JP2017531142A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 第１の端部及び第２の端部を有するアセンブリであって、前記第２の端部がプロセス側ガスの漏れを防止するように構成されたアセンブリと、
前記第１の端部において前記アセンブリに入る回転シャフトと、
複数のプレナムを覆って配置される少なくとも１つの多孔質媒体要素を備える、外部加圧されたスラストベアリングであって、前記回転シャフトを支え、前記プロセス側ガスを前記第１の端部にて前記アセンブリ内にシールするように構成された外部加圧されたスラストベアリングと
を備える回転装置。 - 前記アセンブリの前記第２の端部に蓋がかぶせられている、請求項１に記載の回転装置。
- 前記外部加圧されたスラストベアリングが、ベントレスシールである、請求項１に記載の回転装置。
- 追加のシャフトシールを必要としない、請求項１に記載の回転装置。
- ラジアルベアリングを更に備え、前記ラジアルベアリングが外部加圧されたガスベアリングである、請求項１に記載の回転装置。
- 第１の端部及び第２の端部を有するアセンブリであって、前記第２の端部がプロセス側ガスの漏れを防止するように構成されたアセンブリと、
前記第１の端部において前記アセンブリに入る回転シャフトと、
前記回転シャフトを支え、前記プロセス側ガスを前記第１の端部にて前記アセンブリ内にシールするように構成された外部加圧されたスラストベアリングと、を備え、
前記外部加圧されたスラストベアリングが、バランスピストンとして働くように構成され、
前記外部加圧されたスラストベアリングが、複数のプレナムを覆って配置される４つの多孔質媒体リングを更に備え、加圧されたガスを、インプットポートを介して前記複数のプレナムに導く伝導経路を有し、また、４つのベント孔を更に備え、その結果、処理済みのプロセスガスが前記コンプレッサーから漏れない、
回転装置。 - インプットポートにおけるインプットガスの圧力を調整することによって、圧力がシール面全体で平衡することができる、請求項６に記載の回転装置。
- スラスト荷重を平衡させるために、処理済みプロセスガス又は不活性ガスを前記インプットポートに導入することができる、請求項６に記載の回転装置。
- 前記４つの多孔質媒体リングは、グラファイト、カーボン、シリコンカーバイド、多孔質ダイヤモンド、タングステンカーバイド、アルミナ、カーボン−カーボン、ダイヤモンド又はダイヤモンドに類似するコーティングを施した多孔質カーボン基材等の任意の多孔質又は焼結材料で作ることができるか、又は３Ｄプリントを使用して製造できる、請求項６に記載の回転装置。
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