CN208217846U - 一种可自动翻转的硅片放置机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可自动翻转的硅片放置机构，安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气通道、进气管、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹取机构、第一接近开关、第二接近开关，将硅片直接置于定位槽内，滑动吸取机构将硅片吸取完成定位夹紧，翻转时，压缩空气进入滑动腔内，推动与活塞上移，气缸推动支座前移，硅片伸入到夹取机构内侧，电磁铁失电将硅片夹紧，气缸复位，伺服电机带动转轴转动180°，气缸推动支座前移，电磁铁得电，硅片落在滑动吸取机构上。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料以及自动翻转，提高生产效率，而且通过集成化设计，有效降低制造成本。

Description

一种可自动翻转的硅片放置机构

技术领域

本实用新型涉及一种机械装置，尤其涉及一种可自动翻转的硅片放置机构。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，在清洗过程中需要将硅片进行定位、夹紧，同时，为了便于硅片取出还设有顶出机构，由于定位、夹紧、顶出机构多独立设置，不仅结构复杂而且制造成本高，同时，由于在硅片清洗过程中需要将硅片翻转180°，传统方法多是手动翻转，效率较低。鉴于以上缺陷，实有必要设计一种可自动翻转的硅片放置机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可自动翻转的硅片放置机构，该可自动翻转的硅片放置机构能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料以及自动翻转，提高生产效率，而且通过集成化设计，有效降低制造成本。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种可自动翻转的硅片放置机构，安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气通道、进气管、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹取机构、第一接近开关、第二接近开关，所述的底板位于安装座上端，所述的底板与安装座通过螺栓相连，所述的模具位于底板上端右侧，所述的模具与底板通过螺栓相连，所述的密封套贯穿底板，所述的密封套与底板螺纹相连，所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套，所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动，所述的模具还设有进气通道，所述的进气通道不贯穿模具主体，所述的进气管位于模具外侧，所述的进气管与模具螺纹相连，所述进气管的腔体与进气通道的腔体互通，所述的固定座位于底板上端左侧，所述的固定座与底板通过螺栓相连，所述的气缸位于固定座左侧，所述的气缸与固定座通过螺栓相连，所述的滑动板位于底板上端左侧且位于气缸右侧，所述的滑动板与气缸螺纹相连，所述的滑动板可以沿底板左右滑动，所述的支座位于滑动板顶部，所述的支座与滑动板通过螺栓相连，所述的伺服电机位于支座上端左侧，所述的伺服电机与支座通过螺栓相连，所述的转轴贯穿支座，所述的第一齿轮位于伺服电机右侧，所述的第一齿轮与伺服电机键相连，所述的转轴与支座转动相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且被转轴贯穿，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的夹取机构位于转轴右侧，所述的夹取机构与转轴螺纹相连，所述的第一接近开关位于底板上端中部，所述的第一接近开关与底板通过螺栓相连，所述的第二接近开关贯穿固定座，所述的第二接近开关与固定座螺纹相连。

本实用新型进一步的改进如下：

进一步的，所述的模具还设有定位槽，所述的定位槽位于模具顶部，所述的定位槽不贯穿模具主体。

进一步的，所述的模具还设有滑动腔，所述滑动腔的腔体与进气通道的腔体互通。

进一步的，所述的密封套还设有密封圈，所述的密封圈位于密封套内侧，密封圈有效密封直管与密封套的接触面，防止漏气。

进一步的，所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、第一弹簧、吸取块、橡胶垫，所述的直管贯穿模具且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与气缸螺纹相连，所述的第一弹簧位于直管外侧且位于活塞上端，所述的吸取块位于直管上端，所述的吸取块与直管螺纹相连，所述的橡胶垫位于吸取块上端，所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。

进一步的，所述的直管还设有吸气胶管，所述的吸气胶管位于直管下端，所述的吸气胶管与直管紧配相连。

进一步的，所述的吸取块还设有若干吸孔，所述的吸孔贯穿吸取块主体，橡胶垫用于密封，使得经吸孔抽气时，能将硅片吸紧。

进一步的，所述的夹取机构还包括U型架、电磁铁、导杆、夹板、第二弹簧，所述的U型架位于转轴左侧，所述的U型架与转轴螺纹相连，所述的电磁铁位于U型架内侧上端，所述的电磁铁与U型架通过螺栓相连，所述的导杆贯穿U 型架，所述的导杆可沿U型架上下滑动，所述的夹板位于导杆下端，所述的夹板与导杆螺纹相连，所述的第二弹簧位于导杆外侧且位于U型架和夹板之间。

进一步的，所述的U型架还设有第一垫板，所述的第一垫板位于U型架内侧底部，所述的第一垫板与U型架粘接相连。

进一步的，所述的夹板还设有第二垫板，所述的第二垫板与夹板粘接相连。

与现有技术相比，该可自动翻转的硅片放置机构，工作时，将硅片直接置于设置在模具上的定位槽内，经吸气胶管将直管抽成负压，使得吸取块将硅片吸取，从而完成定位夹紧，翻转时，经进气管向进气通道内泵入压缩空气，压缩空气进入滑动腔内，从而推动推动与活塞固连的直管上移，进而带动吸取块吸取的硅片上移，随后，气缸推动与滑动板固连的支座前移，当第一接近开关触发时，硅片伸入到夹取机构内侧，随后，电磁铁失电，第二弹簧复位推动夹板带动第二垫片向第一垫板处移动，从而将硅片夹紧，随后，气缸复位，当第二接近开关触发时，伺服电机通过第一齿轮带动与第二齿轮固连的转轴转动 180°，从而带动夹持有硅片的夹取机构翻转180°，随后，气缸推动支座前移，当第一接近开关触发时，电磁铁得电，硅片落在滑动吸取机构上，停止向进气管泵入压缩空气，第一弹簧复位，从而带动吸取块落入模座内。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料以及自动翻转，提高生产效率，而且通过集成化设计，有效降低制造成本。

附图说明

图1示出本实用新型主视图

图2示出本实用新型滑动吸取机构结构示意图

图3示出本实用新型吸取块俯视图

图4示出本实用新型夹取机构结构示意图

图中：安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气通道6、进气管7、固定座8、气缸9、滑动板10、支座11、伺服电机12、第一齿轮13、转轴14、第二齿轮15、夹取机构16、第一接近开关17、第二接近开关18、定位槽301、滑动腔302、密封圈401、直管501、活塞502、弹簧503、吸取块504、橡胶垫505、吸气胶管506、吸孔507、U型架1601、电磁铁1602、导杆1603、夹板1604、第二弹簧1605、第一垫板1606、第二垫板1607。

具体实施方式

如图1、图2、图3、图4所示，一种可自动翻转的硅片放置机构，安装座1、底板2、模具3、密封套4、滑动吸取机构5、进气通道6、进气管7、固定座8、气缸9、滑动板10、支座11、伺服电机12、第一齿轮13、转轴14、第二齿轮 15、夹取机构16、第一接近开关17、第二接近开关18，所述的底板2位于安装座1上端，所述的底板2与安装座1通过螺栓相连，所述的模具3位于底板2 上端右侧，所述的模具3与底板2通过螺栓相连，所述的密封套4贯穿底板2，所述的密封套4与底板2螺纹相连，所述的滑动吸取机构5贯穿模具3且贯穿密封套4，所述的滑动吸取机构5可沿模具3上下滑动，所述的模具3还设有进气通道6，所述的进气通道6不贯穿模具3主体，所述的进气管7位于模具3外侧，所述的进气管7与模具3螺纹相连，所述进气管7的腔体与进气通道6的腔体互通，所述的固定座8位于底板2上端左侧，所述的固定座8与底板2通过螺栓相连，所述的气缸9位于固定座8左侧，所述的气缸9与固定座8通过螺栓相连，所述的滑动板10位于底板2上端左侧且位于气缸9右侧，所述的滑动板10与气缸9螺纹相连，所述的滑动板10可以沿底板2左右滑动，所述的支座11位于滑动板10顶部，所述的支座11与滑动板10通过螺栓相连，所述的伺服电机12位于支座11上端左侧，所述的伺服电机12与支座11通过螺栓相连，所述的转轴14贯穿支座11，所述的第一齿轮13位于伺服电机12右侧，所述的第一齿轮13与伺服电机12键相连，所述的转轴14与支座11转动相连，所述的第二齿轮15位于第一齿轮13下端且被转轴14贯穿，所述的第二齿轮15 与第一齿轮13啮合相连且与转轴14键相连，所述的夹取机构16位于转轴14 右侧，所述的夹取机构16与转轴14螺纹相连，所述的第一接近开关17位于底板2上端中部，所述的第一接近开关17与底板2通过螺栓相连，所述的第二接近开关18贯穿固定座8，所述的第二接近开关18与固定座8螺纹相连，所述的模具3还设有定位槽301，所述的定位槽301位于模具3顶部，所述的定位槽 301不贯穿模具3主体，所述的模具3还设有滑动腔302，所述滑动腔302的腔体与进气通道6的腔体互通，所述的密封套4还设有密封圈401，所述的密封圈 401位于密封套4内侧，密封圈401有效密封直管501与密封套4的接触面，防止漏气，所述的滑动吸取机构5还包括直管501、活塞502、第一弹簧503、吸取块504、橡胶垫505，所述的直管501贯穿模具3且贯穿密封套4，所述的活塞502位于直管501外侧，所述的活塞502与气缸9螺纹相连，所述的第一弹簧503位于直管501外侧且位于活塞502上端，所述的吸取块504位于直管501 上端，所述的吸取块504与直管501螺纹相连，所述的橡胶垫505位于吸取块 504上端，所述的橡胶垫505与吸取块504粘接相连，所述的直管501还设有吸气胶管506，所述的吸气胶管506位于直管501下端，所述的吸气胶管506与直管501紧配相连，所述的吸取块504还设有若干吸孔507，所述的吸孔507贯穿吸取块504主体，橡胶垫505用于密封，使得经吸孔507抽气时，能将硅片吸紧，所述的夹取机构16还包括U型架1601、电磁铁1602、导杆1603、夹板1604、第二弹簧1605，所述的U型架1601位于转轴14左侧，所述的U型架1601与转轴14螺纹相连，所述的电磁铁1602位于U型架1601内侧上端，所述的电磁铁1602与U型架1601通过螺栓相连，所述的导杆1603贯穿U型架1601，所述的导杆1603可沿U型架1601上下滑动，所述的夹板1604位于导杆1603下端，所述的夹板1604与导杆1603螺纹相连，所述的第二弹簧1605位于导杆1603 外侧且位于U型架1601和夹板1604之间，所述的U型架1601还设有第一垫板1606，所述的第一垫板1606位于U型架1601内侧底部，所述的第一垫板1606 与U型架1601粘接相连，所述的夹板1604还设有第二垫板1607，所述的第二垫板1607与夹板1604粘接相连，该可自动翻转的硅片放置机构，工作时，将硅片直接置于设置在模具3上的定位槽301内，经吸气胶管506将直管501抽成负压，使得吸取块504将硅片吸取，从而完成定位夹紧，翻转时，经进气管7 向进气通道6内泵入压缩空气，压缩空气进入滑动腔302内，从而推动推动与活塞502固连的直管501上移，进而带动吸取块504吸取的硅片上移，随后，气缸9推动与滑动板10固连的支座10前移，当第一接近开关17触发时，硅片伸入到夹取机构16内侧，随后，电磁铁1602失电，第二弹簧1605复位推动夹板1604带动第二垫片1607向第一垫板1606处移动，从而将硅片夹紧，随后，气缸9复位，当第二接近开关18触发时，伺服电机12通过第一齿轮13带动与第二齿轮15固连的转轴14转动180°，从而带动夹持有硅片的夹取机构16翻转180°，随后，气缸9推动支座10前移，当第一接近开关17触发时，电磁铁 1602得电，硅片落在滑动吸取机构5上，停止向进气管7泵入压缩空气，第一弹簧503复位，从而带动吸取块504落入模座5内。该装置结构简单，能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料以及自动翻转，提高生产效率，而且通过集成化设计，有效降低制造成本。

本实用新型不局限于上述具体的实施方式，本领域的普通技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所做出的种种变换，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于包括安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气通道、进气管、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹取机构、第一接近开关、第二接近开关，所述的底板位于安装座上端，所述的底板与安装座通过螺栓相连，所述的模具位于底板上端右侧，所述的模具与底板通过螺栓相连，所述的密封套贯穿底板，所述的密封套与底板螺纹相连，所述的滑动吸取机构贯穿模具且贯穿密封套，所述的滑动吸取机构可沿模具上下滑动，所述的模具还设有进气通道，所述的进气通道不贯穿模具主体，所述的进气管位于模具外侧，所述的进气管与模具螺纹相连，所述进气管的腔体与进气通道的腔体互通，所述的固定座位于底板上端左侧，所述的固定座与底板通过螺栓相连，所述的气缸位于固定座左侧，所述的气缸与固定座通过螺栓相连，所述的滑动板位于底板上端左侧且位于气缸右侧，所述的滑动板与气缸螺纹相连，所述的滑动板可以沿底板左右滑动，所述的支座位于滑动板顶部，所述的支座与滑动板通过螺栓相连，所述的伺服电机位于支座上端左侧，所述的伺服电机与支座通过螺栓相连，所述的转轴贯穿支座，所述的第一齿轮位于伺服电机右侧，所述的第一齿轮与伺服电机键相连，所述的转轴与支座转动相连，所述的第二齿轮位于第一齿轮下端且被转轴贯穿，所述的第二齿轮与第一齿轮啮合相连且与转轴键相连，所述的夹取机构位于转轴右侧，所述的夹取机构与转轴螺纹相连，所述的第一接近开关位于底板上端中部，所述的第一接近开关与底板通过螺栓相连，所述的第二接近开关贯穿固定座，所述的第二接近开关与固定座螺纹相连。

2.如权利要求1所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的模具还设有定位槽，所述的定位槽位于模具顶部，所述的定位槽不贯穿模具主体。

3.如权利要求1所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的模具还设有滑动腔，所述滑动腔的腔体与进气通道的腔体互通。

4.如权利要求1所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的密封套还设有密封圈，所述的密封圈位于密封套内侧。

5.如权利要求1所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的滑动吸取机构还包括直管、活塞、第一弹簧、吸取块、橡胶垫，所述的直管贯穿模具且贯穿密封套，所述的活塞位于直管外侧，所述的活塞与气缸螺纹相连，所述的第一弹簧位于直管外侧且位于活塞上端，所述的吸取块位于直管上端，所述的吸取块与直管螺纹相连，所述的橡胶垫位于吸取块上端，所述的橡胶垫与吸取块粘接相连。

6.如权利要求5所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的直管还设有吸气胶管，所述的吸气胶管位于直管下端，所述的吸气胶管与直管紧配相连。

7.如权利要求5所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的吸取块还设有若干吸孔，所述的吸孔贯穿吸取块主体。

8.如权利要求1所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的夹取机构还包括U型架、电磁铁、导杆、夹板、第二弹簧，所述的U型架位于转轴左侧，所述的U型架与转轴螺纹相连，所述的电磁铁位于U型架内侧上端，所述的电磁铁与U型架通过螺栓相连，所述的导杆贯穿U型架，所述的导杆可沿U型架上下滑动，所述的夹板位于导杆下端，所述的夹板与导杆螺纹相连，所述的第二弹簧位于导杆外侧且位于U型架和夹板之间。

9.如权利要求8所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的U型架还设有第一垫板，所述的第一垫板位于U型架内侧底部，所述的第一垫板与U型架粘接相连。

10.如权利要求8所述的可自动翻转的硅片放置机构，其特征在于所述的夹板还设有第二垫板，所述的第二垫板与夹板粘接相连。