CN108015077A - 一种集成式气动夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种集成式气动夹具,包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管,将硅片直接置于设置在模具上的定位槽内,经吸气胶管将直管抽成负压,使得吸取块将硅片吸取,从而完成定位夹紧,当需要将硅片取出时,经进气管向进气道内泵入压缩空气,压缩空气进入滑动腔内,从而推动推动与活塞固连的直管上移,进而带动吸取块吸取的硅片上移,操作人员即可将硅片取出,随后,停止向进气管泵入压缩空气,弹簧复位,从而带动吸取块落入避让槽内。该装置结构简单,能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料,通过集成式设计,有效降低制造成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种机械装置,尤其涉及一种集成式气动夹具。
背景技术
半导体器件生产中硅片须经严格清洗,微量污染也会导致器件失效,清洗的目的在于清除表面污染杂质,清除污染的方法有物理清洗和化学清洗,物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除,在清洗过程中需要将硅片进行定位、夹紧,同时,为了便于硅片取出还设有顶出机构,由于定位、夹紧、顶出机构多独立设置,不仅结构复杂而且制造成本高。鉴于以上缺陷,实有必要设计一种集成式气动夹具。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成式气动夹具,该集成式气动夹具能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料,通过集成式设计,有效降低制造成本。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种集成式气动夹具,包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管,所述的底板位于安装座上端,所述的底板与安装座通过螺栓相连,所述的模具位于底板上端,所述的模具与底板通过螺栓相连,所述的密封套贯穿底板,所述的密封套与底板螺纹相连,所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套,所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动,所述的模具还设有进气道,所述的进气道不贯穿模具主体,所述的进气管位于模具外侧,所述的进气管与模具螺纹相连,所述进气管的腔体与进气道的腔体互通;
所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、弹簧、吸取块、橡胶垫,所述的直管贯穿模具且贯穿密封套,所述的活塞位于直管外侧,所述的活塞与直管螺纹相连,所述的弹簧位于直管外侧且位于活塞上端,所述的吸取块位于直管上端,所述的吸取块与直管螺纹相连,所述的橡胶垫位于吸取块上端,所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。
本发明进一步的改进如下:
进一步的,所述的模具还设有定位槽,所述的定位槽位于模具顶部,所述的定位槽不贯穿模具主体。
进一步的,所述的模具还设有滑动腔,所述滑动腔的腔体与进气道的腔体互通。
进一步的,所述的模具还设有避让槽,所述的避让槽位于模具顶部,所述的避让槽不贯穿模具主体。
进一步的,所述的密封套还设有密封圈,所述的密封圈位于密封套内侧,密封圈有效密封直管与密封套4件的接触面,防止漏气。
进一步的,所述的直管还设有吸气胶管,所述的吸气胶管位于直管下端,所述的吸气胶管与直管紧配相连。
进一步的,所述的吸取块还设有若干吸孔,所述的吸孔贯穿吸取块主体,橡胶垫用于密封,使得经吸孔抽气时,能将硅片吸紧。
与现有技术相比,该集成式气动夹具,工作时,将硅片直接置于设置在模具上的定位槽内,经吸气胶管将直管抽成负压,使得吸取块将硅片吸取,从而完成定位夹紧,当需要将硅片取出时,经进气管向进气道内泵入压缩空气,压缩空气进入滑动腔内,从而推动推动与活塞固连的直管上移,进而带动吸取块吸取的硅片上移,操作人员即可将硅片取出,随后,停止向进气管泵入压缩空气,弹簧复位,从而带动吸取块落入避让槽内。该装置结构简单,能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料,通过集成式设计,有效降低制造成本。
附图说明
图1示出本发明主视图
图2示出本发明滑动吸取机构结构示意图
图3示出本发明吸取块俯视图
图中:安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气道6、进气管7、定位槽301、滑动腔302、避让槽303、密封圈401、直管501、活塞502、弹簧503、吸取块504、橡胶垫505、吸气胶管506、吸孔507。
具体实施方式
如图1、图2、图3所示,一种集成式气动夹具,包括安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气道6、进气管7,所述的底板2位于安装座1上端,所述的底板2与安装座1通过螺栓相连,所述的模具3位于底板2上端,所述的模具3与底板2通过螺栓相连,所述的密封套4贯穿底板2,所述的密封套4与底板2螺纹相连,所述的滑动吸取机构5贯穿模具3且贯穿密封套4,所述的滑动吸取机构5可沿模具3上下滑动,所述的模具3还设有进气道6,所述的进气道6不贯穿模具3主体,所述的进气管7位于模具3外侧,所述的进气管7与模具3螺纹相连,所述进气管7的腔体与进气道6的腔体互通,所述的滑动吸取机构5还包括直管501、活塞502、弹簧503、吸取块504、橡胶垫505,所述的直管501贯穿模具3且贯穿密封套4,所述的活塞502位于直管501外侧,所述的活塞502与直管501螺纹相连,所述的弹簧503位于直管501外侧且位于活塞502上端,所述的吸取块504位于直管501上端,所述的吸取块504与直管501螺纹相连,所述的橡胶垫505位于吸取块504上端,所述的橡胶垫505与吸取块504粘接相连,所述的模具3还设有定位槽301,所述的定位槽301位于模具3顶部,所述的定位槽301不贯穿模具3主体,所述的模具3还设有滑动腔302,所述滑动腔302的腔体与进气道6的腔体互通,所述的模具3还设有避让槽303,所述的避让槽303位于模具3顶部,所述的避让槽303不贯穿模具3主体,所述的密封套4还设有密封圈401,所述的密封圈401位于密封套4内侧,密封圈401有效密封直管501与密封套4件的接触面,防止漏气,所述的直管501还设有吸气胶管506,所述的吸气胶管506位于直管501下端,所述的吸气胶管506与直管501紧配相连,所述的吸取块504还设有若干吸孔507,所述的吸孔507贯穿吸取块504主体,橡胶垫505用于密封,使得经吸孔507抽气时,能将硅片吸紧,该集成式气动夹具,工作时,将硅片直接置于设置在模具3上的定位槽301内,经吸气胶管506将直管501抽成负压,使得吸取块504将硅片吸取,从而完成定位夹紧,当需要将硅片取出时,经进气管7向进气道6内泵入压缩空气,压缩空气进入滑动腔302内,从而推动推动与活塞502固连的直管501上移,进而带动吸取块504吸取的硅片上移,操作人员即可将硅片取出,随后,停止向进气管7泵入压缩空气,弹簧503复位,从而带动吸取块504落入避让槽303内。该装置结构简单,能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料,通过集成式设计,有效降低制造成本。
本发明不局限于上述具体的实施方式,本领域的普通技术人员从上述构思出发,不经过创造性的劳动,所做出的种种变换,均落在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种集成式气动夹具,其特征在于包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管,所述的底板位于安装座上端,所述的底板与安装座通过螺栓相连,所述的模具位于底板上端,所述的模具与底板通过螺栓相连,所述的密封套贯穿底板,所述的密封套与底板螺纹相连,所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套,所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动,所述的模具还设有进气道,所述的进气道不贯穿模具主体,所述的进气管位于模具外侧,所述的进气管与模具螺纹相连,所述进气管的腔体与进气道的腔体互通;
所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、弹簧、吸取块、橡胶垫,所述的直管贯穿模具且贯穿密封套,所述的活塞位于直管外侧,所述的活塞与直管螺纹相连,所述的弹簧位于直管外侧且位于活塞上端,所述的吸取块位于直管上端,所述的吸取块与直管螺纹相连,所述的橡胶垫位于吸取块上端,所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。
2.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的模具还设有定位槽,所述的定位槽位于模具顶部,所述的定位槽不贯穿模具主体。
3.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的模具还设有滑动腔,所述滑动腔的腔体与进气道的腔体互通。
4.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的模具还设有避让槽,所述的避让槽位于模具顶部,所述的避让槽不贯穿模具主体。
5.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的密封套还设有密封圈,所述的密封圈位于密封套内侧。
6.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的直管还设有吸气胶管,所述的吸气胶管位于直管下端,所述的吸气胶管与直管紧配相连。
7.如权利要求1所述的集成式气动夹具,其特征在于所述的吸取块还设有若干吸孔,所述的吸孔贯穿吸取块主体。
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