JPWO2014142265A1 - メカニカルシール装置 - Google Patents

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Abstract

装置本体に取り付けられるシールケース30と、回転軸100に取り付けられる回転用密封環60と、回転用密封環60に対して軸方向に対向して配置される固定用密封環50と、固定用密封環50とシールケース30との間に軸方向伸縮可能に取り付けられるベローズ40と、を有するメカニカルシール装置1である。シールケース30には、ベローズ40の内周面側の静圧流体室Cに、静圧流体を供給する静圧流体供給孔56が形成してあり、固定用密封環50には、静圧流体室Cの静圧流体を、固定用密封環50と回転用密封環60との間のシール面に導く連通孔を形成してある。ベローズ40の外周面側に密封流体を配置してある。【選択図】 図1

Description

本発明は、メカニカルシール装置に関する。
従来、メカニカルシール装置において、機内に密封される密封流体を機外に漏洩させることを阻止する静圧型のメカニカルシール装置が知られている。この静圧型メカニカルシール装置では、シール面に密封流体よりも高圧のパージガスを供給することにより、当該パージガスを機内側および機外側に漏洩させて、密封流体が機外に漏洩することを防止している。
しかしながら、従来の静圧型メカニカルシール装置では、機内側の圧力変動により、機内圧力とパージガス圧力のバランスが崩れて、摺動面間の隙間を適切に保持することが困難な場合があった。たとえば、機内圧力が所定の圧力よりも大きくなると、摺動面間の隙間が必要以上に開いてしまい、密封流体が機外側に漏洩するおそれがあった。また、機内圧力が所定の圧力よりも小さくなると、摺動面が接触してしまい、摺動面が損傷してしまうおそれがあった。
このような問題を解決するために、たとえば、特許文献1に示すメカニカルシール装置が提案されている。特許文献1のメカニカルシール装置では、機内領域と固定用密封環の背面領域とを連通する背圧導入路を形成している。しかしながら、特許文献1等の従来のメカニカルシール装置では、固定用密封環とシールケースとの間に複数のOリングを配置する必要性があり、固定用密封環の軸方向追随速度を低下させる(追随性が低下する)問題があった。
また、特許文献1等の従来のメカニカルシール装置では、細長く形成された背圧導入路に詰まりが発生し、固定用密封環の背面に密封流体の圧力を作用させることができなくなってしまう問題があった。さらに、固定用密封環の背面領域に配置される作動用Oリング、スプリング等に密封流体の成分が固着してしまうことにより、固定用密封環の軸方向追随性を低下させてしまう問題があった。
WO99−27281号公報
本発明は、このような問題に鑑みてなされ、その目的は密封流体を好適にシールすることができるメカニカルシール装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明に係るメカニカルシール装置は、
装置本体と回転軸との間隙で装置内部の密封流体をシールするメカニカルシール装置であって、
前記装置本体に取り付けられるシールケースと、
前記回転軸に取り付けられる回転用密封環と、
前記回転用密封環に対して軸方向に対向して配置される固定用密封環と、
前記固定用密封環と前記シールケースとの間に軸方向伸縮可能に取り付けられるベローズと、を有し、
前記シールケースには、前記ベローズの内周面側の静圧流体室に、静圧流体を供給する静圧流体供給孔を形成してあり、
前記固定用密封環には、前記静圧流体室の静圧流体を、前記固定用密封環と前記回転用密封環との間のシール面に導く連通孔を形成してあり、
前記ベローズの外周面側に前記密封流体を配置してあることを特徴とする。
上記の構成のメカニカルシール装置によれば、ベローズの外周面に密封流体の圧力を作用させているので、固形成分を含む密封流体をシールする場合であっても、好適にシール性能を発揮することができる。
さらに、本発明のメカニカルシール装置では、ベローズの外周面に密封流体の圧力を作用させてベローズがシール機能を発揮するとともに押圧力を付与しているので、密封流体に接触するOリングやバネ等の構成を省略することができる。さらに、本発明では、固定用密封環を軸方向にスムーズに移動させて、好適なシール性能を発揮することができる。しかも、ベローズは軸方向に伸縮可能であり且つ径方向にも変形可能なので、ベローズに取り付けられる固定用密封環は装置の振動等を吸収することができ、好適なシール性能を発揮することができる。
さらに、本発明のメカニカルシール装置では、ベローズの外周面側に密封流体を配置してあるので、ベローズの内周面側での設計自由度が大幅に改善されている。すなわち、腐食性の密封流体や固形成分を含む密封流体をシールする場合であっても、ベローズの内周面側では密封流体に接触しないので、ベローズの内周側に配置する部材の材質を自由に選択できる。
好適には、前記ベローズの内周面側で前記シールケースと前記固定用密封環との間に配置され、前記固定用密封環を軸方向に移動可能に保持し、前記静圧流体室を大気側空間から密封するシール部材をメカニカルシール装置がさらに有する。
上記の構成のメカニカルシール装置では、ベローズの内周面側にシール部材を配置してあるので、シール部材には密封流体が接触しない。このため、シール部材の材質の選択肢が広がり、しかも、密封流体が接触することによるシール部材の劣化のおそれも解消されている。
また、好適には、前記固定用密封環には前記連通孔に連続する環状溝を形成してある。連通孔に連続する環状溝は、固定用密封環と回転用密封環との間のシール面全面に静圧流体を導くので、シール面全体に好適に静圧を作用させることができる。
好適には、前記環状溝の外径は、前記ベローズの圧力作用径と略等しくなるように形成してある。上記のように環状溝を形成することにより、環状溝の幅を調整するのみで、固定用密封環に作用する押圧力を調整することができる。
好適には、前記シール部材よりも大気側に配置され、前記固定用密封環を前記回転用密封環側に押圧する弾性部材をメカニカルシール装置がさらに有する。弾性部材をシール部材よりも大気側に配置することで、弾性部材は密封流体および静圧用流体に接触しない。その結果、弾性部材の材質の選択肢が広がり、しかも、密封流体および静圧流体が接触することによる弾性部材の劣化のおそれも解消されている。
また、好適には、前記環状溝の内径は、前記シール部材の前記固定用密封環に対する接触径と略等しくなるように形成してある。上記のように環状溝を形成することにより、環状溝の幅を調整するのみで、固定用密封環に作用する押圧力を調整することができる。
前記固定用密封環を前記回転用密封環側に押圧する弾性部材を前記静圧流体室の内部に配置してもよい。弾性部材を静圧流体室の内部に配置することで、静圧流体圧室内の静圧流体の圧力が、弾性部材が押圧している固定用密封環の背面にも作用する。そのため、静圧流体による固定用密封環の回転用密封環に対する押し付け力を大きくすることが可能になる。回転用密封環に対する固定用密封環の押し付け力を大きくしたい要請がある場合に、このような構成が特に有効である。
また、好適には、前記回転用密封環のシール面に動圧発生溝が形成してある。動圧発生溝は、回転用密封環が回転したときに動圧を発生するとともに、シール面の全体に静圧流体を導き、シール面全体に好適に静圧を作用させることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係るメカニカルシール装置の断面図である。 図2は、図1に示す断面図の要部を説明する図である。 図3は、図1および図2に示す回転用密封環の正面図である。 図4は、図1および図2に示す固定用密封環の正面図である。 図5は、本発明の他の実施形態に係るメカニカルシール装置の半断面図である。
第1実施形態
本実施形態に係るメカニカルシール装置1は、一般産業用の攪拌機、ブロワやコンプレッサ等の装置に装着されるシール装置であり、特に、食品、医療品、化学物質の製造用途に使用される。
メカニカルシール装置1は、図1および図2に示すように、密封面に対して径方向外側に密封流体を配置するインサイド型に構成されており、回転軸100とスタッフィングボックス80との間隙で、機内B側の密封流体をシールする。なお、図1および図2においては、軸方向左側が機外Aであり、軸方向右側が機内Bである。
スタッフィングボックス80には軸孔82が形成されており、不図示の軸受けにより回転可能に支持される回転軸100が貫通している。軸孔82の径方向内側には、回転用密封環60を配置してある。回転用密封環60は、スペーサ75により軸方向に位置決めされた状態で、回転軸100に取り付けられる。スペーサ75は、回転軸100の径方向段差部102と回転用密封環60との間に配置され、回転用密封環60の軸方向位置決めを行う。スペーサ75は、SUSやエンジニアリングプラスチック等の強度に優れる材質で構成される。
回転用密封環60の軸方向機内B側には、フリンジャー70およびスリーブ76が配置してある。スリーブ76は、フリンジャー70を介して、回転用密封環60を軸方向に固定している。
フリンジャー70は、スリーブ76と回転用密封環60との間に配置され、スタッフィングボックス80の軸孔82と回転用密封環60の外周面との間に、機内B側から密封流体の固形成分が侵入することを防止している。すなわち、フリンジャー70の外周側には、軸方向機外A側に延びる円筒部71を形成してあり、当該円筒部71は、スタッフィングボックス80から軸方向機内B側に突出する突出部86を覆っている。さらに、フリンジャー70は、回転軸100とともに回転することにより、遠心力によって密封流体およびそれに含まれる固形成分を径方向外側に誘導している。したがって、スタッフィングボックス80の軸孔82と回転用密封環60の外周面との間への密封流体の固形成分の侵入が防止されている。
フリンジャー70の回転用密封環60側内周面はテーパ状に形成してあり、そこにOリング128を配置してある。Oリング128は、回転用密封環60と回転軸100との間から密封流体が漏洩することを防止する。
回転用密封環60は、機外A側に固定用密封環50のシール面55に対向するシール面62を有する。図3に示すように、シール面62には、動圧発生溝64を形成してある。動圧発生溝64は、正回転R1用の第1溝64Aと逆回転R2用の第2溝64Bとを有する。第1溝64Aと第2溝64Bとは径方向に対称に配置されており、第1溝64Aと第2溝64Bとが一対になって周方向に等間隔に多数個形成してある。動圧発生溝64は、回転用密封環60が回転軸100とともに回転することにより動圧を発生する。
図1に示すように、回転用密封環60の軸方向機外A側には、シールハウジング10、アダプタ20、シールケース30、ベローズ40、固定用密封環50等を配置してある。シールハウジング10は、スタッフィングボックス80に取り付けられている。すなわち、シールハウジング10の取付け用溝(不図示)を、スタッフィングボックス80の外面84に設けられる埋め込みボルト(不図示)に通過させて、ナット(不図示)で締め付けることより、シールハウジング10がスタッフィングボックス80に取り付けられる。シールハウジング10とスタッフィングボックス80との間には、Oリング120を配置してあり、シールハウジング10とスタッフィングボックス80との間から密封流体が漏洩するのを防止している。
シールハウジング10の内周面12には、軸方向機内B側の端面14側に、取り付け溝16を形成してあり、当該取り付け溝16にアダプタ20およびシールケース30を取り付けてある。アダプタ20およびシールケース30が、取り付け溝16に収容されているので、メカニカルシール装置1を軸方向および径方向に小型化することができる。
シールハウジング10に取り付けられるアダプタ20は、軸方向機内B側に延びる突出部22を有し、突出部22よりも径方向外側でシールケース30に組み付けられる。アダプタ20とシールケース30とは、締結部材130で固定されている。突出部22の先端とシールケース30の内周面段差部との間は、Oリング122(シール部材)を収容する収容部を構成している。なお、アダプタ20とシールケース30とは一体的に形成されてもよい。アダプタ20は、シールケース30と別体であっても、本実施形態においては、シールケース30の一部として取り扱われる。
シールケース30の軸方向機内B側の段外径端部32には、ベローズ40の一端が取り付けられており、ベローズ40の他端は固定用密封環50の外径端部51に取り付けられている。ベローズ40は、スタッフィングボックス80の軸孔82の内側に配置されており、ベローズ40の外周面側には密封流体が配置されている。ベローズ40は、軸方向に伸縮可能であり且つ径方向にも変形可能である。このため、ベローズ40に取り付けられる固定用密封環50は、装置の振動等を吸収することができるので、メカニカルシール装置1は、好適なシール性能を発揮することができる。また、シール要素として、ベローズ40を用いているため、Oリング等を使用する場合と比較して、メカニカルシール装置1を軸方向および径方向に小型化することができる。
固定用密封環50の内周側には、ベローズ40の内周側で軸方向機外A側に延びる円筒部52を形成してある。円筒部52の外周面とシールケース30の内周段差部との間にはOリング122を配置してあり、Oリング122とシールケース30とベローズ40と固定用密封環50との間に静圧流体室Cが形成される。Oリング122は、機外Aに対応する大気側空間から静圧流体室Cを密封するようになっている。
静圧流体室Cには、静圧流体供給孔34から静圧流体としてのパージガス(たとえば、窒素ガス)が供給される。静圧流体供給孔34から供給される静圧流体は、メカニカルシール装置1の使用用途に応じて適宜選択されることができる。たとえば、静圧流体は、水等の液体であってもよい。
Oリング122は、固定用密封環50の円筒部52の外周面とシールケース30との間をシールするとともに、固定用密封環50を軸方向に移動可能に保持している。固定用密封環50が軸方向に移動する際に、1個のOリング122の摺動抵抗が作用するのみの構成なので、固定用密封環50を軸方向にスムーズに移動させることができる。
また、Oリング122は、ベローズ40の内周面側に配置してあるので、密封流体から隔離されている。このため、シールする密封流体に拘わらずにOリング122の材質を選択することができる。しかも、Oリング122に密封流体が接触することによる劣化のおそれも解消されている。その結果、本発明では、固定用密封環50を軸方向にスムーズに移動させて、好適なシール性能を発揮することができる。
円筒部52のOリング122よりも大気側には、案内溝53およびバネ座54が形成されている。案内溝53には、アダプタ20に埋め込まれた固定ピン24を挿入してあり、固定ピン24と案内溝53とは、軸方向に相対移動可能な状態、周方向には係止された状態になっている。これにより固定用密封環50は、シールカバー30に対して、軸方向には移動自在であり、周方向(回転軸100の回転方向)には回転不能に設置されている。
バネ座54は周方向に複数個設けられており、アダプタ20の対向面との間に複数のコイルスプリング140を保持する。コイルスプリング140は、固定用密封環50を回転用密封環60側に押圧する押圧力を付与する。
本実施形態では、固定ピン24およびコイルスプリング140をOリング122よりも大気側に配置してある。Oリング122よりも大気側では、固定ピン24およびコイルスプリング140が、密封流体および静圧用流体に接触しないので、これらの部材の材質の選択肢が広がる。しかも、固定ピン24およびコイルスプリング140が、密封流体および静圧流体に接触しないので、これらの部材が劣化するおそれも解消されている。その結果、固定用密封環50を軸方向にスムーズに移動させて、好適にシール性能を発揮することができる。なお、上記のOリング122とコイルスプリング140との構成は、ベローズに置き換えることも可能である。
シールケース30には、静圧流体供給孔34を形成してある。静圧流体供給孔34は、シールケース30の外周端面から、ベローズ40の内周側の静圧流体室Cまで連通している。シールケース30の外周端面には、静圧流体供給孔34の両側にOリング124,126を配置してあり、シールケース30とシールカバー10との間を密封している。シールカバー10の外方には、不図示のパージガス供給装置を接続してあり、パージガス供給装置から供給されるパージガスは、シールカバー10のガス流路18、シールケース30の静圧流体供給孔34を通じて静圧流体室Cに供給される。
固定用密封環50には、静圧流体室C側から軸方向機内B側に貫通する連通孔56を形成してあり、静圧流体室Cに導かれたパージガスは、固定用密封環50の連通孔56を通ってシール面55側に導かれる。図4に示すように、固定用密封環50のシール面55には連通孔56に連続する環状溝57が形成されており、静圧流体室Cに導かれたパージガスは、固定用密封環50の連通孔56を通り、シール面55側の環状溝57に導かれる。なお、連通孔56は、環状溝57の周方向に沿って複数個形成してある。連通孔56に連続する環状溝57は、固定用密封環50と回転用密封環60との間の相対摺動面全面に静圧流体を導くので、相対摺動面に好適に静圧を作用させることができる。さらに、固定用密封環50のシール面55に対向する回転用密封環60のシール面62には動圧発生溝64が形成されており、この動圧発生溝64により、相対摺動面の全体に静圧が発生する。
パージガスは密封流体よりも高い圧力で供給されており、環状溝57に導かれたパージガスは、シール面55とシール面62との間の相対摺動面を非接触にするように静圧を発生させる。なお、この相対摺動面に導かれたパージガスは、機内B側および/または機外A側に漏洩させてもよい。機内B側に漏洩されるパージガスは、フリンジャー70の外周側から排出されるので、機内B側からスタッフィングボックス80の軸孔82側には、密封流体が入り込まないような構成になっている。このため、シール面55とシール面62との間の相対摺動面およびベローズ40の外周面に、密封流体の固形成分が固着するおそれが解消されており、好適にシール性能を発揮することができる。
なお、本実施形態では、固定用密封環50および回転用密封環60は、炭化ケイ素(SiC)、カーボン、超硬合金等の材質で構成される。また、Oリング120〜128の材質は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、EPDM、パーフロロエラストマなどが用いられる。
図2に示すように、本実施形態のメカニカルシール装置1では、固定用密封環50の環状溝57の内径dobを、Oリング122の円筒部52に対する接触径do(バランス径)の近傍に形成してある。さらに、固定用密封環50の環状溝57の外径dbbを、ベローズ40の圧力作用径db(ベローズの外周径と内周径との平均径)の近傍に形成してある。環状溝57の内径dobおよび外径dbbをこのように構成することにより、以下に説明するように、固定用密封環50に作用する押圧力を自在に調整することができる。
たとえば、環状溝57の内径dobと外径dbbとが、以下の関係を満たすように形成されているとする。
(環状溝57の内径)dob=do(Oリング122の円筒部52に対する接触径)
(環状溝57の外径)dbb=db(ベローズ40の圧力作用径)
この場合には、ガスパージ圧力P2>密封流体圧力P1の関係を保っていれば、回転用密封環60の回転により発生する動圧Fdと、ベローズ40の外周側から作用する密封流体圧力P1により発生する押し付け力Fp1と、スプリングの弾性付勢力Fsと、ベローズの弾性付勢力Fbとの関係を下記の数式1に示すように考慮するだけでよく、メカニカルシール装置1の設計を単純化できる。
Ftc=Fp1+Fs+Fb<Fd・・・(数式1)
たとえば、固定用密封環50の回転用密封環60への押圧力を大きくしたい場合には、Ftc<Fdの関係を保ちながら、「dob=do、dbb=db」の場合よりも、環状溝57の内外径の幅(スパン)を小さくするのみでよい。
また、固定用密封環50の回転用密封環60への押圧力を小さくしたい場合には、Ftc<Fdの関係を保ちながら、「dob=do、dbb=db」の場合よりも、環状溝57の内外径の幅を大きくするのみでよい。
上記のように構成するメカニカルシール装置1では、ベローズ40がシール機能を発揮するとともに固定用密封環50への押圧力を付与している。このため、本実施形態におけるメカニカルシール装置1では、Oリングやバネ等の構成を大幅に省略することができる。しかも、固定用密封環50が軸方向に移動する際の摺動抵抗が大幅に低減されているので、固定用密封環50を軸方向にスムーズに移動させて、好適にシール性能を発揮することができる。さらに、メカニカルシール装置1は、構造がシンプルであり、軸方向および径方向に小型化されている。
また、ベローズ40の内周側に配置されるOリング122およびコイルスプリング140等の部材は、密封流体に接触することがないので、腐食性の流体や固形成分を含む流体をシールする場合であっても、これらの部材が劣化することなく、好適にシール機能を発揮することができる。さらに、ベローズ40の外周側には、密封流体の固形成分が侵入しないように構成されているので、ベローズ40には密封流体の固形成分が固着しない。したがって、ベローズ40は、固定用密封環50に好適に押圧力を付与することができるので、メカニカルシール装置1は好適にシール性能を発揮することができる。
第2実施形態
図5に示すように、本実施形態に係るメカニカルシール装置1aは、図1〜図4に示す第1実施形態のメカニカルシール装置1の変形例であり、以下に示す以外は、第1実施形態と同様な構成を有し、同様な作用効果を奏する。第1実施形態と共通する構成については、図面において、類似の符号を用い、重複する部分の説明は省略する。
この実施形態では、静圧流体室Cの内部に、弾性部材としてのコイルスプリング140aが円周方向に断続的に複数配置される構造になっている。このような構造を実現するために、この実施形態では、アダプタ20の半径方向内方端部に、回転用密封環60の方向に延びる円筒状突出部26を一体的に形成してある。円筒状突出部26の先端部外周には、静止用密封環50の円筒部52aが軸方向移動自在に装着してある。
円筒部52aの内周面には、Oリング溝が形成してあり、そのOリング溝にOリング122a(シール部材)が装着してあり、静止用密封環50の円筒部52aの内周面とアダプタ20の円筒状突出部26の外周面との間で弾性変形し、機外Aに対応する大気側空間から静圧流体室Cを密封するようになっている。
円筒部52aの背面側後端58(回転用密封環60と反対側の端部)には、円周方向に断続的に複数配置してあるコイルスプリング140aの先端が当接してある。各コイルスプリング140aの後端は、円筒状突出部26の半径方向外側で周方向に沿って断続的に形成してある円柱状穴のバネ座26の内部にそれぞれ収容してある。各コイルスプリング140aは、静止用密封環50を回転用密封環60に向けて押し付けるようにバネ力が発生する。なお、円周方向に断続的に配置してあるバネ座26の相互間には、静止用密封環50がアダプタ20に対して相対的に回転することを防止する回り止め用ピンが配置してあっても良い。
また、アダプタ20とシールケース30との間の密封性を確保するために、アダプタ20の外周側突出部22aの外周には、Oリング溝が形成してあり、そこにOリング122bが装着してある。Oリング122bは、Oリング122aと共に、静圧流体室Cの内部を大気側空間から密封するためのシール部材であるが、アダプタ20がシールケース30と一体に成形される場合には不要となる。
本実施形態では、回転用密封環60のシール面に形成してある動圧発生溝64aの形状やパターンは、第1実施形態の動圧発生溝64の形状やパターンと異なっていても同じであっても良い。また、本実施形態においても、図4に示すような環状溝57を静止用密封環50のシール面55に形成することが好ましいが、必ずしも形成しなくても良い。
本実施形態では、弾性部材としてのコイルスプリング140aが静圧流体室Cの内部に配置してある。このため、静圧流体圧室C内の静圧流体の圧力が、固定用密封環50の背面側後端58にも作用する。そのため、静圧流体による固定用密封環50の回転用密封環60に対する押し付け力を大きくすることが可能になる。回転用密封環60に対する固定用密封環50の押し付け力を大きくしたい要請がある場合に、このような本実施形態の構成が特に有効である。
なお、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって本発明を何ら限定するものではない。実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含み、また任意好適な種々の改変が可能である。
本発明は、たとえば、一般産業用ポンプ等に利用することができる。その他、回転軸を有する任意の装置において、その回転軸の軸封装置として利用することができる。
10・・・シールハウジング
20・・・アダプタ
30・・・シールケース
40・・・ベローズ
50・・・固定用密封環
56・・・連通孔
60・・・回転用密封環
64,64a・・・動圧発生溝
80・・・スタッフィングボックス
100・・・回転軸
122,122a,122b・・・Oリング
A・・・機外
B・・・機内
C・・・静圧流体室
dob・・・環状溝の内径
do・・・Oリングの接触径
dbb・・・環状溝の外径
db・・・ベローズの圧力作用径

Claims (8)

  1. 装置本体と回転軸との間隙で装置内部の密封流体をシールするメカニカルシール装置であって、
    前記装置本体に取り付けられるシールケースと、
    前記回転軸に取り付けられる回転用密封環と、
    前記回転用密封環に対して軸方向に対向して配置される固定用密封環と、
    前記固定用密封環と前記シールケースとの間に軸方向伸縮可能に取り付けられるベローズと、を有し、
    前記シールケースには、前記ベローズの内周面側の静圧流体室に、静圧流体を供給する静圧流体供給孔を形成してあり、
    前記固定用密封環には、前記静圧流体室の静圧流体を、前記固定用密封環と前記回転用密封環との間のシール面に導く連通孔を形成してあり、
    前記ベローズの外周面側に前記密封流体を配置してあることを特徴とするメカニカルシール装置。
  2. 前記ベローズの内周面側で前記シールケースと前記固定用密封環との間に配置され、前記固定用密封環を軸方向に移動可能に保持し、前記静圧流体室を大気側空間から密封するシール部材をさらに有する請求項1に記載のメカニカルシール装置。
  3. 前記固定用密封環に前記連通孔に連続する環状溝を形成してあることを特徴とする請求項1または2に記載のメカニカルシール装置。
  4. 前記環状溝の外径は、前記ベローズの圧力作用径と略等しくなるように形成してあることを特徴とする請求項3に記載のメカニカルシール装置。
  5. 前記シール部材よりも大気側に配置され、前記固定用密封環を前記回転用密封環側に押圧する弾性部材をさらに有することを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のメカニカルシール装置。
  6. 前記環状溝の内径は、前記シール部材の前記固定用密封環に対する接触径と略等しくなるように形成してある請求項3〜5のいずれかに記載のメカニカルシール装置。
  7. 前記静圧流体室の内部に配置され、前記固定用密封環を前記回転用密封環側に押圧する弾性部材をさらに有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のメカニカルシール装置。
  8. 前記回転用密封環のシール面に動圧発生溝が形成してあることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のメカニカルシール装置。
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