JP2005076758A - 磁性流体シール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転シャフト30とハウジング32の間にポールピース34と磁石36が配置され,ポールピース34と回転シャフト30との隙間に磁性流体が滞留している。ハウジング32の外周面には冷却水ジャケット40が取り付けられる。冷却水ジャケット40の取り付け位置は,回転シャフト30の軸方向に変更可能である。取り付け位置を変更することで,シール部の温度を所望の値に維持することができる。
【選択図】図1
Description
32 ハウジング
34 ポールピース
36 磁石
38 軸受
40 冷却水ジャケット
43 冷却水通路
54 冷却水入口
56 冷却水出口
60 止めねじ
66 冷却水
68 フランジ
70 熱電対挿入穴
Claims (2)
- 次の構成を備える磁性流体シール装置。
(ア)磁性材料で形成された回転シャフト。
(イ)前記回転シャフトを取り囲むハウジング。
(ウ)前記回転シャフトと前記ハウジングとの間に配置された複数のポールピース。
(エ)前記回転シャフトと前記ハウジングとの間に配置されて,前記ポールピースと前記回転シャフトとの間に磁気通路を形成する複数の磁石。
(オ)前記ポールピースと前記回転シャフトとの隙間に滞留する磁性流体。
(カ)前記ハウジングの外周面に取り付けられて前記ハウジングを冷却する冷媒ジャケットであって,その取り付け位置が前記回転シャフトの軸方向に変更可能となっている冷媒ジャケット。 - 請求項1に記載の磁性流体シール装置において,温度検出素子を挿入するための挿入穴が前記ハウジングに形成されていることを特徴とする磁性流体シール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003308175A JP3971355B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | 磁性流体シール装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003308175A JP3971355B2 (ja) | 2003-09-01 | 2003-09-01 | 磁性流体シール装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010065736A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Rigaku Corp | 磁性流体シール装置 |
CN102927283A (zh) * | 2012-11-08 | 2013-02-13 | 浙大新剑(上海)智能技术有限公司 | 真空环境下传动输入轴的密封装置及其使用方法 |
KR101608595B1 (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-04 | 마그넥스 주식회사 | 자성 유체 씰 |
CN112963549A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 西华大学 | 一种基于磁流体补偿结构的变齿磁流体密封装置 |
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2003
- 2003-09-01 JP JP2003308175A patent/JP3971355B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN112963549A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 西华大学 | 一种基于磁流体补偿结构的变齿磁流体密封装置 |
CN112963549B (zh) * | 2021-02-04 | 2021-10-08 | 西华大学 | 一种基于磁流体补偿结构的变齿磁流体密封装置 |
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JP3971355B2 (ja) | 2007-09-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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