CN110052370B - 匀胶机真空匀胶装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种匀胶装置,尤其是一种匀胶机真空匀胶装置,属于微纳米的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述匀胶机真空匀胶装置,包括托盘以及若干设置于所述托盘中心区的真空槽道区;在所述托盘内还设置大气槽道,所述大气槽道位于真空槽道区的外圈,且大气槽道环绕包围所述真空槽道区,在大气槽道内设置若干大气槽道孔,所述大气槽道孔贯通与大气槽道对应的托盘。本发明结构紧凑,能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞,使用方便,安全可靠。
Description
技术领域
本发明涉及一种匀胶装置,尤其是一种匀胶机真空匀胶装置,属于微纳米的技术领域。
背景技术
在MEMS领域,匀胶是光刻工艺的基本步骤之一。目前的匀胶机在使用过程中经常会出现真空管路进胶,堵塞真空阀或真空泵等问题,解决方案通常是更换新的配件,从而会导致使用成本增加,降低使用效率。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种匀胶机真空匀胶装置,其结构紧凑,能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞,使用方便,安全可靠。
按照本发明提供的技术方案,所述匀胶机真空匀胶装置,包括托盘以及若干设置于所述托盘中心区的真空槽道区;在所述托盘内还设置大气槽道,所述大气槽道位于真空槽道区的外圈,且大气槽道环绕包围所述真空槽道区,在大气槽道内设置若干大气槽道孔,所述大气槽道孔贯通与大气槽道对应的托盘。
所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道,所述真空槽道通过槽道连接槽相互连通,在托盘的中心区设置托盘真空吸附孔,所述托盘真空吸附孔与真空槽道以及槽道连接槽相连通。
还包括能与托盘适配连接的真空转接轴,所述真空转接轴能伸入托盘的托盘连接套内,真空转接轴与托盘的托盘连接套紧密连接;在真空转接轴内设置能与托盘真空吸附孔连通的转轴内吸附通道。
在真空转接轴进入托盘连接套的端部内设置储液槽,所述储液槽位于托盘真空吸附孔的下方,转轴内吸附通道位于储液槽的外圈。
真空转接轴位于托盘连接套的端部内设置台阶,所述台阶能与储液槽、转轴内吸附通道以及托盘真空吸附孔连通。
还包括能与真空转接轴适配的电机轴,所述电机轴能嵌置在真空转接轴内且电机轴与真空转接轴紧密接触;在真空转接轴的下部套有真空法兰,在真空法兰内设置密封环,通过密封环能密封真空法兰与真空转接轴间的结合部。
在真空法兰内设置能与转轴内吸附通道连通的法兰吸附通道,在真空法兰内还设置密封垫,所述密封垫能套在电机轴上。
所述电机轴、真空转接轴以及托盘间呈同轴分布。
所述密封垫、密封环均采用特氟龙材料制成。
本发明的优点:在真空槽道区的外圈设置大气槽道,大气槽道内设置大气槽道孔,利用大气槽道孔能使得大气槽道内的气压与大气压相同,即硅片与托盘接触的边缘位置处的压强与大气槽道内的压强相同,两个位置不存在压差,因此,光刻胶不会进入托盘1的真空槽道区内,避免了光刻胶通过真空槽道区进而导致真空阀和真空泵内的堵塞;利用储液槽也能实现对光刻胶的存储,从而能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞,使用方便,安全可靠。
附图说明
图1为本发明的立体图。
图2为本发明的剖视图。
图3为图2中A的放大图。
附图标记说明:1-托盘、2-真空转接轴、3-密封环、4-真空法兰、5-密封垫、6-储液槽、7-硅片、8-电机轴、9-大气槽道、10-大气槽道孔、11-真空槽道、12-槽道连接槽、13-托盘真空吸附孔、14-法兰吸附通道、15-托盘连接套、16-台阶、17-转轴内吸附通道以及18-转轴限位板。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1、图2和图3所示:为了能有效防止胶进入真空管路导致真空阀、真空泵堵塞,本发明包括托盘1以及若干设置于所述托盘1中心区的真空槽道区;在所述托盘1内还设置大气槽道9,所述大气槽道9位于真空槽道区的外圈,且大气槽道9环绕包围所述真空槽道区,在大气槽道9内设置若干大气槽道孔10,所述大气槽道孔10贯通与大气槽道9对应的托盘1。
具体地,托盘1呈圆盘状,真空槽道区位于托盘1的中心区,通过真空槽道区能实现对托盘1上硅片7的吸附,大气槽道9在托盘1内位于真空槽道区的外圈,大气槽道9环绕包围真空槽道区,在大气槽道9内设置大气槽道孔10,大气槽道孔10贯通托盘1。当硅片7吸附在托盘1上时,硅片7的外圈边缘位于大气槽道9的外圈,此时,硅片7与托盘1接触的边缘位置处的压强与大气槽道9内的压强相同,两个位置不存在压差,因此,光刻胶不会进入托盘1的真空槽道区内,避免了光刻胶通过真空槽道区进而导致真空阀和真空泵内的堵塞。此外,大气槽道9的区域远小于真空槽道区的面积,因此,不会影响将硅片7吸附在托盘1上,即使得硅片7能跟随托盘1高速转动。
进一步地,所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道11,所述真空槽道11通过槽道连接槽12相互连通,在托盘1的中心区设置托盘真空吸附孔13,所述托盘真空吸附孔13与真空槽道11以及槽道连接槽12相连通。
本发明实施例中,真空槽道11呈环形,真空槽道11间通过呈十字型的槽道连接槽12相互连通,真空吸附孔13与真空槽道11以及槽道连接槽12连通,从而通过通过真空吸附孔13能在真空槽道11以及槽道连接槽12内产生能对硅片7进行吸附的负压。
进一步地,还包括能与托盘1适配连接的真空转接轴2,所述真空转接轴2能伸入托盘1的托盘连接套15内,真空转接轴2与托盘1的托盘连接套15紧密连接;在真空转接轴2内设置能与托盘真空吸附孔13连通的转轴内吸附通道17。
本发明实施例中,在托盘1的背面设置托盘连接套15,真空转接轴2能进入托盘连接套15内,通过真空转接轴2与托盘连接套15的紧密连接,能实现真空转接轴2与整个托盘1之间的紧固连接。真空转接轴2内设置转轴内吸附通道17,即通过转轴内吸附通道17能方便与外部的真空系统连接,即通过在转轴内吸附通道17内产生真空状态,进而能使得托盘真空吸附孔13内产生真空状态。
进一步地,在真空转接轴2进入托盘连接套15的端部内设置储液槽6,所述储液槽6位于托盘真空吸附孔13的下方,转轴内吸附通道17位于储液槽6的外圈。
本发明实施例中,储液槽6位于真空转接轴2内,储液槽6位于托盘真空吸附孔13的下方,储液槽6与转轴内吸附通道17以及托盘真空吸附孔13连通,当有光刻胶进入真空槽道11内进而进入托盘真空吸附孔13内时,进入托盘真空吸附孔13内的光刻胶能落入储液槽6内,避免光刻胶进入转轴内吸附通道17内,进一步能避免光刻胶对真空阀以及真空泵的堵塞。
具体实施时,真空转接轴2位于托盘连接套15的端部内设置台阶16,所述台阶16能与储液槽6、转轴内吸附通道17以及托盘真空吸附孔13连通。本发明实施例中,通过台阶16能实现储液槽6与转轴内吸附通道17的连通,利用台阶16也能提高储液槽6对光刻胶的存储能力,即非正常操作导致有少量胶进入托盘1,那么进入托盘1的的胶会掉入储液槽6而不会进入真空气路。
进一步地,还包括能与真空转接轴2适配的电机轴8,所述电机轴8能嵌置在真空转接轴2内且电机轴8与真空转接轴2紧密接触;在真空转接轴2的下部套有真空法兰4,在真空法兰4内设置密封环3,通过密封环3能密封真空法兰4与真空转接轴2间的结合部。
本发明实施例中,所述电机轴8、真空转接轴2以及托盘1间呈同轴分布。转轴内吸附通道17在真空转接轴2的长度小于真空转接轴2的长度,在真空转接轴2上设置转接限位板18,利用转接限位板18能与真空法兰4配合。真空转接轴2用于连接托盘1与电机轴8,真空转接轴2、托盘1在电机轴8带动下能做高速旋转运动。
在真空法兰4内设置能与转轴内吸附通道17连通的法兰吸附通道14,在真空法兰4内还设置密封垫5,所述密封垫5能套在电机轴8上。本发明实施例中,密封环3、密封垫5采用特氟龙材质制成,安装在真空法兰4内,起密封作用。
Claims (4)
1.一种匀胶机真空匀胶装置,包括托盘(1)以及若干设置于所述托盘(1)中心区的真空槽道区;其特征是:在所述托盘(1)内还设置大气槽道(9),所述大气槽道(9)位于真空槽道区的外圈,且大气槽道(9)环绕包围所述真空槽道区,在大气槽道(9)内设置若干大气槽道孔(10),所述大气槽道孔(10)贯通与大气槽道(9)对应的托盘(1);
所述真空槽道区包括若干环形的真空槽道(11),所述真空槽道(11)通过槽道连接槽(12)相互连通,在托盘(1)的中心区设置托盘真空吸附孔(13),所述托盘真空吸附孔(13)与真空槽道(11)以及槽道连接槽(12)相连通;
还包括能与托盘(1)适配连接的真空转接轴(2),所述真空转接轴(2)能伸入托盘(1)的托盘连接套(15)内,真空转接轴(2)与托盘(1)的托盘连接套(15)紧密连接;在真空转接轴(2)内设置能与托盘真空吸附孔(13)连通的转轴内吸附通道(17);
在真空转接轴(2)进入托盘连接套(15)的端部内设置储液槽(6),所述储液槽(6)位于托盘真空吸附孔(13)的下方,转轴内吸附通道(17)位于储液槽(6)的外圈;
真空转接轴(2)位于托盘连接套(15)的端部内设置台阶(16),所述台阶(16)能与储液槽(6)、转轴内吸附通道(17)以及托盘真空吸附孔(13)连通;
还包括能与真空转接轴(2)适配的电机轴(8),所述电机轴(8)能嵌置在真空转接轴(2)内且电机轴(8)与真空转接轴(2)紧密接触;在真空转接轴(2)的下部套有真空法兰(4),在真空法兰(4)内设置密封环(3),通过密封环(3)能密封真空法兰(4)与真空转接轴(2)间的结合部。
2.根据权利要求1所述的匀胶机真空匀胶装置,其特征是:在真空法兰(4)内设置能与转轴内吸附通道(17)连通的法兰吸附通道(14),在真空法兰(4)内还设置密封垫(5),所述密封垫(5)能套在电机轴(8)上。
3.根据权利要求1所述的匀胶机真空匀胶装置,其特征是:所述电机轴(8)、真空转接轴(2)以及托盘(1)间呈同轴分布。
4.根据权利要求2所述的匀胶机真空匀胶装置,其特征是:所述密封垫(5)、密封环(3)均采用特氟龙材料制成。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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