JP2016147774A - 単結晶製造装置 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 107
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】坩堝と種結晶の少なくとも一方に、回転軸が連結されており、回転軸は、冷却水流路を有しており、冷却水流路の両端は、回転軸の外周に開口部を有し、回転軸の坩堝と反対側の端部は、チャンバの外部へ突出しており、端部の外周に、3本以上の環状パッキンを介してシールハウジングが設置されており、環状パッキンの隣り合う2本の間に、冷却水供給室と冷却水排出室が形成されており、冷却水流路の一端の開口部が、冷却水供給室に連通しており、かつ冷却水流路の他端の開口部が、冷却水排出室に連通している、単結晶製造装置。
【選択図】図1
Description
〈1〉チャンバの内部に、坩堝と種結晶を備える単結晶製造装置であって、前記坩堝と前記種結晶の少なくとも一方に、回転軸が連結されており、前記回転軸は、冷却水流路を有しており、前記冷却水流路の両端は、前記回転軸の外周に開口部を有し、前記回転軸の前記坩堝と反対側の端部は、前記チャンバの外部へ突出しており、前記端部の外周に、3本以上の環状パッキンを介してシールハウジングが設置されており、前記環状パッキンの隣り合う2本の間に、冷却水供給室と冷却水排出室が形成されており、前記冷却水流路の一端の開口部が、前記冷却水供給室に連通しており、かつ前記冷却水流路の他端の開口部が、前記冷却水排出室に連通している、単結晶製造装置。
本発明の単結晶製造装置100は、坩堝1と、種結晶2と、加熱コイル3が、チャンバ4の内部に格納されている。
種結晶回転軸10は、回転軸アウタ11aと回転軸インナ11bを備えた二重構造である。回転軸アウタ11aには軸方向に溝が設けられ、その溝と回転軸インナ11bとで、冷却水流路12が形成される。冷却水流路12の両端は、回転軸10を構成する回転軸アウタ11aの外周に開口部13a、13bを有する。
支持部材20は、ハウジングアウタ22aとハウジングインナ22bを備えた二重構造である。ハウジングインナ22bの外周には螺旋状の溝が設けられ、その溝とハウジングアウタ22aとで冷却水流路23が形成される。
坩堝回転軸50は、回転軸アウタ51aと回転軸インナ51bを備えた二重構造である。回転軸アウタ51aには軸方向に溝が設けられ、その溝と回転軸インナ51bとで、冷却水流路52が形成される。冷却水流路52の両端は、回転軸50を構成する回転軸アウタ51aの外周に開口部53a、53bを有する。
支持部材60は、ハウジングアウタ62aとハウジングインナ62bを備えた二重構造である。ハウジングインナ62bの外周には螺旋状の溝が設けられ、その溝とハウジングアウタ62aとで冷却水流路63が形成される。
2 種結晶
3 加熱コイル
4 チャンバ
5 真空ポンプ
6 真空計
7 原料溶液
10 種結晶回転軸
11a、51a 回転軸アウタ
11b、51b 回転軸インナ
12、23、52、63 冷却水流路
13a、13b、53a、53b 開口部
14、54 端部
15a、15b、15c、55a、55b、55c 環状パッキン
16、56 シールハウジング
17a、57a 冷却水供給室
17b、57b 冷却水排出室
18a、24a、58a、64a 冷却水導入口
18b、24b、58b、64b 冷却水排出口
19、59 回転シール
20、60 支持部材
21a、21b、61a、61b ベアリング
22a、62a ハウジングアウタ
22b、62b ハウジングインナ
25a、25b、65a、65b Oリング
50 坩堝回転軸
H 貫通孔
100 単結晶製造装置
Claims (1)
- チャンバの内部に、坩堝と種結晶を備える単結晶製造装置であって、
前記坩堝と前記種結晶の少なくとも一方に、回転軸が連結されており、
前記回転軸は、冷却水流路を有しており、
前記冷却水流路の両端は、前記回転軸の外周に開口部を有し、
前記回転軸の前記坩堝と反対側の端部は、前記チャンバの外部へ突出しており、
前記端部の外周に、3本以上の環状パッキンを介してシールハウジングが設置されており、
前記環状パッキンの隣り合う2本の間に、冷却水供給室と冷却水排出室が形成されており、
前記冷却水流路の一端の開口部が、前記冷却水供給室に連通しており、かつ
前記冷却水流路の他端の開口部が、前記冷却水排出室に連通している、単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015024718A JP6350324B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | 単結晶製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015024718A JP6350324B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | 単結晶製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016147774A true JP2016147774A (ja) | 2016-08-18 |
JP6350324B2 JP6350324B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=56688210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015024718A Expired - Fee Related JP6350324B2 (ja) | 2015-02-10 | 2015-02-10 | 単結晶製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6350324B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108486648A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-04 | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 | 一种多点支撑的单晶炉坩埚杆 |
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---|---|---|---|---|
KR20110107258A (ko) * | 2010-10-08 | 2011-09-30 | 박광준 | 잉곳 그로워 |
KR20120097992A (ko) * | 2011-02-28 | 2012-09-05 | 김영기 | 반도체 단결정 성장장치 |
WO2012173251A1 (ja) * | 2011-06-17 | 2012-12-20 | 住友金属工業株式会社 | SiC単結晶の製造装置及び製造方法 |
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- 2015-02-10 JP JP2015024718A patent/JP6350324B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN108486648A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-04 | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 | 一种多点支撑的单晶炉坩埚杆 |
CN108486648B (zh) * | 2018-05-31 | 2023-07-11 | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 | 一种多点支撑的单晶炉坩埚杆 |
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JP6350324B2 (ja) | 2018-07-04 |
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