JP6111104B2 - 基板洗浄乾燥方法および基板現像方法 - Google Patents
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Description
すなわち、従来技術では、乾燥領域を、ガスノズルの直下を中心とした基板上の局所的な領域にとどめている。よって、基板全体を乾燥させる時間が比較的に長い。
すなわち、本発明は、現像後の基板に洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄工程と、基板上に洗浄液を盛る液盛工程と、基板上に盛られた洗浄液の膜厚を薄くする薄膜化工程と、基板を回転させ、基板の上方を覆う外気流を形成し、基板上の洗浄液を移動させるための内気流を外気流と基板との間に形成する乾燥工程と、を備え、乾燥工程は、外気流が基板の上方を覆った状態で内気流が基板の中央部に向かって流れることによって、基板の中央部における洗浄液を周囲に移動させ、基板の中央部を露出させる基板洗浄乾燥方法である。
図1は、実施例1に係る現像装置の概略構成を示すブロック図である。現像装置1は、露光済みのレジスト膜が表面に形成された基板(例えば、半導体ウエハ)Wを処理する。具体的には、現像装置1はこの基板Wを現像し、洗浄し、乾燥する。本明細書では、これら全体の処理を「基板現像方法」と呼び、洗浄および乾燥を特に「基板洗浄乾燥方法」と呼ぶ。
次に、実施例に係る現像装置1の動作について説明する。
図4は、現像装置1による基板現像方法の手順を示すフローチャートである。図5は基板現像方法の手順を示すタイミングチャートである。図6は、基板に対する処理を模式的に示す図である。
現像液ノズル移動機構24は現像液ノズル15を処理位置まで移動させる。モータ7は基板Wを回転し、開閉弁23が開放する。現像液ノズル15は現像液Dを基板Wに吐出する。基板Wに供給された現像液Dは、基板Wの全面に広がる(図6(b)参照)。所定の期間が経過すると、基板Wの回転数を所定の回転数(例えば、0rpmまたは数十rpm)に低下させ、基板W上に現像液Dを盛る。開閉弁23が閉止し、現像液ノズル15は現像液Dの吐出を停止し、待避位置に移動する。現像液Dが基板W上に盛られた状態を、所定の時間が経過するまで維持する。現像液Dはレジスト膜Rの可溶性部位を溶解する。溶解により溶解生成物が生成される。
ノズル17、19が待避位置から処理位置に移動する。基板Wの回転数を、例えば1000rpmまで上昇させる。開閉弁27が開放し、洗浄液ノズル17は洗浄液Cを基板Wに吐出する。基板Wに供給された洗浄液Cは、基板W上の現像液Dや溶解生成物などを洗い流す。レジスト膜Rの可溶性部位も除去され、基板W上にレジストパターンP1乃至P4が現れる(図6(c)参照)。
基板Wの回転数を低下させ、基板W上に洗浄液Cを盛る。本工程における基板Wの回転数は、例えば0rpmまたは数十rpmである。開閉弁27は閉止し、洗浄液ノズル17は洗浄液Cの供給を停止する。基板W上の洗浄液Cは、分離した複数のかたまり(液粒等)ではなく、単一のかたまり(液膜)であり、この液膜が基板Wの上面全体を覆っている。以下では、洗浄液Cの液膜を適宜に「液膜C」と記載する。液膜Cの厚さ(高さ)は例えば約2mmから約3mmであり、各レジストパターンP1乃至P4の高さに比べて十分に大きい。各レジストパターンP1乃至P4の全体は洗浄液C中に浸かる(図6(d)参照)。
基板Wの回転数をやや上昇させる。本工程における基板Wの回転数は例えば約400rpmであり、回転時間は例えば約3秒以下である。これにより、基板W上に液膜Cが形成された状態を保ちつつ、基板W上の洗浄液Cの一部を捨て、液膜Cの厚さを薄くする。本工程は、例えば膜厚を約半分程度に減少させる。また、例えば膜厚を約1mm程度に減少させる。本工程後であっても、液膜Cの厚さは各レジストパターンP1乃至P4の高さに比べて十分に大きい。よって、各レジストパターンP1乃至P4の全体は依然として洗浄液C中に浸かっている(図6(e)参照)。
気体ノズル19が下降し、基板Wに近接する。これにより、例えば、気体ノズル19と基板Wとの離隔距離が約4mmとなる。基板Wの回転数をさらに上昇させる。開閉弁33a、33bが開き、気体ノズル19は下部吐出口19a及び側部吐出口19bから同時に気体を吐出する。
このように、本実施例1によれば、乾燥工程は、内気流の力と遠心力とによって洗浄液Cを移動させる。さらに、基板Wを覆う外気流を形成し、この外気流と基板Wとの間に内気流が流れることによって、内気流は洗浄液Cを効果的に移動できる。よって、基板Wから洗浄液Cを速やかに除去でき、基板Wを短時間で乾燥できる。
図8は、実施例2に係る現像装置の概略構成を示すブロック図である。なお、実施例1と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
次に、実施例に係る現像装置1の動作について説明する。
図9は、現像装置1による処理の手順を示すフローチャートである。以下の説明では、既に、基板Wが、その表面を上にしてスピンチャック3に保持されているものとする。スピンチャック3基板Wの表面には、露光処理が施されたレジスト膜Rが被着されている。また、各部材の動作は基本的に制御部37の制御による。
基板Wに現像液を供給して基板Wを現像する。
現像後の基板Wに洗浄液Caを供給して基板Wを洗浄する。
基板Wに洗浄液Cbを供給して基板W上の洗浄液Caを洗浄液Cbに置換する。
基板Wの回転数を低下させる。これにより、洗浄液Cbを基板W上に盛る。
基板W上に盛られた洗浄液Cbの膜厚を薄くする。
基板Wを回転させ、外気流と内気流を形成する。本実施例では、さらに、気体ノズル19を処理位置(基板Wの中央部の上方)から移動させる。
このように、本実施例2によっても、基板Wを短時間で乾燥できる等といった実施例1と同様の効果を奏する。
15 … 現像液ノズル
19 … 洗浄液ノズル
19 … 気体ノズル
19a … 下部吐出口
19b … 側部吐出口
37 … 制御部
C、Ca、Cb … 洗浄液(液膜)
R … レジスト膜
P1、P2、P3、P4 … レジストパターン
W … 基板
Claims (13)
- 現像後の基板に洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄工程と、
基板上に洗浄液を盛る液盛工程と、
基板上に盛られた洗浄液の膜厚を薄くする薄膜化工程と、
基板を回転させ、基板の上方を覆う外気流を形成し、基板上の洗浄液を移動させるための内気流を外気流と基板との間に形成する乾燥工程と、
を備え、
乾燥工程は、外気流が基板の上方を覆った状態で内気流が基板の中央部に向かって流れることによって、基板の中央部における洗浄液を周囲に移動させ、基板の中央部を露出させる基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1に記載の基板洗浄乾燥方法において、
内気流は基板の上面に向かって流れ、
外気流は基板の上方を略水平方向に流れる基板洗浄乾燥方法。 - 請求項2に記載の基板洗浄乾燥方法において、
内気流は基板の上面に当たって周囲に広がり、
外気流は周囲に広がる内気流の高さ位置を低くさせる基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
外気流は平面視で基板の中央部から周縁部に向けて流れ、
内気流は基板の中央部に当たって基板の周縁部に広がる基板洗浄乾燥方法。 - 請求項4に記載の基板洗浄乾燥方法において、
外気流は、基板の中央部の上方から略水平方向に気体を吐出することによって生成され、
内気流は、基板の中央部の上方から略鉛直下方に気体を吐出することによって生成される基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
外気流および内気流を、単一の気体ノズルによって同時に生成する基板洗浄乾燥方法。 - 請求項6に記載の基板洗浄乾燥方法において、
外気流は、気体ノズルの側面から気体を周囲に吐出することによって生成され、
内気流は、気体ノズルの下面から気体を下方に吐出することによって生成される基板洗浄乾燥方法。 - 請求項6または7に記載の基板洗浄乾燥方法において、
気体ノズルは平面視で基板よりも小さい基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から8のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
乾燥工程では、気体ノズルによって外気流および内気流を生成させながら、気体ノズルを基板の中央部の上方の位置から略水平方向に移動させる基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から9のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
乾燥工程では基板に洗浄液を供給しない基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から10のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
乾燥工程では、基板の回転数を所定の上限値以下として、基板の周縁端をその内側よりも先に乾燥させない基板洗浄乾燥方法。 - 請求項1から11のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法において、
乾燥工程では、外気流は基板の上方全域を覆う基板洗浄乾燥方法。 - 基板現像方法であって、
請求項1から12のいずれかに記載の基板洗浄乾燥方法を含み、
さらに、基板に現像液を供給して基板を現像する工程と、
を備える基板現像方法。
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