CN205949377U - 一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置，涂覆清洗机具有密闭箱体，箱体内部装有保护罩，在保护罩内设有旋转吸盘，在旋转吸盘的上方设有水气二流体喷头，氮气和纯水通过管路分别引到水气二流体喷头上，在水气二流体喷头内部混合形成水雾；水雾收集循环利用装置包括抽风机、冷阱、水箱、水泵，抽风机的进气端伸进密闭箱体内，并穿过保护罩接近旋转吸盘，抽取空气和水雾，其出气端与冷阱连接，冷阱设有排气口，排出抽送过来的空气，水雾在冷阱中冷凝成水后，通过管路汇集送入水箱内，水箱存放有清洗用的纯水，并利用水泵将纯水送至水气二流体喷头。本实用新型能够有效实现涂覆清洗机的水雾收集，并将收集的水循环利用。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片的技术领域，尤其是指一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置。
背景技术
半导体芯片工业中，芯片单元由晶圆片分割而成，晶圆片主要有硅片，蓝宝石，碳化硅等，晶圆片往往具有极高的硬度，切割困难，因此激光切割机在半导体芯片工业中广泛应用。激光切割工艺中，利用激光的高能量在晶圆片表面烧出间隔道，这个过程中会产生大量的碎屑，碎屑如果附着在间隔道旁边的芯片区域会难以清除，使芯片的品质下降。因此通常在激光切割之前在晶圆片表面涂覆一层水溶性树脂保护膜，切割过程中产生的碎屑会附着在保护膜上，切割完之后再将保护膜及附着的碎屑一并清洗掉，所以通常为激光切割机配置一台涂覆清洗机。
涂覆清洗机清洗晶圆片时，同时通入氮气和水，经过水气二流体喷头形成水雾，水雾在晶圆片表面凝结成水将保护膜溶解，同时水雾具有一定的冲击力，可以加速保护膜的剥离，此种方法既节约用水，又有较高清洁效率。这种方法的缺点是会有大量颗粒较小的水雾散发到周围的空气中，在整个机台中四处飘散，到处凝结，造成到处滴水的现象，如果机台不是封闭的，水雾还会散发到机台周围的无尘室中，导致无尘室内湿度变大。所以涂覆清洗机的清洗台通常做成封闭的，内部装设排气装置，将水雾排到厂务排气系统，或者装设空气过滤器，将水雾滤掉。第一种方法需要厂务配置排气系统，安装比较麻烦，也限制了机台的使用位置；第二种方法成本较高。而且两种方法都是将收集的水雾排掉，没有做到回收利用，清洗所用的去离子水具有一定的成本，如能回收利用，能够节约一定的成本。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置，能够有效实现涂覆清洗机的水雾收集，并将收集的水循环利用。
为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置，所述涂覆清洗机具有密闭箱体，防止水雾散发到无尘室中，箱体内部装有保护罩，防止废液溅到箱体上，在保护罩内设有旋转吸盘，在旋转吸盘的上方设有水气二流体喷头，氮气和纯水通过管路分别引到水气二流体喷头上，在水气二流体喷头内部混合形成水雾；所述水雾收集循环利用装置包括有抽风机、冷阱、水箱、水泵，所述抽风机的进气端伸进密闭箱体内，并穿过保护罩接近旋转吸盘，抽取空气和水雾，其出气端与冷阱连接，该冷阱设有排气口，用于排出抽风机抽送过来的空气，水雾在冷阱中冷凝成水后，通过管路汇集送入水箱内，所述水箱存放有清洗用的纯水，并利用水泵将纯水送至水气二流体喷头。
所述密闭箱体的底部设有废液排放口。
本实用新型与现有技术相比，具有如下优点与有益效果：
本实用新型提供的水雾收集循环利用装置，能够在机台内部进行自循环，不需要厂务端额外配置排气系统，机台移动方便；回收的水可以再利用，能在一定程度上节约用水；结构简单，安装方便，成本较低。
附图说明
图1为水雾收集循环利用装置应用于涂覆清洗机的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，本实施例所述的水雾收集循环利用装置，具体应用于涂覆清洗机，它包括有抽风机8、冷阱9、水箱10、水泵11；所述涂覆清洗机具有密闭箱体2，防止水雾散发到无尘室中，箱体2内部装有保护罩3，防止废液溅到箱体2上，箱体2的底部设有废液排放口12，在保护罩3内设有旋转吸盘7，晶圆片6放于旋转吸盘7上，水气二流体喷头4位于晶圆片6上方，氮气14和纯水1通过管路分别引到水气二流体喷头4上，在水气二流体喷头4内部混合形成水雾5喷到晶圆片6上，水雾5在晶圆片6表面凝结成水，将晶圆片6表面的保护膜溶解，水雾5具有一定的冲击力，可以加速保护膜的剥离；旋转吸盘7高速转动，通过离心力将水与保护膜的混合溶液甩出，形成废液汇集之后由废液排放口12排出；所述抽风机8的进气端伸进密闭箱体2内，并穿过保护罩3接近旋转吸盘7，在箱体2内发散到周围空气中的水雾5被抽风机8抽走，抽风机8将空气和水雾5一同送入冷阱9中，冷阱9设有排气口13，空气由排气口13排出，水雾5在冷阱9中冷凝成水后，通过管路汇集送入水箱10内，水箱10存放有清洗用的纯水1，清洗时利用水泵11送入水气二流体喷头4，从而实现了纯水1一部分的循环利用。
以上所述之实施例子只为本实用新型之较佳实施例，并非以此限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (2)
1.一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置，所述涂覆清洗机具有密闭箱体，防止水雾散发到无尘室中，箱体内部装有保护罩，防止废液溅到箱体上，在保护罩内设有旋转吸盘，在旋转吸盘的上方设有水气二流体喷头，氮气和纯水通过管路分别引到水气二流体喷头上，在水气二流体喷头内部混合形成水雾；其特征在于：所述水雾收集循环利用装置包括有抽风机、冷阱、水箱、水泵，所述抽风机的进气端伸进密闭箱体内，并穿过保护罩接近旋转吸盘，抽取空气和水雾，其出气端与冷阱连接，该冷阱设有排气口，用于排出抽风机抽送过来的空气，水雾在冷阱中冷凝成水后，通过管路汇集送入水箱内，所述水箱存放有清洗用的纯水，并利用水泵将纯水送至水气二流体喷头。
2.根据权利要求1所述的一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置，其特征在于：所述密闭箱体的底部设有废液排放口。
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| CN201620840750.4U CN205949377U (zh) | 2016-08-04 | 2016-08-04 | 一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置 |
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| CN201620840750.4U CN205949377U (zh) | 2016-08-04 | 2016-08-04 | 一种应用于涂覆清洗机的水雾收集循环利用装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108080180A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-05-29 | 北京铁道工程机电技术研究所股份有限公司 | 一种车底清洗设备的防护装置 |
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2016
- 2016-08-04 CN CN201620840750.4U patent/CN205949377U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN108080180A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-05-29 | 北京铁道工程机电技术研究所股份有限公司 | 一种车底清洗设备的防护装置 |
| CN108080180B (zh) * | 2018-01-25 | 2024-07-19 | 北京铁道工程机电技术研究所股份有限公司 | 一种车底清洗设备的防护装置 |
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