CN110238000B - 匀胶机吸盘 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种匀胶机吸盘，该吸盘用来处理基片，其结构包括：吸纳部和支撑连接部。吸纳部用于吸附基片，吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个第一气道沿吸纳部的径向间隔设置，多个第二气道分别连通多个第一气道，第二气道与抽气口连接。吸纳部设于支撑连接部上，支撑连接部用于支撑基片。本发明实施例的匀胶机吸盘，通过设置支撑连接部，可为基片提供有力的支撑，防止基片局部塌陷；位于支撑连接部上的吸纳部，可实现基片的稳定吸附，使匀胶过程中基片位置保持固定，不发生偏移。设在吸纳部上的第一气道沿着径向间隔设置，使基片在径向的不同位置处均可被第一气道吸附，可吸附不同尺寸的基片。

Description

匀胶机吸盘

技术领域

本发明属于旋转涂覆技术领域，具体是一种匀胶机吸盘。

背景技术

在对较薄的基片进行表面处理时，为了将整个基片的表面进行全方位快速涂覆，常需要将基片置于旋转装置上，基片在跟随旋转的过程中，完成表面的处理。如对基片进行涂胶时，需要将基片固定在旋转涂胶机上，在旋转的同时完成基片表面的涂胶。

然而，现有的旋转涂胶机所处理的基片尺寸一般较小，当旋涂并处理尺寸更大的基片时，基片不易形成有效固定，基片发生偏移，使基片与旋转涂胶机器的转轴不同心，涂胶不均匀且效果差；有的基片甚至会在旋转的过程中向外飞出，导致基片破裂，增加生产成本。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种匀胶机吸盘，所述匀胶机吸盘稳定地吸附和支撑基片，解决了大尺寸基片在处理过程中容易移位的问题。

根据本发明实施例的一种匀胶机吸盘，所述匀胶机吸盘用来处理基片，包括：吸纳部，所述吸纳部用于吸附所述基片，所述吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，所述吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个所述第一气道沿所述吸纳部的径向间隔设置，多个所述第二气道分别连通多个所述第一气道，所述第二气道连接有抽气口；支撑连接部，所述吸纳部设于所述支撑连接部上，所述支撑连接部用于支撑所述基片。

根据本发明实施例的匀胶机吸盘，通过设置支撑连接部，可有力的支撑基片，防止基片局部塌陷，通过在支撑连接部上设置吸纳部，将基片稳定地吸附在吸纳部上，基片位置不容易发生偏移。设在吸纳部上的第一气道和第二气道，第一气道沿着径向间隔设置，使基片在径向的不同位置处均可被第一气道吸附，能适应吸附不同尺寸的基片，第二气道连通多个第一气道和抽气口，当从抽气口中抽气时，第二气道和第一气道内均形成负压，将基片牢牢地吸附在吸纳部上。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，多个所述第一气道呈环形，环形的多个所述第一气道彼此相套设置，多个所述第二气道沿所述吸纳部的径向延伸，至少两个所述第二气道连通所有的所述第一气道。

根据本发明进一步的实施例，所述抽气口设在所述吸纳部的中心处，环形的所述第一气道围绕所述抽气口同心设置，多个所述第二气道的外端连通最外圈的所述第一气道，多个所述第二气道的内端连通所述抽气口。

可选的，所述第一气道的宽度为0.5～1.5mm，相邻两个所述第一气道之间的间距为2～10mm，所述第二气道的宽度为1.5～3mm。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，所述吸纳部在所述支撑连接部上的投影面积小于所述支撑连接部的面积。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，所述第一气道和所述第二气道的上表面与所述支撑连接部的上表面平齐。

有利的，所述支撑连接部包括阶梯部，所述阶梯部包括第一台阶面和第二台阶面，所述第一气道和所述第二气道与所述第一台阶面的上表面平齐，所述第二台阶面低于所述第一台阶面。

根据本发明进一步的实施例，所述基片在所述支撑连接部上的投影落在所述第一台阶面外且落在所述第二台阶面内。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，所述支撑连接部包括转动配合部，所述转动配合部的内部形成安装腔，所述安装腔连通所述抽气口。

根据本发明进一步的实施例，所述转动配合部的下端形成周向定位槽，所述匀胶机吸盘还包括驱动装置，所述驱动装置的驱动部配合在所述安装腔内，且所述驱动部限位在所述周向定位槽中，所述驱动装置带动所述吸纳部和所述支撑连接部旋转运动。

根据本发明进一步的实施例，所述匀胶机吸盘还包括抽气泵，所述抽气泵的抽气管伸入所述安装腔并连接所述抽气口。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，所述吸纳部和所述支撑连接部的表面涂覆一层防腐材料层，所述防腐材料层为聚四氟乙烯层、酚醛树脂层、环氧树脂层或过氯乙烯层的一种。

根据本发明一个实施例的匀胶机吸盘，所述匀胶机吸盘还包括壳体，所述壳体内形成涂胶腔，所述吸纳部和所述支撑连接部可转动地设在所述涂胶腔内。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本发明一个实施例的匀胶机吸盘的纵向剖视图。

图2为本发明一个实施例的吸纳部和支撑连接部的俯视图。

图3为本发明一个实施例的支撑连接部的立体图。

图4为图2的侧视图。

图5为图4的纵向剖视图。

附图标记：

匀胶机吸盘100；

吸纳部1；

吸附气道11；第一气道111；第二气道112；

抽气口12；

支撑连接部2；

阶梯部21；第一台阶面211；第二台阶面212；

转动配合部22；安装腔221；周向定位槽222；

凹槽23；

驱动装置3；驱动部31；定位销32；

壳体4；涂胶腔41；

基片200。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

下面参考附图描述本发明实施例的匀胶机吸盘100。

根据本发明实施例的一种匀胶机吸盘100，如图1所示，匀胶机吸盘100用来处理基片200，基片200可以为半导体基片，或者厚度小于0.5mm的其他类型的基片，如金属薄板。本发明的匀胶机吸盘100特别适用于处理6英寸直径以上的基片200。

如图2所示，本发明的匀胶机吸盘100包括：吸纳部1和支撑连接部2。

其中，吸纳部1用于吸附基片200，支撑连接部2用于支撑基片200，吸纳部1设于支撑连接部2上。

具体的，如图2所示，吸纳部1上设有多个相连通的吸附气道11，吸附气道11包括多个第一气道111和多个第二气道112，多个第一气道111沿吸纳部1的径向间隔设置，多个第二气道112分别连通多个第一气道111，第二气道112连接有抽气口12。这里，第一气道111沿着径向间隔开设置多个，可对应基片200的径向的不同位置。第二气道112连通抽气口12可将多个第一气道111内的空气抽出，使第一气道111中形成负压，得以吸附其上部的基片200的对应部位。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

由上述结构可知，本发明实施例的匀胶机吸盘100，通过设置支撑连接部2，可有力的支撑基片200，防止基片200局部塌陷，使基片200在处理的过程中保持自身的强度和形状，使基片200的表面保持平整。

通过在支撑连接部2上设置吸纳部1，将基片200稳定地吸附在吸纳部1上，基片200位置不容易发生偏移，基片200稳定地容置在匀胶机吸盘100的特定位置，可以理解的是，当基片200在高速旋转过程中，不容易被甩下，基片200的中心不会偏离旋转中心，处理基片200时匀胶机吸盘100工作稳定，处理效率高。

其中，在匀胶机吸盘100吸附基片200的过程中，设在吸纳部1上的第一气道111和第二气道112，其中，第一气道111沿着吸纳部1的径向间隔设置，使基片200在放置在吸纳部1和支撑连接部2上后，基片200的径向的不同位置处均可被第一气道111吸附，因此，本发明的匀胶机吸盘100能适应不同尺寸的基片200，尤其是对于直径大于4英寸的6英寸基片200，本发明的匀胶机吸盘100仍能保持较好的吸附力。其中，第二气道112连通抽气口12和多个第一气道111，当通过抽气口12抽气时，第二气道112将其自身和与其连接的多个第一气道111内的气体经由抽气口12排出，从而使第二气道112和第一气道111内均形成负压，保证基片200的下表面牢牢地吸附在第一气道111、第二气道112上，因此基片200稳定的保持在吸纳部1上。

可以理解的是，相比于普通的真空抽气吸盘，本发明中特有的气道和布置形式，使得抽气时更加快速、集中，仅第二气道112与抽气口12连通，因此当从抽气口12向外抽气时，第二气道112中的气体最先被大量抽出，同时与第二气道112相通的各个第一气道111内的气体快速地排向第二气道112中，第一气道111之间仅通过第二气道112连通，此过程中不容易发生漏气跑气现象，并使第一气道111和第二气道112中持续保持负压状态，与基片200的下表面形成稳定的吸附，吸附力强。

此外，由于无需将第一气道111的底部连通抽气腔，而是通过第二气道112连通抽气口12、第二气道112再连通第一气道111的布设形式，因此第一气道111的厚度可设计的较小，其占用的布置空间较小，使得本发明吸附气道11在吸纳部1上的布设形式多样化，节省抽吸时设置配合结构所占用的空间，第一气道111自身的内部空间较小，内部的气体可快速被抽出而形成负压，第一气道111对基片200的吸附稳定。

在本发明的描述中，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。

在本发明的一些实施例中，如图2所示，多个第一气道111呈环形，环形的多个第一气道111彼此相套设置。环形布设的第一气道111可对应基片200的底部形成足够多的吸附面积，且对基片200的周向各处均能形成较为统一的吸附力。

多个第二气道112沿吸纳部1的径向延伸，至少两个第二气道112连通所有的第一气道111。径向延伸的第二气道112与沿着径向间隔布置的多个第一气道111之间形成交叉，使间隔布置的多个第一气道111均通过第二气道112连通抽气口12，进而抽气口12中抽气时第一气道111内部可形成负压。其中，至少两个第二气道112连通所有的第一气道111后，可保证所有的第一气道111内均能被抽成负压状态。

可选的，第二气道112为直线形气道，且第二气道112的宽度大于第一气道111的宽度。直线形气道方便第二气道112中的气体快速从抽气口12排出。第二气道112的宽度设计的更大时，方便第二气道112为第一气道111提供足够大的吸气过渡空间，也有利于第二气道112与第一气道111交叉连接，可以理解的是，若第二气道112的宽度过小，则与第一气道111连接时不容易进行过渡，加工后容易出现交叉处过窄的现象。

有利的，如图2和图5所示，抽气口12设在吸纳部1的中心处，环形的第一气道111围绕抽气口12同心设置，多个第二气道112的外端连通最外圈的第一气道111，多个第二气道112的内端连通抽气口12。由此，本发明仅需要设置一个抽气口12，便可将所有的第二气道112和与之连通的第一气道111中的气体向外排出，设置结构简单，占用空间少，抽气速度快，各吸附气道11与基片200之间的吸附紧密。

可选的，第二气道112呈放射状布设在抽气口12的周围，相邻的第二气道112在吸纳部1表面围绕抽气口12的周向等角度布设。由此，第二气道112可均匀地将第一气道111各处的气体快速抽出，使吸纳部1各处形成的吸附力较为均匀。

有利的，第二气道112在远离抽气口12的方向上，其宽度逐渐增大。当第一气道111的宽度和深度一致时，位于吸纳部1边缘的第一气道111的总存气空间较大，因此当第二气道112在边缘的吸气空间更大时，有助于边缘的第一气道111内的气体也快速抽出。

有利的，第一气道111在远离吸纳部1中心的位置，其宽度逐渐变小，各个同心的第一气道111的总抽气体积相同，第二气道112的宽度一致。可以理解的是，由于第一气道111沿径向间隔设置，远离抽气口12的第一气道111的宽度较小时，可保证所有的第一气道111的抽吸力度相同。

可选的，第一气道111的宽度为0.5～1.5mm，相邻两个第一气道111之间的间距为2～10mm，第二气道112的宽度为1.5～3mm。采用上述设计参数，保证第一气道111布置的疏密有致，第一气道111各处均对基片200产生稳定的吸力，且防止第一气道111布置的过密而对基片200的吸附力太大使基片200变形，或使基片200难以取下。防止第一气道111布置的过疏而对基片200的吸附力太小使基片200容易脱出。

可选的，第一气道111和第二气道112的表面设计有一定的粗糙度，表面粗糙度在Ra0.3～0.35之间。以实现基片200与吸附气道11的紧密贴合，有效防止吸附基片200时漏气现象发生。

在本发明的一些实施例中，如图5所示，吸纳部1在支撑连接部2上的投影面积小于支撑连接部2的面积。也就是说，吸纳部1设在支撑连接部2内。

可选的，如图5所示，支撑连接部2的上表面形成有凹槽23，凹槽23的深度为0.5～1.5mm，第一气道111和第二气道112均布设在凹槽23内，第一气道111和第二气道112形成为气槽，气槽壁的高度与凹槽23的深度一致。由此，第一气道111和第二气道112的上表面与支撑连接部2的上表面平齐。

在一些示例中，如图4和图5所示，支撑连接部2包括阶梯部21，阶梯部21包括第一台阶面211和第二台阶面212，第一气道111和第二气道112与第一台阶面211的上表面平齐，第二台阶面212低于第一台阶面211。这里，第一台阶面211与吸附气道11的上表面平齐，基片200同时与第一台阶面211的上表面和吸附气道11接触，第一台阶面211为基片200提供必要的支撑；而第二台阶面212则不与基片200接触，从而第一台阶面211和第二台阶面212之间形成了间隔，当基片200放置在第一台阶面211上后，由吸附气道11吸附，并由第一台阶面211支撑。

有利的，重新参照图1所示，基片200在支撑连接部2上的投影落在第一台阶面211外且落在第二台阶面212内。此时，当需要取下基片200时，由于第一台阶面211上的基片200和第二台阶面212之间形成间隙，夹取工具或人手容易伸入并将基片200取下。另外，基片200在放置时，第二台阶面212可形成一定的参考，有利于基片200放置时与吸纳部1同心。此外，本发明中设计第二台阶面212还可以保护基片200，基片200的边缘不伸出第二台阶面212外，防止基片200在处理过程中(如旋转涂胶)边缘受到碰撞。

在本发明的一些实施例中，如图1、图3所示，支撑连接部2包括转动配合部22，转动配合部22的内部形成安装腔221，安装腔221连通抽气口12，如图1所示，匀胶机吸盘100还包括驱动装置3，驱动装置3的驱动部31配合在安装腔221内，驱动装置3带动吸纳部1和支撑连接部2旋转运动。

驱动装置3可以为电机，电机的电机轴伸入安装腔221中，并与转动配合部22连接，电机轴旋转时，带动支撑连接部2和吸纳部1转动。在一些具体的示例中，电机轴与安装腔221形成为间隙配合，更具体的，采用H8/g8配合。

驱动装置3可以为旋转气动马达，旋转气动马达的输出端与转动配合部22相连接，形成为连续旋转运动。

当然，驱动装置3也可以选择其他的动力装置，只要能实现支撑连接部2的连续转动则可。

可选的，如图3所示，转动配合部22的下端形成周向定位槽222，驱动部31限位在周向定位槽222中。在具体的示例中，如图1中所示，驱动部31为电机轴，电机轴通过定位销32限位在周向定位槽222中。确保电机轴可以带动吸盘100转动且不发生空转。

有利的，如图3所示，周向定位槽222形成为U形槽，周向定位槽222的下部开口，定位销32从周向定位槽222的下部置入，并与周向定位槽222的上部间隙配合，更具体的，定位销32与周向定位槽222形成为H6/g5间隙配合，进而保证驱动装置3带动支撑连接部2和吸纳部1转动时，连接处不晃动，使旋转稳定。

可选的，周向定位槽222的下部开口形成为扩口，有利于驱动部31的安装和定位。

在本发明的一些实施例中，匀胶机吸盘100还包括抽气泵(图未示出)，抽气泵的抽气管伸入安装腔221并连接抽气口12。当抽气泵抽气后，将与抽气口12连通的第二气道112内的气体抽出，并带动第一气道111中的气体抽出，使第一气道111和第二气道112内均形成为负压。

可选的，抽气泵设置在支撑连接部2上，当支撑连接部2旋转时，抽气泵跟着旋转，防止抽气管在支撑连接部2旋转时形成缠绕。

可选的，抽气泵设置在阶梯部1的底部，转动配合部22上形成通孔，抽气管从通孔中伸入到安装腔221后，与抽气口12连接。有利的，驱动部31的顶部低于通孔的水平标高，防止驱动部31触碰到抽气管。

在一些示例中，安装腔221中形成有隔板，隔板的下部空间用来装入驱动部31，隔板的上部空间用来布设抽气管。

在一些示例中，重新参照图1所示，匀胶机吸盘100还包括壳体4，壳体4内形成涂胶腔41，吸纳部1和支撑连接部2可转动地设在涂胶腔41内。壳体4限定了基片200在旋转涂胶时的具体区域，防止胶体四处散落污染环境。

在本发明的一些实施例中，吸纳部1和支撑连接部2的表面涂覆一层防腐材料层，防腐材料层为聚四氟乙烯层、酚醛树脂层、环氧树脂层或过氯乙烯层的一种。提高匀胶机吸盘100的耐腐蚀性，防止涂胶时对表面的污染，延长匀胶机吸盘100的使用寿命。在本发明中，在匀胶机吸盘100的表面涂覆防腐材料层时，可使用气枪喷涂。

相应的，在本发明中，壳体4的表面也涂覆一层防腐材料层。

在本发明的一些示例中，吸纳部1和支撑连接部2采用铝合金制作，铝合金可以减轻匀胶机吸盘100的自身重量，并具有足够的强度，且耐腐蚀。

下面结合说明书附图描述本发明的一个具体实施例中匀胶机吸盘100的具体结构。

如图1和图2所示，一种匀胶机吸盘100，包括吸纳部1、支撑连接部2、驱动装置3、壳体4、抽气泵(图未示出)。

其中，如图1所示，壳体4内形成涂胶腔41，吸纳部1和支撑连接部2可转动地设在涂胶腔41内。壳体4的底部设有驱动安装孔，驱动安装孔的周围设有导柱，驱动装置3采用电机，电机的电机轴从驱动安装孔和导柱中穿入涂胶腔41中，电机轴与支撑连接部2连接。

支撑连接部2、吸纳部1、基片200的横截面均呈圆形，支撑连接部2、吸纳部1、基片200共心，同时电机轴对应连接在此中心上。如图1和图5所示，支撑连接部2包括阶梯部21、转动配合部22、凹槽23，阶梯部21设在转动配合部22的上方，两者一体成型，阶梯部21的中部形成有上下贯通的抽气口12。转动配合部22内形成安装腔221，安装腔221上形成有周向配合槽222，安装腔221中配合有电机轴，定位销32限位在周向配合槽222中，使得电机轴形成周向的限位。抽气泵设在支撑连接部2上，抽气管穿入安装腔221中，并与抽气口12接合。如图4所示，阶梯部21包括第一台阶面211和第二台阶面212，第一气道111和第二气道112与第一台阶面211的上表面平齐，第二台阶面212低于第一台阶面211。如图1所示，基片200在支撑连接部2上的投影落在第一台阶面211外且落在第二台阶面212内。阶梯部21的上表面形成有凹槽23，凹槽23内形成有吸纳部1。

如图2所示，吸纳部1包括多个吸附气道11和前述的抽气口12，吸附气道11包括多个圆环形的第一气道111和多个直线形的第二气道112，圆形的第一气道111沿吸纳部1的径向相套并间隔设置，相邻的第一气道111的间距为8mm，每个第一气道111的宽度为1mm，深度相同。第二气道112的宽度为2mm，第二气道112呈放射状设置在抽气口12的周围，第二气道112将吸纳部1等角分隔，第二气道112可连通所有环形第一气道111，第二气道112的另一端相联通并连接至抽气口12上。吸纳部1、支撑连接部2、壳体4的表面均涂覆有一层聚四氟乙烯层。

旋转涂胶过程中，基片200布设在支撑连接部2上，并由吸纳部1吸紧，基片200不易歪斜，对中效果好，在驱动装置3的带动下，均匀地旋转涂胶。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图2中显示了四个第二气道112用于示例说明的目的，但是普通技术人员在阅读了上面的技术方案之后、显然可以理解将该方案应用到其他数量的第二气道112的技术方案中，这也落入本发明的保护范围之内。

根据本发明实施例的匀胶机吸盘100的其他构成例如旋转涂胶的过程对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘用来处理基片，所述基片的直径大于等于6英寸，所述匀胶机吸盘包括：

吸纳部，所述吸纳部用于吸附所述基片，所述吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，所述吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个所述第一气道沿所述吸纳部的径向间隔设置，多个所述第二气道分别连通多个所述第一气道，所述第二气道连接有抽气口；多个所述第一气道呈环形，环形的多个所述第一气道彼此相套设置，多个所述第二气道沿所述吸纳部的径向延伸，至少两个所述第二气道连通所有的所述第一气道；所述抽气口设在所述吸纳部的中心处，所述第二气道在远离所述抽气口的方向上宽度逐渐变大；

支撑连接部，所述吸纳部设于所述支撑连接部上，所述吸纳部在所述支撑连接部上的投影面积小于所述支撑连接部的面积，所述第一气道和所述第二气道的上表面与所述支撑连接部的上表面平齐，所述支撑连接部用于支撑所述基片，所述支撑连接部包括阶梯部，所述阶梯部包括第一台阶面和第二台阶面，所述第一气道和所述第二气道与所述第一台阶面的上表面平齐，所述第二台阶面低于所述第一台阶面；

所述基片在所述支撑连接部上的投影落在所述第一台阶面外且落在所述第二台阶面内。

2.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，环形的所述第一气道围绕所述抽气口同心设置，多个所述第二气道的外端连通最外圈的所述第一气道，多个所述第二气道的内端连通所述抽气口。

3.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述第一气道的宽度为0.5～1.5mm，相邻两个所述第一气道之间的间距为2～10mm，所述第二气道的宽度为1.5～3mm。

4.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述支撑连接部包括转动配合部，所述转动配合部的内部形成安装腔，所述安装腔连通所述抽气口。

5.根据权利要求4所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述转动配合部的下端形成周向定位槽，

所述匀胶机吸盘还包括驱动装置，所述驱动装置的驱动部配合在所述安装腔内，且所述驱动部限位在所述周向定位槽中，所述驱动装置带动所述吸纳部和所述支撑连接部旋转运动。

6.根据权利要求4所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘还包括抽气泵，所述抽气泵的抽气管伸入所述安装腔并连接所述抽气口。

7.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述吸纳部和所述支撑连接部的表面涂覆一层防腐材料层，所述防腐材料层为聚四氟乙烯层、酚醛树脂层、环氧树脂层或过氯乙烯层的一种。

8.根据权利要求1所述的匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘还包括壳体，所述壳体内形成涂胶腔，所述吸纳部和所述支撑连接部可转动地设在所述涂胶腔内。

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