CN108015077A - 一种集成式气动夹具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种集成式气动夹具，包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管，将硅片直接置于设置在模具上的定位槽内，经吸气胶管将直管抽成负压，使得吸取块将硅片吸取，从而完成定位夹紧，当需要将硅片取出时，经进气管向进气道内泵入压缩空气，压缩空气进入滑动腔内，从而推动推动与活塞固连的直管上移，进而带动吸取块吸取的硅片上移，操作人员即可将硅片取出，随后，停止向进气管泵入压缩空气，弹簧复位，从而带动吸取块落入避让槽内。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料，通过集成式设计，有效降低制造成本。

Description

一种集成式气动夹具

技术领域

本发明涉及一种机械装置，尤其涉及一种集成式气动夹具。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，在清洗过程中需要将硅片进行定位、夹紧，同时，为了便于硅片取出还设有顶出机构，由于定位、夹紧、顶出机构多独立设置，不仅结构复杂而且制造成本高。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种集成式气动夹具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种集成式气动夹具，该集成式气动夹具能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料，通过集成式设计，有效降低制造成本。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种集成式气动夹具，包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管，所述的底板位于安装座上端，所述的底板与安装座通过螺栓相连，所述的模具位于底板上端，所述的模具与底板通过螺栓相连，所述的密封套贯穿底板，所述的密封套与底板螺纹相连，所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套，所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动，所述的模具还设有进气道，所述的进气道不贯穿模具主体，所述的进气管位于模具外侧，所述的进气管与模具螺纹相连，所述进气管的腔体与进气道的腔体互通；

所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、弹簧、吸取块、橡胶垫，所述的直管贯穿模具且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与直管螺纹相连，所述的弹簧位于直管外侧且位于活塞上端，所述的吸取块位于直管上端，所述的吸取块与直管螺纹相连，所述的橡胶垫位于吸取块上端，所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。

本发明进一步的改进如下：

进一步的，所述的模具还设有定位槽，所述的定位槽位于模具顶部，所述的定位槽不贯穿模具主体。

进一步的，所述的模具还设有滑动腔，所述滑动腔的腔体与进气道的腔体互通。

进一步的，所述的模具还设有避让槽，所述的避让槽位于模具顶部，所述的避让槽不贯穿模具主体。

进一步的，所述的密封套还设有密封圈，所述的密封圈位于密封套内侧，密封圈有效密封直管与密封套4件的接触面，防止漏气。

进一步的，所述的直管还设有吸气胶管，所述的吸气胶管位于直管下端，所述的吸气胶管与直管紧配相连。

进一步的，所述的吸取块还设有若干吸孔，所述的吸孔贯穿吸取块主体，橡胶垫用于密封，使得经吸孔抽气时，能将硅片吸紧。

与现有技术相比，该集成式气动夹具，工作时，将硅片直接置于设置在模具上的定位槽内，经吸气胶管将直管抽成负压，使得吸取块将硅片吸取，从而完成定位夹紧，当需要将硅片取出时，经进气管向进气道内泵入压缩空气，压缩空气进入滑动腔内，从而推动推动与活塞固连的直管上移，进而带动吸取块吸取的硅片上移，操作人员即可将硅片取出，随后，停止向进气管泵入压缩空气，弹簧复位，从而带动吸取块落入避让槽内。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料，通过集成式设计，有效降低制造成本。

附图说明

图1示出本发明主视图

图2示出本发明滑动吸取机构结构示意图

图3示出本发明吸取块俯视图

图中：安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气道6、进气管7、定位槽301、滑动腔302、避让槽303、密封圈401、直管501、活塞502、弹簧503、吸取块504、橡胶垫505、吸气胶管506、吸孔507。

具体实施方式

如图1、图2、图3所示，一种集成式气动夹具，包括安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气道6、进气管7，所述的底板2位于安装座1上端，所述的底板2与安装座1通过螺栓相连，所述的模具3位于底板2上端，所述的模具3与底板2通过螺栓相连，所述的密封套4贯穿底板2，所述的密封套4与底板2螺纹相连，所述的滑动吸取机构5贯穿模具3且贯穿密封套4，所述的滑动吸取机构5可沿模具3上下滑动，所述的模具3还设有进气道6，所述的进气道6不贯穿模具3主体，所述的进气管7位于模具3外侧，所述的进气管7与模具3螺纹相连，所述进气管7的腔体与进气道6的腔体互通，所述的滑动吸取机构5还包括直管501、活塞502、弹簧503、吸取块504、橡胶垫505，所述的直管501贯穿模具3且贯穿密封套4，所述的活塞502位于直管501外侧，所述的活塞502与直管501螺纹相连，所述的弹簧503位于直管501外侧且位于活塞502上端，所述的吸取块504位于直管501上端，所述的吸取块504与直管501螺纹相连，所述的橡胶垫505位于吸取块504上端，所述的橡胶垫505与吸取块504粘接相连，所述的模具3还设有定位槽301，所述的定位槽301位于模具3顶部，所述的定位槽301不贯穿模具3主体，所述的模具3还设有滑动腔302，所述滑动腔302的腔体与进气道6的腔体互通，所述的模具3还设有避让槽303，所述的避让槽303位于模具3顶部，所述的避让槽303不贯穿模具3主体，所述的密封套4还设有密封圈401，所述的密封圈401位于密封套4内侧，密封圈401有效密封直管501与密封套4件的接触面，防止漏气，所述的直管501还设有吸气胶管506，所述的吸气胶管506位于直管501下端，所述的吸气胶管506与直管501紧配相连，所述的吸取块504还设有若干吸孔507，所述的吸孔507贯穿吸取块504主体，橡胶垫505用于密封，使得经吸孔507抽气时，能将硅片吸紧，该集成式气动夹具，工作时，将硅片直接置于设置在模具3上的定位槽301内，经吸气胶管506将直管501抽成负压，使得吸取块504将硅片吸取，从而完成定位夹紧，当需要将硅片取出时，经进气管7向进气道6内泵入压缩空气，压缩空气进入滑动腔302内，从而推动推动与活塞502固连的直管501上移，进而带动吸取块504吸取的硅片上移，操作人员即可将硅片取出，随后，停止向进气管7泵入压缩空气，弹簧503复位，从而带动吸取块504落入避让槽303内。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料，通过集成式设计，有效降低制造成本。

本发明不局限于上述具体的实施方式，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所做出的种种变换，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种集成式气动夹具，其特征在于包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气道、进气管，所述的底板位于安装座上端，所述的底板与安装座通过螺栓相连，所述的模具位于底板上端，所述的模具与底板通过螺栓相连，所述的密封套贯穿底板，所述的密封套与底板螺纹相连，所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套，所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动，所述的模具还设有进气道，所述的进气道不贯穿模具主体，所述的进气管位于模具外侧，所述的进气管与模具螺纹相连，所述进气管的腔体与进气道的腔体互通；

所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、弹簧、吸取块、橡胶垫，所述的直管贯穿模具且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与直管螺纹相连，所述的弹簧位于直管外侧且位于活塞上端，所述的吸取块位于直管上端，所述的吸取块与直管螺纹相连，所述的橡胶垫位于吸取块上端，所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。

2.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的模具还设有定位槽，所述的定位槽位于模具顶部，所述的定位槽不贯穿模具主体。

3.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的模具还设有滑动腔，所述滑动腔的腔体与进气道的腔体互通。

4.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的模具还设有避让槽，所述的避让槽位于模具顶部，所述的避让槽不贯穿模具主体。

5.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的密封套还设有密封圈，所述的密封圈位于密封套内侧。

6.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的直管还设有吸气胶管，所述的吸气胶管位于直管下端，所述的吸气胶管与直管紧配相连。

7.如权利要求1所述的集成式气动夹具，其特征在于所述的吸取块还设有若干吸孔，所述的吸孔贯穿吸取块主体。