JPH0142340Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、複数のウエーハを保持用治具にて保
持した状態で熱処理室に搬入し、かつ搬出するウ
エーハ搬送装置に関する。

（従来の技術） 従来、この種の装置においては、ウエーハの搬
送中に保持用治具と熱処理室の内面とが接触した
際に、接触部から塵埃が発生してチツプの歩留が
減少する場合がある。このため保持用治具と熱処
理室の内面とが接触しないように第１図および第
２図に示されるような構成の装置が一般に採用さ
れている。

すなわち、複数のウエーハＷを長手方向に収容
して保持する保持用治具１は、上部を開放したほ
ぼ半円筒状に形成されていて、下方には所要数の
脚部２が一体に設けられている。そして搬送アー
ム３の前部には保持用治具１をウエーハＷの載置
状態で下方より支持する断面円弧状で全体として
へら状をした支持部４が一体に設けられている。

この搬送アーム３は、その一端を把持するアー
ム駆動部５によつて上下方向および前後方向に適
宜駆動されることにより、支持部４上に載せられ
た保持用治具１を熱処理室６内に搬入し、かつ搬
出できるように構成されている。

具体的動作としては、支持部４上に手動または
自動的に保持用治具を載せた後、搬送アーム３を
上昇させて保持用治具１を持ち上げる。つぎに、
搬送アーム３を前方に移動させ、熱処理室６内に
位置させた時点で下降させる。その結果、保持用
治具１は熱処理室６内に載置される。そして搬送
アーム３を後方に復帰させてウエーハＷの熱処理
が行われる。

熱処理室６からの保持用治具１の搬出は、搬送
アーム３に対して上記搬入動作と逆の動作をさせ
ることにより達成される。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら、直径125mmあるいは150mm等のよ
うな高重量のウエーハの製作が行われるようにな
つてきている現在においては、上記構造の搬送ア
ーム３では保持用治具１の支持が困難になるとい
う問題が生じている。

すなわち、重量のある複数のウエーハＷが保持
された保持用治具１を上記構造の支持部で支持し
た場合、多大な荷重が支持部４の面方向に加わる
ため、この支持部４は下方にわん曲変形するか、
あるいは根元で折損してしまうという問題があ
る。

本考案は上記従来の問題点にかんがみなされた
もので、重量のある複数のウエーハＷを保持した
保持用治具を支持する場合でも、わん曲および折
損することのない搬送アームを備えた搬送装置を
提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本考案によるウエーハ搬送装置は、複数のウエ
ーハを保持する保持用治具と、これを長手方向に
受け入れて搬送する搬送アームと、この搬送アー
ムの基部を支持し、搬送アームごと保持用治具を
熱処理室に出入させるアーム駆動部とからなり、
前記保持用治具の幅方向両側に係合用突縁を外方
に向けて設け、搬送アームは前半部下方側を前記
保持用治具の全幅よりも狭い幅で軸方向に切り欠
いた筒状に形成して、この切欠きの両側部内方に
おいて前記保持用治具を支持可能としたことを特
徴とするものである。

（実施例） 以下第３図〜第１０図を参照して本考案の実施
例について詳述する。

第３図および第４図に示されるように、複数の
ウエーハＷを載置状態にて保持する保持用治具１
１は上部を開放した半円筒状をなし、その底部に
所要数の脚部１２を突設すると共に、上端両側に
つば状の突縁１３を外方に向けて一体に形成して
いる。搬送アーム１４は全体的には円筒状に形成
されているが、保持用治具１１を支持する前方部
分の底板には軸方向に沿つて保持用治具の全幅よ
りも狭い幅の切欠き１５が設けられているので、
この部分での側壁断面は下部が開放したＣ字状を
呈している。本考案の搬送アーム１４はこのよう
に保持用治具１１の支持部分が断面Ｃ字状に形成
されているので、上下方向に加わる力に対してわ
ん曲変形したり、基部で折損したりすることなく
充分に耐えられるものとなる。そして、この切欠
き１５の両側の側壁には、それぞれ内方に向かつ
て一体形成された側縁１６が設けられていて、各
側縁１６は第３図に示されるように保持用治具１
１の突縁１３を係止できるようになつている。

第５図は保持用治具１１の搬送アーム１４によ
る支持状態を横断面図で示したものであるが、こ
の支持方法としては側縁１６を図示のようにＣ字
状をした側壁の下端部に設けても、第９図に示す
ように下端部よりも上の方に設けてもよく、ある
いは第１０図に示すように、内方に向け突出する
側縁１６を設けることなく、Ｃ字状をした側壁の
下内方への屈曲に合わせて、その下端部を側縁と
して利用する方式としてもよい。後者の方式では
治具取扱い上操作が容易で、しかも高重量ウエー
ハの保持に対する強度の点で優れている。

上記搬送アーム１４は保持用治具１１を支持し
て熱処理室１７に搬入し、かつ搬出するときの移
送具であるが、この搬入、搬出動作を行うため
に、搬送アーム１４を一端で把持し、上下方向お
よび前後方向に駆動するためのアーム駆動部１８
が別に設けられている。アーム駆動部１８は、円
筒カム機構あるいは油圧機構等を採用することに
より搬送アーム１４を上下方向および前後方向に
駆動するように構成することができるが、その具
体的な構造については本考案の要旨でないため説
明を省略する。

つぎに、上記構成よりなる搬送装置の動作につ
いて、側縁１６の動きを鎖線で示した第３図を参
照して詳述する。

まず、基台１９上に載置された保持用治具１１
の後方（第３図右方）に位置している搬送アーム
１４を、その後端を把持したアーム駆動部１８に
より矢印Ａで示すように前方に移動させて、その
側縁１６を保持用治具１１の突縁１３の下方に位
置させる。そして、搬送アーム１４を矢印Ｂで示
すように上昇させると、側縁１６に突縁１３が係
止されて保持用治具１１が持ち上げられる。この
状態で搬送アーム１４を矢印Ｃで示すように、さ
らに前進させて保持用治具１１を熱処理室１７の
内部に搬入し、ついで矢印Ｄで示すように下降さ
せると、保持用治具１１は熱処理室１７内に載置
される。搬送アーム１４を矢印Ｅで示すように後
退させた後、ウエーハＷの熱処理が行われる。

熱処理終了後、ウエーハＷを保持用治具１１で
熱処理室１７から搬出するには上記の搬入時の動
作と全く逆に行えばよい。すなわち、搬送アーム
１４を前進させた後上昇することにより、側縁１
６に突縁１３を係止させて持ち上げ、つぎに搬送
アーム１４を後退させた後下降することにより、
保持用治具１１を熱処理室１７から搬出して基台
１９上に載置する。最後に、搬送アーム１４をさ
らに後退させて元の位置に戻せば、一行程の動作
が完了する。

本考案における搬送装置は搬送アーム１４の側
壁の断面を略Ｃ字状に形成して強固にしたことを
特徴の一つとするものであるが、このＣ字状の意
味はそれ程厳密なものではなく、例えば第６図に
示される搬送アーム２１のように、全体がカマボ
コ型をしていて、その切欠き１５の両側に位置す
る側壁の下端部に側縁２２を有するものや、第７
図に示される搬送アーム２３のように、全体が角
筒状をしていて同様の側壁の下端部に側縁２４を
備えたもの、あるいは第８図に示される搬送アー
ム２５のように、第４図に示した搬送アームにお
いて、先端部近辺のみを残し断面Ｃ字状の側壁の
上部にさらに開口部を設けて全体の軽量化を図つ
たものなどでもよい。

なお、上記実施例では搬送アーム１４にて搬入
された保持用治具１１を熱処理室１７内に載置し
た状態でウエーハＷの熱処理をする例を説明した
が、これに代えて搬送アーム１４にて保持用治具
１１を支持したままウエーハＷの熱処理をするこ
ともできる。

（考案の効果） 上述したように、本考案によるウエーハ搬送装
置においては、保持用治具の幅方向両側にそれぞ
れ外方に向かつて係合用突縁が設けられ、搬送ア
ームは全体が筒状をしていて基部をアーム駆動部
に支持され、前半部下方側を保持用治具の全幅よ
りも狭い幅で軸方向に切り欠いたものとし、この
切欠きの両側の側壁の断面を下方が開いたほぼＣ
字状となし、その両側部内方において保持用治具
の突縁を支持可能としたものであるため、この
搬送アームは一端だけで支持されるものでありな
がら上下方向に加わる力に対して強固な構造であ
り、大径で高重量のウエーハを多数保持した保持
用治具を支持する場合においても変形や欠損を起
こすことが全くない、加工や取扱いが困難な肉
厚のものにしなくても構造的に強固なものとなる
ので製造が極めて容易である、アーム駆動部に
よる搬送アームの保持用治具への係合が容易かつ
確実に行える等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のウエーハ搬送装置の一例を示す
側面図、第２図は第１図における保持用治具と搬
送アームとの係合状態を示す横断面図、第３図〜
第１０図は本考案の実施例に係わり、第３図はウ
エーハ搬送装置の全体を示す側面図、第４図およ
び第５図はそれぞれ第３図における保持用治具と
搬送アームとの係合状態を示す斜視図および横断
面図、第６図〜第８図はそれぞれ異なる態様の搬
送アームを示す斜視図、第９図および第１０図は
それぞれ異なる態様の保持用治具と搬送アームと
の組合せを示す横端面図である。 主要な符号の説明、１１……保持用治具、１３
……突縁、１４，２１，２３，２５……搬送アー
ム、１５……切欠き、１６，２２，２４，２６…
…側縁、１７……熱処理室、１８……アーム駆動
部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 複数のウエーハを保持する保持用治具と、これ
   を長手方向に受け入れて搬送する搬送アームと、
   この搬送アームの基部を支持し、搬送アームごと
   保持用治具を熱処理室に出入させるアーム駆動部
   とからなるウエーハ搬送装置において、前記保持
   用治具の幅方向両側に係合用突縁を外方へ向けて
   設け、搬送アームは前半部下方側を前記保持用治
   具の全幅よりも狭い幅で軸方向に切り欠いた筒状
   に形成して、この切欠きの両側部内方において前
   記保持用治具を支持可能としたことを特徴とする
   ウエーハ搬送装置。