JP6513159B2 - ウエハチャック補助具 - Google Patents
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Description
<構成>
図1は、本実施形態に関するウエハチャックを示す外観図である。図2は、図1に示されたウエハチャックのA−A’断面図である。
図5は、ウエハチャックが半導体ウエハを保持した状態を示すウエハチャックの断面図であり、半導体ウエハの裏面にミストが浮遊している状態を示している。
本実施形態によれば、ウエハチャックが、半導体ウエハ1を吸着する吸着面200と、吸着面200の外縁に沿って全周に形成された溝部100とを備える。溝部100は、底部102と、側壁部103とを備える。
<構成>
以下では、上記実施形態で説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略する。
図15は、吸着面201および溝部100Aが回転軸3を中心に回転した場合に生じる、空気の流れを示した図である。当該空気の流れは、溝部100Aの底部102Aがプロペラの羽の形状であることに起因して生じている。なお、回転軸3を中心とする回転方向を逆にすれば、逆方向の空気の流れを実現することもできる。
図17は、図11に示されたウエハチャックの第1変形例を示す図である。
図18は、図11に示されたウエハチャックの第2変形例を示す図である。
本実施形態によれば、底部102Aが、吸着面201の周方向において断続的に形成され、かつ、吸着面201の平面視においてプロペラの羽の形状である。
<構成>
以下では、上記実施形態で説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略する。
図24は、図19に示されたウエハチャック補助具の変形例を示す図である。
本実施形態によれば、ウエハチャック補助具が、輪形状の溝部100Cを備える。
<構成>
以下では、上記実施形態で説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略する。
本実施形態によれば、ウエハチャックが、半導体ウエハ1を吸着する吸着面200と、吸着面200の外縁に沿って全周に形成された溝部100Eとを備える。溝部100Eは、側壁部103を備える。
以下では、上記実施形態で説明した構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略する。
本実施形態によれば、ウエハチャック補助具が、輪形状の溝部100Fを備える。
Claims (5)
- 輪形状の溝部を備え、
前記溝部は、輪内にウエハチャックを嵌め込んで固定可能であり、
前記ウエハチャックは、半導体ウエハを吸着する吸着面を備え、
前記溝部は、
上端および下端が前記吸着面よりも前記半導体ウエハから離れる方向に前記半導体ウエハから離間して形成された、前記吸着面の径方向内側に内壁を有する側壁部を備え、
前記側壁部の前記内壁が、下り斜面である、
ウエハチャック補助具。 - 前記溝部が、嵌め込まれる前記ウエハチャックの裏面の外縁部分に対応して形成された突起部をさらに備え、
ウエハチャック補助具が、前記ウエハチャックの裏面の外縁部分と前記突起部との間に挿入されるスペーサーをさらに備える、
請求項1に記載のウエハチャック補助具。 - 前記溝部が、前記吸着面よりも前記半導体ウエハから離れる方向に位置し、かつ、前記側壁部よりも前記吸着面の径方向内側において前記側壁部の前記下端と連続して形成された底部をさらに備える、
請求項1または2に記載のウエハチャック補助具。 - 前記底部が、前記吸着面の周方向において断続的に形成され、かつ、前記吸着面の平面視においてプロペラの羽の形状である、
請求項3に記載のウエハチャック補助具。 - 前記底部よりも前記半導体ウエハから離れる方向に配置された、送風機構をさらに備える、
請求項3または4に記載のウエハチャック補助具。
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