり型桟を備えたウェーハ装填ガイ
ドの使用による装填後のウェーハの装填状態を示す正面
図である。

【図６】キャリヤー本体の典型的な一例を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ 案内板 ２ スリット ３ 桟 ４ 側板 ５ 凹部 ６ キャリヤー本体 ７ ウェーハ支持溝 ８ 突起 ９ ウェーハ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリヤー（６）のウェーハ支持溝
   （７）に対応して、ウェーハ（９）挿入可能なスリット
   （２）を備えた案内板（１）と、案内板（１）の周側お
   よび／または下面に設けられたスリット（２）とウェー
   ハ支持溝（７）の位置合わせ手段とを備えたウェーハ装
   填用ガイド。