JPH04267969A - 回転塗布装置のチャック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
る感光性樹脂（レジスト）を基板（ウエハ）上に回転塗
布する回転塗布装置（スピンナ）における基板を吸着す
るチャックの構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、以下に示すようなものがあった。一般に、集積
回路やトランジスタ等のような半導体装置を製造する場
合、ホトマスク基板やシリコン基板（ウエハ）（以下、
単に基板という）の表面に、電子線あるいは紫外線やＸ
線等で感光する樹脂、つまりレジストを塗布する。そし
て、パターン描画装置により前記レジストを露光した後
に、前記レジストに適合した現像液を使用して現像した
り、リンス液等のような洗浄液を使用して洗浄処理した
りすることにより、エッチング等の必要な処理を行う。 なお、これらの処理工程は必要に応じて繰り返し行って
いる。

【０００３】このような処理を行う装置として、回転方
式の現像装置が従来より用いられている。かかる回転方
式の現像装置においては、まず、回転塗布装置（スピン
ナ）のチャックに基板を保持する。次に、基板を回転さ
せながらその表面に現像液，リンス液の順に基板表面に
噴射して現像及び現像液の除去を行う。最後に、高速回
転させることで、前記リンス液を振り切るとともに、乾
燥させるようにしている。

【０００４】図３はかかる従来の回転塗布装置のチャッ
クの一構成例を示す断面図である。この図に示すように
、基板１はチャック２上にバキューム４を通じて吸着さ
れ、チャック２をモータ３により回転するようにしてい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の回転塗布装置では、チャック２の洗浄を実施する場
合に、使用する洗浄液が、チャック２のバキューム穴を
通じてモータ３やバキューム系統に流れ込み、装置に支
障を来すという問題点があった。また、チャック２の洗
浄後に、チャック２を回転させて洗浄液を遠心力で飛ば
して乾燥させる場合に、チャック２の溝が垂直であった
ために、洗浄液が遠心力で飛散しにくいという問題点が
あった。

【０００６】本発明は、以上述べた洗浄液がチャックの
洗浄時にチャックのバキューム穴を通じて装置内に入り
込み、支障の原因となることを未然に防ぐ。また、チャ
ックを高速回転させて遠心力でチャック上の洗浄液をス
ピン乾燥させる場合に、液が飛び易いように、チャック
表面の円環状突起によって形成される溝の断面形状を垂
直でなく、外方に向かって傾斜を持たせることにより、
十分なスピン乾燥が得られる回転塗布装置のチャックを
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、回転塗布装置のチャックにおいて、チャ
ック表面のバキューム穴に設けられるバキューム時を除
いて洗浄液の流入を防止する洗浄液流入防止ストッパと
、前記チャック表面に設けられる円環状突起によって形
成される溝を有し、該円環状突起に外方に傾斜するテー
パ面を形成するようにしたものである。

【０００８】

【作用】本発明によれば、上記したように、回転塗布装
置のチャックにおいて、洗浄液流入防止ストッパを設け
たことにより、該チャックの洗浄時にバキューム穴を通
じて洗浄液が浸入するのを防ぐことができる。また、チ
ャック表面上の円環状突起に外方に傾斜するテーパ面を
形成したことにより、チャックのスピン乾燥時に、溝に
存在する洗浄液を容易に飛散させることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例を示す回
転塗布装置のチャックの断面図（図２のＡ−Ａ線断面図
）、図２はその回転塗布装置のチャックの平面図である
。これらの図に示すように、回転塗布装置のチャック１
０は、チャック本体１１の中央部にバキューム穴１２が
形成されている。該バキューム穴１２は上部には上端部
が狭まった狭隘部１２ｄを有する小径穴１２ａ、中間部
には中径穴１２ｂ、下部には大径穴１２ｃが形成されて
連通している。そして、バキューム穴１２の小径穴１２
ａに球状の洗浄液流入防止ストッパ１３が遊嵌され、該
洗浄液流入防止ストッパ１３を押し上げるためのコイル
スプリング１４と、該コイルスプリング１４を保持する
ために、中径穴１２ｂに嵌合されるスプリング止め１５
が設けられる。ここで、回転塗布装置のチャック１０の
材質としては、アルミニュームやステンレス鋼からなる
耐摩耗性の高硬度の金属や耐摩耗性の高硬度の樹脂が用
いられており、洗浄液流入防止ストッパ１３の材質も回
転塗布装置のチャック１０の材質と同様の耐摩耗性の高
硬度のものが用いられている。また、該洗浄液流入防止
ストッパ１３にはコイルスプリング１４の上端部が固定
される。

【００１０】従って、バキューム時にはバキュームによ
り、球状の洗浄液流入防止ストッパ１３は下降して、バ
キューム穴１２は開かれているが、バキューム時以外に
は、コイルスプリング１４によって洗浄液流入防止スト
ッパ１３は押し上げられ、狭隘部１２ｄに当接して、バ
キューム穴１２は塞がれる。一方、チャック本体１１の
表面には、その中心部の小径穴１２ａを中心として同心
状の円環状突起１６が形成されている。更に、その円環
状突起１６の外側に同心円状に円環状突起１８が形成さ
れている。その円環状突起１６には外方に傾斜するテー
パ面１７が、そして、円環状突起１８には外方に傾斜す
るテーパ面１９がそれぞれ形成され、例えば、傾斜角度
α（例えば、３０°乃至４５°）を有している。

【００１１】更に、円環状突起１６にはこれを２分する
ように径方向の溝２２が形成されている。換言すれば、
中央には円形状の溝２０が形成され、円環状突起１６を
介して、その外回りに円環状の溝２１が形成され、それ
らの溝２０と２１は径方向の溝２２によって連通されて
いる。そこで、まず、チャック本体１１の洗浄時には、
洗浄液流入防止ストッパ１３は、スプリング止め１５に
固定されているコイルスプリング１４のばねの力で、バ
キューム穴１２の小径穴１２ａの狭隘部１２ｄに押しつ
けられており、洗浄液の流入を防止することができる。

【００１２】また、チャックのスピン乾燥時には、チャ
ック本体１１上の円環状突起１６，１８に形成された外
方に傾斜するテーパ面１７，１９の傾斜角度αにより、
洗浄液は、より容易に遠心力により飛散し、乾燥効果を
高めることができる。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変
形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するも
のではない。

【００１３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、回転塗布装置のチャック本体の内部に洗浄液流
入防止ストッパを設けるようにしたので、基板の裏面と
接するチャックの洗浄が可能となり、基板の汚染を最小
限にすることができる。また、チャック表面の円環状突
起には外方へ傾斜するテーパ面を設けるようにしたので
、チャックによるスピン乾燥時には、チャック本体表面
上の円環状突起に設けられたテーパ面により、洗浄液は
より容易に遠心力により飛散し、乾燥効果を高めること
ができる。

【００１４】更に、チャック表面の円環状突起のテーパ
面の形成により、基板とチャック本体との接触面積も低
減することができ、塵埃の付着や基板の損傷をも低減さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す回転塗布装置のチャック
の断面図である。

【図２】本発明の実施例を示す回転塗布装置のチャック
の平面図である。

【図３】従来の回転塗布装置のチャックの一構成例を示
す断面図である。

【符号の説明】

１０　　　　回転塗布装置のチャック １１　　　　チャック本体 １２　　　　バキューム穴 １２ａ　　　　小径穴 １２ｂ　　　　中径穴 １２ｃ　　　　大径穴 １２ｄ　　　　狭隘部 １３　　　　洗浄液流入防止ストッパ １４　　　　コイルスプリング １５　　　　スプリング止め １６，１８　　　　円環状突起 １７、１９　　　　テーパ面 ２０　　　　円形状の溝 ２１　　　　円環状の溝 ２２　　　　径方向の溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（ａ）チャック表面のバキューム穴に設け
   られるバキューム時を除いて洗浄液の流入を防止する洗
   浄液流入防止ストッパと、（ｂ）前記チャック表面に設
   けられる円環状突起によって形成される溝を有し、（ｃ
   ）該円環状突起に外方に傾斜するテーパ面を形成するこ
   とを特徴とする回転塗布装置のチャック。