KR0119248Y1 - 진공장비의 오-링 냉각장치 - Google Patents

진공장비의 오-링 냉각장치

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KR0119248Y1
KR0119248Y1 KR2019910023232U KR910023232U KR0119248Y1 KR 0119248 Y1 KR0119248 Y1 KR 0119248Y1 KR 2019910023232 U KR2019910023232 U KR 2019910023232U KR 910023232 U KR910023232 U KR 910023232U KR 0119248 Y1 KR0119248 Y1 KR 0119248Y1
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하계수
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문정환
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Abstract

본고안은 진공 장비의 내부 기밀을 유지하기 위해 설치되는 오-링이 챔버 내부의 고온에 의해 녹는 현상을 방지하기 위한것으로서, 좀더 구체적으로는 고온으로부터 과열된 오-링을 냉각시킬 수 있도록 한 것이다.
이를위해, 본고안은 연결부위에 설치되는 오-링(4)의 배면에 냉각홈(6)을 형성하고 냉각홈(6)에는 온도계(8)와 플로우메타(9) 그리고 유량조절계(10) 및 밸브(11)가 설치된 이송관(12)을 연결하여 공급된 냉각제가 냉각홈(6)을 거치면서 오-링(4)을 냉각시킬수 있도록 하여서된 것이다.

Description

진공장비의 오-링 냉각장치
제1도는 종래의 진공챔버를 나타낸 종단면도
제2도는 본고안 장치의 종단면도
제3도는 제2도의 A-A선 단면도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
4:오-링 6:냉각홈
8:온도계 9:플로우메타
10:유량조절계 11:밸브
12:이송관
본고안은 진공장비의 내부 기밀을 유지하기 위해 설치되는 오-링이 챔버 내부의 고온에 의해 녹는 현상을 방지하기 위한 것으로서, 좀더 구체적으로는 고온으로부터 과열된 오-링을 냉각시킬수 있도록 한 것이다.
종래의 진공장비는 제1도와 같은 형태로서, 플랜지(1)와 챔버(2) 그리고 플랜지(1)와 캡(3)사이등을 밀봉시키기 위해 오-링(4)을 사용하여 챔버(2)내에서 주입가스에 의해 웨이퍼상에 도포를 실시할 때 반응 가스가 챔버(2)의 외부로 누설되는 것을 방지하게 된다.
그러나 이러한 종래의 진공 장비에서는 히터코일(5)에 의해 챔버(2)가 600도 이상으로 가열될 때 오-링(4)이 과열로 인해 녹는 현상이 발생되므로 인해 접속부에서 누설이 발생되었음으로 오-링(4)의 잦은 교체 작업이 필요하게 되는 문제점이 있었다.
본고안은 종래의 이와같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 과열된 오-링을 냉각시킬수 있도록 하여 오-링을 자주 교체하지 않고도 챔버내를 진공상태를 유지시킬수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본고안의 형태에 따르면, 연결부위에 설치되는 오-링의 배면에 냉각홈을 형성하고 냉각홈에는 온도계와 플로우메타 그리고 유량조절계 및 밸브가 설치된 이송관을 연결하여 공급된 냉각제가 냉각홈을 거치면서 오-링을 냉각시킬수 있도록 하여서 된 진공장비의 오-링 냉각 장치가 제공된다.
이하, 본고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부도면 제2도는 본고안 장치의 종단면도이고 제3도는 제2도의 A-A선 단면도로서. 챔버(2)와 플랜지(1) 그리고 캡(3)의 연결부위에 설치되는 오-링(4)의 배면에 냉각홈(6)이 형성되어 있고 상기 냉각홈(6)에는 냉각제(물 또는 N2)(7)의 온도를 측정하기 위한 온도계(8)와 이송량을 감지하기 위한 플로우메타(9) 그리고 양을 조절하기 위한 유량조절계(10) 및 이송을 제어하기 위한 밸브(11)가 설치된 이송관(12)이 연결되어 있다.
따라서 밸브(11)를 개방시킨 상태에서 물 또는 질소(N2)등과 같은 냉각제를 이송관(12)으로 공급시키면 냉각제가 유량 조절계(10)와 플로우메타(9) 그리고 온도계(8)를 거쳐 냉각홈(6)내로 유입되어 오-링(4)의 배면을 냉각시키게 되므로 오-링(4)이 과열되는 것을 방지시킬수 있게 되는데, 이때 유량조절계(10)와 온도계(8)를 통해 냉각제의 공급량과 온도를 제어하게 되는 것이다.
이에 따라 챔버(2)내의 고온에 의해 오-링(4)이 녹는 것을 방지할수 있게 되어 오-링의 교체 작업에 따른 시간을 절약할수 있게 되므로 장비 가동율을 향상시킬수 있게 되는 효과를 가지게 된다.

Claims (1)

  1. 연결부위에 설치되는 오-링(4)의 배면에 냉각홈(6)을 형성하고 냉각홈(6)에는 온도계(8)와 플로우메타(9) 그리고 유량조절계(10) 및 밸브(11)가 설치된 이송관(12)을 연결하여 공급된 냉각제가 냉각홈(6)을 거치면서 오-링(4)을 냉각시킬 수 있도록 하여서된 진공 장비의 오-링 냉각장치.
KR2019910023232U 1991-12-21 1991-12-21 진공장비의 오-링 냉각장치 KR0119248Y1 (ko)

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