CN208373467U - 一种片式元件涂硼机 - Google Patents
一种片式元件涂硼机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208373467U CN208373467U CN201820364923.9U CN201820364923U CN208373467U CN 208373467 U CN208373467 U CN 208373467U CN 201820364923 U CN201820364923 U CN 201820364923U CN 208373467 U CN208373467 U CN 208373467U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sucker
- vacuum
- boron
- rotary
- connect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 31
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 31
- 238000010422 painting Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 7
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- GVVPGTZRZFNKDS-JXMROGBWSA-N geranyl diphosphate Chemical compound CC(C)=CCC\C(C)=C\CO[P@](O)(=O)OP(O)(O)=O GVVPGTZRZFNKDS-JXMROGBWSA-N 0.000 description 3
- 230000000505 pernicious effect Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述真空转动吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸盘连接的转轴，所述转轴连接在调速电机的输出轴上。本涂硼机将元件吸附在转动的吸盘上，人工用毛刷在元件表面涂布硼液，该种夹持方式克服了机械装夹中对元件、尤其是元件边缘可能造成的损伤，降低了废品率，提高了生产效率和产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及片式元件加工技术领域，尤其是涉及一种片式元件涂硼机。
背景技术
GPP芯片是借助玻璃钝化层对pn结区进行保护的芯片，即在硅片P+面上利用化学腐蚀方法开出一定深度的沟槽并将暴露的pn结用玻璃钝化层保护起来，该种GPP芯片的优点是工艺简单易行，电性能可靠性高且成本低廉。
GPP芯片的制造工艺流程为：选择硅片→对硅片进行清洗→磷扩→分片→单面喷砂→涂硼前清洗→涂硼→扩硼→双面喷砂→镀镍前清洗→镀镍、镍烧结和二次镀镍。该工艺的涂硼步骤中，涂硼机一般为将硅片卡装在旋转盘上，人工用毛刷在硅片表面涂硼液，该种方式存在以下缺陷：硅片卡装操作复杂，且容易产生硅片卡损现象。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种采用真空吸附方式对硅片实现卡装的涂硼机，该卡装方式可有效避免涂硼卡装对硅片的卡损，采用的技术方案是：一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸盘连接的转轴，所述转轴连接在调速电机的输出轴上。
为将涂硼中挥发出来的有害气体尽量收集后排出，尽量减小对人体的伤害，本涂硼机还包括护罩，所述旋转工作台位于护罩内，所述护罩与排气通道连接。
为提升有害气体的排出效果、增大排风量，本涂硼机排气通道与风机连接。
本实用新型的有益效果在于：本涂硼机将元件吸附在转动的吸盘上，人工用毛刷在元件表面涂布硼液，该种夹持方式克服了机械装夹中对元件、尤其是元件边缘可能造成的损伤，降低了废品率，提高了生产效率和产品质量。
附图说明
附图1是本实用新型结构示意图，附图2是附图1的A向视图，其中1是机架，2是调速电机，3是真空室，4是真空转动吸盘，41是沟槽，5是护罩，6是排气通道。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行说明。本实用新型公开了一种片式元件涂硼机，该涂硼机包括机架1和设置在机架1上的旋转工作台，旋转工作台包括内部设有气室的真空转动吸盘4，真空转动吸盘4内部形成一个腔室，且表面有镂空的沟槽41，真空转动吸盘4与位于其下部的真空室3连通，真空室3与抽真空设备（图中未示出）连接，这样，在抽真空设备作用下，将片式元件置于真空转动吸盘4上之后，真空室3以及与真空室3连通的真空转动吸盘4的内部气室压力远低于大气压，片式元件被吸附在真空转动吸盘4的上表面上。
本涂硼机的旋转工作台还包括与真空转动吸盘4连接的转轴，转轴连接在调速电机2的输出轴上，本实施例中，转轴穿过真空室3与真空转动吸盘4连接。
本涂硼机还包括连接在机架1上的护罩5，旋转工作台位于护罩5内，护罩5与排气通道6连接，排气通道6与风机连接。由于硼液为乙二醇甲醚：三氧化二硼按照1:4 的体积比配置，外界温度一旦升高，硼液挥发出的有害气体成分将对环境造成一定影响，通过连接风机的排气管道与护罩5的设置，可有效降低挥发物对人体的损害。
使用时，将片式元件放置在真空转动吸盘4上，真空转动吸盘吸住元件并带其转动；人工用毛刷在元件表面涂布硼液，元件的转动也给硼液在元件表面均匀分布提供了必要的离心力；涂布完成后，关闭抽真空设备，取下元件即可。
当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种片式元件涂硼机，包括机架和设置在机架上的旋转工作台，其特征在于：所述旋转工作台包括真空转动吸盘，所述真空转动吸盘的表面有镂空的沟槽，所述真空转动吸盘与真空室连通，所述真空室与抽真空设备连接；所述旋转工作台还包括与真空转动吸盘连接的转轴，所述转轴连接在调速电机的输出轴上。
2.按照权利要求1所述的涂硼机，其特征在于：所述涂硼机还包括护罩，所述旋转工作台位于护罩内，所述护罩与排气通道连接。
3.按照权利要求2所述的涂硼机，其特征在于：所述排气通道与风机连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820364923.9U CN208373467U (zh) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 一种片式元件涂硼机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820364923.9U CN208373467U (zh) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 一种片式元件涂硼机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208373467U true CN208373467U (zh) | 2019-01-15 |
Family
ID=64975058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820364923.9U Active CN208373467U (zh) | 2018-03-19 | 2018-03-19 | 一种片式元件涂硼机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208373467U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110052370A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-26 | 苏州美图半导体技术有限公司 | 匀胶机真空匀胶装置 |
| TWI847551B (zh) | 2022-12-26 | 2024-07-01 | 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 | 矽片鈍化系統及矽片鈍化系統的工作方法 |
-
2018
- 2018-03-19 CN CN201820364923.9U patent/CN208373467U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110052370A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-26 | 苏州美图半导体技术有限公司 | 匀胶机真空匀胶装置 |
| CN110052370B (zh) * | 2019-05-15 | 2024-04-02 | 苏州美图半导体技术有限公司 | 匀胶机真空匀胶装置 |
| TWI847551B (zh) | 2022-12-26 | 2024-07-01 | 大陸商西安奕斯偉材料科技股份有限公司 | 矽片鈍化系統及矽片鈍化系統的工作方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101559428B (zh) | 旋转清洗装置和加工装置 | |
| CN208373467U (zh) | 一种片式元件涂硼机 | |
| CN105032840A (zh) | 一种叶片零件多槽超声波清洗机 | |
| CN105195463A (zh) | 喷油嘴清洗机 | |
| CN205184543U (zh) | 一种建筑装饰装修喷砂器 | |
| CN204365650U (zh) | 除尘机 | |
| CN209647128U (zh) | 静电除尘装置 | |
| CN203843638U (zh) | 一种砂光装置 | |
| CN104675840A (zh) | 一种晶体吸盘装置 | |
| CN203030580U (zh) | 一种常压等离子体自由基清洗设备 | |
| CN211437204U (zh) | 一种全自动吸嘴清洗机的雾化钢 | |
| CN106040514A (zh) | 一种化工泵泵体油漆的涂刷方法 | |
| CN207116405U (zh) | 一种无损伤硅片吸盘 | |
| CN104409401B (zh) | 一种等离子清洗设备 | |
| CN215088220U (zh) | 一种金属表面处理设备 | |
| CN205949377U (zh) | 一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置 | |
| CN106670979B (zh) | 在线表面处理装置 | |
| CN206717585U (zh) | 一种打磨装置 | |
| CN105772271A (zh) | 一种喷漆装置 | |
| CN205856565U (zh) | 一种金回收装置 | |
| CN104069704A (zh) | 烟尘处理机 | |
| CN104388935B (zh) | 半导体硅平板芯片台面旋转腐蚀酸及台面旋转腐蚀工艺 | |
| CN108015077A (zh) | 一种集成式气动夹具 | |
| CN208098847U (zh) | 一种集成式气动夹具 | |
| CN210099773U (zh) | 一种用于工件表面微研磨与抛光的气动喷砂机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A Boron Coating Machine for Chip Components Effective date of registration: 20230321 Granted publication date: 20190115 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980035528 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20231212 Granted publication date: 20190115 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980035528 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A boron coating machine for chip components Effective date of registration: 20231215 Granted publication date: 20190115 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980071958 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |