JP3971355B2 - 磁性流体シール装置 - Google Patents
磁性流体シール装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3971355B2 JP3971355B2 JP2003308175A JP2003308175A JP3971355B2 JP 3971355 B2 JP3971355 B2 JP 3971355B2 JP 2003308175 A JP2003308175 A JP 2003308175A JP 2003308175 A JP2003308175 A JP 2003308175A JP 3971355 B2 JP3971355 B2 JP 3971355B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic fluid
- cooling water
- temperature
- housing
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
32 ハウジング
34 ポールピース
36 磁石
38 軸受
40 冷却水ジャケット
43 冷却水通路
54 冷却水入口
56 冷却水出口
60 止めねじ
66 冷却水
68 フランジ
70 熱電対挿入穴
Claims (2)
- 次の構成を備える磁性流体シール装置。
(ア)磁性材料で形成された回転シャフト。
(イ)前記回転シャフトを取り囲むハウジング。
(ウ)前記回転シャフトと前記ハウジングとの間に配置された複数のポールピース。
(エ)前記回転シャフトと前記ハウジングとの間に配置されて,前記ポールピースと前記回転シャフトとの間に磁気通路を形成する複数の磁石。
(オ)前記ポールピースと前記回転シャフトとの隙間に滞留する磁性流体。
(カ)前記ハウジングの外周面に取り付けられて前記ハウジングを冷却する冷媒ジャケットであって,その取り付け位置が前記回転シャフトの軸方向に変更可能となっている冷媒ジャケット。 - 請求項1に記載の磁性流体シール装置において,温度検出素子を挿入するための挿入穴が前記ハウジングに形成されていることを特徴とする磁性流体シール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003308175A JP3971355B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | 磁性流体シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003308175A JP3971355B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | 磁性流体シール装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005076758A JP2005076758A (ja) | 2005-03-24 |
JP3971355B2 true JP3971355B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=34410717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003308175A Expired - Fee Related JP3971355B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | 磁性流体シール装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3971355B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5024965B2 (ja) * | 2008-09-09 | 2012-09-12 | 株式会社リガク | 磁性流体シール装置 |
CN102927283A (zh) * | 2012-11-08 | 2013-02-13 | 浙大新剑(上海)智能技术有限公司 | 真空环境下传动输入轴的密封装置及其使用方法 |
KR101608595B1 (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-04 | 마그넥스 주식회사 | 자성 유체 씰 |
CN112963549B (zh) * | 2021-02-04 | 2021-10-08 | 西华大学 | 一种基于磁流体补偿结构的变齿磁流体密封装置 |
-
2003
- 2003-09-01 JP JP2003308175A patent/JP3971355B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005076758A (ja) | 2005-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6074696A (en) | Substrate processing method which utilizes a rotary member coupled to a substrate holder which holds a target substrate | |
JP6559347B2 (ja) | 保持装置 | |
US20090000762A1 (en) | Brush-seal and matrix for regenerative heat exchanger, and method of adjusting same | |
KR20000023849A (ko) | 알 티 피 챔버용 자기 부양 로터 시스템 | |
TW201529255A (zh) | 產業用機器人 | |
TWI755634B (zh) | 旋轉組合及工件加工系統 | |
US10704693B2 (en) | Cryogenic ferrofluid sealed rotary union | |
JP2008106891A (ja) | 転がり軸受の予圧調整方法およびその装置 | |
JP3971355B2 (ja) | 磁性流体シール装置 | |
US20030221626A1 (en) | Shaft cooling mechanisms | |
KR20180063274A (ko) | 자성 유체 시일 | |
JP2007258573A (ja) | 磁性流体シール装置 | |
KR20150106546A (ko) | 종형 열처리 장치 | |
KR102699836B1 (ko) | 극저온 열 전달 시스템 및 이온 주입 시스템 | |
JP2006207825A (ja) | 熱媒通流ローラ | |
JP5922534B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP3981282B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH10100041A (ja) | 送りネジ装置 | |
JP6350324B2 (ja) | 単結晶製造装置 | |
JP2001004064A (ja) | 圧力調整弁およびこれを備えた半導体製造装置 | |
JP2010116627A (ja) | 半導体製造装置及び弁装置並びに半導体製造装置を用いたcvd処理方法及び半導体の製造方法 | |
JP6350323B2 (ja) | 単結晶製造装置 | |
KR0119248Y1 (ko) | 진공장비의 오-링 냉각장치 | |
KR20010046221A (ko) | 저압 화학 기상 증착용 수평로의 플랜지 냉각 장치 | |
JP2010098164A (ja) | 処理装置及び半導体製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070607 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |