CN105964498B - 一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖 - Google Patents

一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，插条式端盖包括圆形端面和下腔体；圆形端面的中心设有中心圆，中心圆的四周向外扩散均匀排布有若干列小圆孔，小圆孔的直径大小均相同，小圆孔的外围均匀分布有一圈圆弧槽，圆弧槽的个数为四个，两个相邻的圆弧槽间隙间向外扩散有一列圆孔，圆孔的直径大小均相同；下腔体的中心设有抽气孔，抽气孔呈圆台状，所述抽气孔外均匀分布有四个挡胶板。本发明为柔性托盘端盖，当大圆孔位于不同长度的挡胶板下时，可适用于不同尺寸的基片，在保证旋涂匀胶性能的同时，减小基片的形变。其柔性化工作原理为；当插在有挡胶板处时，部分圆孔被遮挡，插在无挡胶板处时，圆孔所有孔可提供吸附力。

Description

一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖
技术领域
本发明属于匀胶机设备的技术领域，具体涉及一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖。
背景技术
现有的光刻胶匀胶台采用真空吸片的方式吸住硅片，但现有的硅片承片台无法有效的阻挡光刻胶在甩动过程中渗入真空吸片口中，原因在于：现有的技术中，硅片与真空吸片口直接接触，匀胶机在高速旋转过程中，光刻胶受旋转离心力和表面张力的联合作用，被展开成一层薄膜，其中甩动过程中被甩出至硅片边缘的胶滴，由于硅片边缘与承片台吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用，部分硅片边缘的胶滴会沿着硅片的背面被吸入真空吸片口中，从而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，从而造成光刻胶薄膜的均匀性变差，同时会对匀胶台造成损伤。
在专利号为：ZL 201310686050.5、发明专利名称为：匀胶机托盘结构的专利中，虽然通过在硅片承片台的中间开设储胶槽，使光刻胶在甩动过程中被甩出至硅片背面的胶水在重力的作用下首先流入到储胶槽中，从而阻挡光刻胶被吸入真空吸片口内，解决真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞的问题。但是，在实践过程中，由于真空吸口片与硅片承载平面间会有一段空间距离，因此，硅片会在真空吸片口处承受较大的向下作用的吸力，而在中空的储胶槽的上方却没有向上的支撑力支撑，导致整个硅片的受力不均匀，从而会有硅片向下凹陷变形的情况出现，使得加工后的硅片不符合产品的要求。
并且，上述专利在实践过程中，并没有完全解决真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞的问题，原因在于：位于真空吸片口的正上方的硅片的背面的部分胶滴会处在真空吸片口的正上方，可以直接滴落至真空吸片口中，或者是通过真空吸片口的吸力直接吸入真空吸片口中，从而堵塞真空吸片口。
此外，专利号为：ZL 201310685767.8、发明专利名称为：防止胶吸入的匀胶机托盘；专利号为：ZL 201310685554.5、发明专利名称为：带保护结构的匀胶机托盘；两篇专利中，也会有上述的2个问题存在。
发明内容
发明目的：为了解决现有技术存在的不足，本发明提供了一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖。
技术方案：一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，所述的插条式端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，所述插条式端盖包括圆形端面和与所述圆形端面相匹配的下腔体；
所述圆形端面的中心设有中心圆，所述中心圆的四周向外扩散均匀排布有若干列小圆孔，所述小圆孔的直径大小均相同，所述小圆孔的外围均匀分布有一圈圆弧槽，所述圆弧槽的个数为四个，两个相邻的圆弧槽间隙间向外扩散有一列圆孔，所述圆孔的直径大小均相同；
所述下腔体的中心设有抽气孔，所述抽气孔呈圆台状，所述抽气孔外均匀分布有四个挡胶板；
所述圆形端面和下腔体之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板可对应于圆孔的正下方，挡胶板的宽度大于圆孔的直径1mm，通过旋转圆形端面调节腔体内的通气量的大小。
作为优化：所述中心圆的直径大小为6mm-10mm。
作为优化：所述小圆孔的列数为4-5个，每个小圆孔的直径大小为0.75mm-1.5mm。
作为优化：所述圆弧槽的长度为50°至75°。
作为优化：所述每一列圆孔的个数根据不同基片的端盖的尺寸确定，每个圆孔的直径大小为1.5-2mm，相邻两个圆孔之间间距为2.5-3mm，每一列圆孔的总长度为基片直径的1/4至3/10。
作为优化：所述抽气孔具体的结构尺寸：高度低于承片台2-3mm、坡度为90°至130°。
作为优化：所述挡胶板的长度为每一列圆孔总长度的1/2。
有益效果：本发明为柔性托盘端盖，当大圆孔位于不同长度的挡胶板下时，可适用于不同尺寸的基片，在保证旋涂匀胶性能的同时，减小基片的形变。其柔性化工作原理为；当插在有挡胶板处时，部分圆孔被遮挡，插在无挡胶板处时，圆孔所有孔可提供吸附力。
本发明能够同时解决胶滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷变形的2个问题，不仅延长了真空吸片口的使用寿命，而且加工后的硅片不会出现废料，从而大大节省了企业的经济成本。此外本专利解决了同一托盘可适用于不同厚度与不同尺寸规格基片的问题，实现托盘的柔性化。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图；
图2是本发明的圆形端面的结构示意图；
图3是本发明的下腔体的结构示意图；
图4是本发明的剖面结构示意图；
图5是本发明的腔内真空度分布情况示意图；
图6是本发明中无托盘端盖与插条式端盖的基片形变对比示意图；
图7是本发明中插条式端盖的基片形变示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例
如图1-4所示，一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，所述的插条式端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，所述插条式端盖包括圆形端面1和与所述圆形端面1相匹配的下腔体2。
所述圆形端面1的中心设有中心圆11，所述中心圆11的直径大小为6mm-10mm。所述中心圆11的四周向外扩散均匀排布有若干列小圆孔12，所述小圆孔12的直径大小均相同，具体地，所述小圆孔12的列数为4-5个，每个小圆孔12的直径大小为0.75mm-1.5mm。所述小圆孔12的外围均匀分布有一圈圆弧槽13，所述圆弧槽13的长度为50°至75°。所述圆弧槽13的个数为四个，两个相邻的圆弧槽13间隙间向外扩散有一列圆孔14，所述圆孔14的直径大小均相同。所述每一列圆孔14的个数根据不同基片的端盖的尺寸确定，每个圆孔14的直径大小为1.5-2mm，相邻两个圆孔14之间间距为2.5-3mm，每一列圆孔14的总长度为基片直径的1/4至3/10。
所述下腔体2的中心设有抽气孔21，所述抽气孔21呈圆台状，所述抽气孔21具体的结构尺寸：高度低于承片台2-3mm、坡度为90°至130°。所述抽气孔21外均匀分布有四个挡胶板22。所述挡胶板22的长度为每一列圆孔14总长度的1/2。
所述圆形端面1和下腔体2之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板22可对应于圆孔14的正下方，挡胶板22的宽度大于圆孔14的直径1mm，通过旋转圆形端面1调节腔体内的通气量的大小。
如图5所示，本发明的腔内真空度分布情况如下：从图中可知，腔内真空负压分布均匀，所以可避免被吸入的胶体在压强差的作用下被吸入真空抽气室。
如图6-7所示，从无托盘端盖与插条式端盖的基片形变对比得出，形变量从65μm降低至1.3μm，插条式端盖的使用大大减小了基片的形变量，从而可提高旋涂工艺性能指标。
本发明为柔性托盘端盖，当大圆孔位于不同长度的挡胶板下时，可适用于不同尺寸的基片，在保证旋涂匀胶性能的同时，减小基片的形变。其柔性化工作原理为；当插在有挡胶板处时，部分圆孔被遮挡，插在无挡胶板处时，圆孔所有孔可提供吸附力。
本发明能够同时解决胶滴堵塞真空吸片口和硅片向下凹陷变形的2个问题，不仅延长了真空吸片口的使用寿命，而且加工后的硅片不会出现废料，从而大大节省了企业的经济成本。此外本专利解决了同一托盘可适用于不同厚度与不同尺寸规格基片的问题，实现托盘的柔性化。
本发明不局限于上述最佳实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，所述的插条式端盖固定安装在匀胶机托盘的真空吸片口上，其特征在于：所述插条式端盖包括圆形端面(1)和与所述圆形端面(1)相匹配的下腔体(2)；
所述圆形端面(1)的中心设有中心圆(11)，所述中心圆(11)的四周向外扩散均匀排布有若干列小圆孔(12)，所述小圆孔(12)的直径大小均相同，所述小圆孔(12)的外围均匀分布有一圈圆弧槽(13)，所述圆弧槽(13)的个数为四个，两个相邻的圆弧槽(13)间隙间向外扩散有一列圆孔(14)，所述圆孔(14)的直径大小均相同；
所述下腔体(2)的中心设有抽气孔(21)，所述抽气孔(21)呈圆台状，所述抽气孔(21)外均匀分布有四个挡胶板(22)；
所述圆形端面(1)和下腔体(2)之间通过插拔旋转式固定连接，形成腔体，所述挡胶板(22)可对应于圆孔(14)的正下方，挡胶板(22)的宽度大于圆孔(14)的直径1mm，通过旋转圆形端面(1)调节腔体内的通气量的大小。
2.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，其特征在于：所述中心圆(11)的直径大小为6mm-10mm。
3.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，其特征在于：所述小圆孔(12)的列数为4-5个，每个小圆孔(12)的直径大小为0.75mm-1.5mm。
4.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，其特征在于：所述圆弧槽(13)的长度为50° 至75° 。
5.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，其特征在于：每一列所述圆孔(14)的个数根据不同基片的端盖的尺寸确定，每个圆孔(14)的直径大小为1.5-2mm，相邻两个圆孔(14)之间间距为2.5-3mm，每一列圆孔(14)的总长度为基片直径的1/4至3/10。
6.根据权利要求1所述的专用于匀胶机托盘真空吸片口上的插条式端盖，其特征在于：所述挡胶板(22)的长度为每一列圆孔(14)总长度的1/2。
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