JP2012071961A - ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法 - Google Patents

ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2012071961A
JP2012071961A JP2010219352A JP2010219352A JP2012071961A JP 2012071961 A JP2012071961 A JP 2012071961A JP 2010219352 A JP2010219352 A JP 2010219352A JP 2010219352 A JP2010219352 A JP 2010219352A JP 2012071961 A JP2012071961 A JP 2012071961A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
web
air
cylindrical roller
roller
edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010219352A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Oba
孝浩 大場
Masataka Hasegawa
昌孝 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2010219352A priority Critical patent/JP2012071961A/ja
Publication of JP2012071961A publication Critical patent/JP2012071961A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】ベアリングから発生する汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができるウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ウエブ12の搬送面に形成された孔20又はスリットを有する円筒ローラ14と、搬送面のウエブの両縁部を支持し、且つ、円筒ローラ両端部に設けられたベアリング22により回転自在なエッジローラ16と、から成り、エアによりウエブ両縁部以外を浮上させながらウエブを搬送するウエブ搬送装置10の円筒ローラ14とエッジローラ16との隙間に、エアを逃がすエア逃がし構造24を設けるようにする。
【選択図】 図3

Description

本発明は、ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法に係り、特に、円筒ローラ外周面よりも高い段差でウエブ両縁部をエッジローラで支持しながら、円筒ローラに形成された孔又はスリットからエアを噴出させてウエブを浮上させ、ウエブ両縁部以外を非接触状態で搬送するウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法に関する。
エア圧を用いてウエブを非接触で搬送するウエブ搬送装置は、例えば特許文献1、2に開示されているように、種々の方式のものが考案されており、これらは、非接触状態でウエブを搬送するものである。
特許文献1には、スリットまたは孔から噴出させたエアによりウエブを浮上させながら搬送させるウエブ搬送ローラにおいて、ウエブの両縁部に前記ローラよりも高い段差を設けてウエブを支持しながら搬送することを特徴とするウエブ搬送方法および装置について開示されている。
特許文献2には、クリーンルーム内に設置され、スリットまたは孔から噴出させたエアによりウエブを浮上させながら搬送させるウエブ搬送ローラにおいて、ウエブへの塵埃付着を防止するため、ローラ付近に遮風板を設置することを特徴とするウエブ搬送方法および装置について開示されている。
特許3956264号公報 特開2008−81230号公報
しかしながら、特許文献1、2のような円筒ローラ外周面よりも高い段差でウエブ両縁部をエッジローラで支持しながら、円筒ローラに形成された孔又はスリットからエアを噴出させてウエブを浮上させ、ウエブ両縁部以外を非接触状態で搬送するウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法において、エッジローラは円筒ローラ両端部に設けられたベアリングにより回転自在になっているが、ベアリングから発生する汚れ成分がエッジローラを汚し、その汚れがウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうとういう問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、円筒ローラ外周面よりも高い段差でウエブ両縁部をエッジローラで支持しながら、円筒ローラに形成された孔又はスリットからエアを噴出させてウエブを浮上させ、ウエブ両縁部以外を非接触状態で搬送するウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法において、ベアリングから発生する汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができるウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するために、ウエブの搬送面に形成された孔又はスリットを有する円筒ローラと、前記搬送面のウエブの両縁部を支持し、且つ、前記円筒ローラ両端部に設けられたベアリングにより回転自在なエッジローラと、から成り、前記円筒ローラの孔又はスリットからエアを噴出させて前記ウエブ両縁部以外を浮上させながらウエブを搬送するウエブ搬送装置であって、前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間には、前記エアを逃がすエア逃がし構造が設けられていることを特徴とする。
また、本発明は、前記目的を達成するために、円筒ローラによってウエブの搬送面に形成された孔又はスリットからエアを噴出させるとともに、前記円筒ローラ両端部に設けられたベアリングにより回転自在なエッジローラによって前記搬送面のウエブの両縁部を支持することで、前記ウエブ両縁部以外を浮上させながらウエブを搬送するウエブ搬送方法であって、前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間に形成されたエア逃がし構造により前記エアを逃がすことで、前記ベアリングから発生する汚れ成分が前記ウエブに付着するのを防ぐことを特徴とする。
ベアリングから発生する汚れ成分がエッジローラを汚し、その汚れがウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうという問題に対し、ベアリングから汚れが出難い密閉シール型のベアリングを使うことが考えられるが、密閉シール型のベアリングでは回転抵抗が大きく、エッジローラが回らなくなってしまう。なお、ベアリングの回転抵抗を小さくするには、ベアリングの密閉度を低くすることになり、ベアリングからの汚れがより多くなってしまう。そこで、本願発明者は、ベアリングから汚れ成分が発生しても、エッジローラを酷く汚さないようにするために、円筒ローラの孔又はスリットから噴出したエアを逃がすエア逃がし構造を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けるようにした。
本発明において、エア逃がし構造は、円筒ローラ又はエッジローラに設けられた円筒ローラ又はエッジローラを一周する溝であっても良いし、円筒ローラに設けられた排気穴であっても良いし、円筒ローラに設けられた排気穴であって該排気穴においてエアを吸引して排気していても良い。また、これらの組み合わせであっても良い。
なお、ここで、溝の場合、溝の凹部の幅は、狭い方が好ましく、例えば、0.5mm以下であるときに効果が高い。また、排気穴においてエアを吸引して排気する場合、エアを吸引し過ぎると、ウエブの浮上量が減り、ウエブと円筒ローラとが接触してしまい、ウエブにキズが付いてしまうので、ウエブの浮上を妨げない程度のエア吸引を行うことが必要である。
このように、円筒ローラの孔又はスリットから噴出したエアを逃がすエア逃がし構造を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けることで、ベアリングから発生する汚れ成分をエッジローラが支持するウエブ両縁部を付着するのを抑えることができるので、汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができる。
本発明において、前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間の距離は、10mm以下であることが好ましい。
円筒ローラと前記エッジローラとの隙間の距離が10mm以下である場合に、円筒ローラとエッジローラとの隙間に上記のエア逃がし構造を設けることで、ベアリングから発生する汚れ成分がエッジローラを汚すのを効果的に防ぐことができる。
なお、本明細書において、ベアリングから発生する汚れ成分とは、ベアリンググリスやベアリングに溜まった塵埃などをいう。
本発明によれば、ベアリングから発生する汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができるウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法を提供することができる。
本発明に係るウエブ搬送装置の構成を示す斜視図 図1のウエブ搬送装置の構成を示す正面断面図 図2のエア逃がし構造の別態様を示す正面断面図 本発明に係る他のエア逃がし構造を示す正面断面図 本発明に係るウエブ搬送装置の別の構成を示す斜視図 図5のウエブ搬送装置の構成を示す正面断面図 本発明に係るウエブ搬送装置(図2)の拡大図
以下添付図面に従って本発明に係るウエブ搬送方法及び装置、並びに光学フィルムの製造方法の好ましい実施の形態について詳説する。
図1、図2は、本発明に係るウエブ搬送装置の構成を示す斜視図と正面断面図である。
図1、図2に示すように、本実施の形態のウエブ搬送装置10は、外周面からエアを噴出してウエブ12を浮上搬送するエアフローティングローラ(円筒ローラ)14と、その円筒ローラ14の両端部に回転自在に設けられたウエブ12の両縁部を支持する一対のエッジローラ16、16とから構成されている。
円筒ローラ14は、中空のドーム状に形成されている。この円筒ローラ14の端部は、エア供給配管18、18となっており、この円筒ローラ14の周面にはウエブ12の搬送面(ウエブ12の搬送時にウエブ12によって覆われる面)に対応する位置に多数の孔20、20、…が形成されており、エア供給配管18、18から送り込まれたエアがこの孔20、20、…から圧縮エアとして噴出される。
一方、エッジローラ16、16は、円筒ローラ両端部に設けられたシール付きのベアリング22、22を介して回動自在に支持されている。このエッジローラ16、16は、その外径がウエブ中央部の浮上面の径よりも大きく形成されている。
前記のごとく構成された本実施の形態のウエブ搬送装置10の作用は次のとおりである。
円筒ローラ14のエア供給配管18から圧縮エアを供給すると、その圧縮エアは孔20、20、…を通ってエア供給配管18の外部に噴出する。これによりウエブ12が浮上搬送される。
ここで、このエアが噴出される円筒ローラ14の両端側にはエッジローラ16、16が配設されており、このエッジローラ16、16は、その外径がウエブ中央部の浮上面の径よりも大きく形成されている。このため、ウエブ12は、両縁部をこのエッジローラ16、16に支持されながら浮上搬送される。
そして、このようにウエブ12の両縁部をエッジローラ16、16に支持されながら搬送されることにより、ウエブ12は常に一定の浮上量を維持しながら搬送されるようになり、この結果、蛇行や寄りを生じることなくウエブ12を安定搬送することができるようになる。また、ウエブ12の両縁部をエッジローラ16、16で支持することにより、孔20、20、…から噴出したエアの脇漏れを防止することができる。これにより、静圧が増大してウエブ12の支持力が増すとともに、少ないエア量で運転することが可能になり、ランニングコストの低減を図ることが可能になる。
なお、本実施の形態では、エッジローラ16、16は、ウエブ12との接触による摩擦力で回転するように構成されているが、モータ等によってウエブ12の走行に同期して回転駆動させるようにしてもよい。また、図示しないが、本実施の形態では、円筒ローラ14に形成したエア噴出口を孔状としているが、スリット状にしてもよい。
しかしながら、このような円筒ローラ14外周面よりも高い段差でウエブ12両縁部をエッジローラ16、16で支持しながら、円筒ローラ14に形成された孔20、20、…又はスリットからエアを噴出させてウエブ12を浮上させ、ウエブ両縁部以外を非接触状態で搬送するウエブ搬送装置10において、円筒ローラ両端部に設けられたベアリング22から発生する汚れ成分がエッジローラ16、16を汚し、その汚れがウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうとういう問題があった。
この問題に対し、ベアリングから汚れが出難いようにするために密閉シール型のベアリングを使うことが考えられるが、密閉シール型のベアリングでは回転抵抗が大きく、エッジローラが回らなくなってしまう。なお、ベアリングの回転抵抗を小さくするには、ベアリングの密閉度を低くすることになり、ベアリングからの汚れがより多くなってしまう。
そこで、本願では、ベアリング22から汚れ成分が発生しても、エッジローラ16、16を酷く汚さないようにするために、円筒ローラ14の孔又はスリットから噴出したエアを逃がすエア逃がし構造を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けるようにした。
図2のエア逃がし構造24は、円筒ローラ14に設けられた円筒ローラを一周する溝である。なお、図において、溝は4本であるが、本発明において溝は1本以上であれば良く、好ましくは3〜5本である。
このように、エア逃がし構造(溝)24を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けることにより、円筒ローラの孔又はスリットより噴出されたエアの気流は、エッジローラ内の回転軸に接することがなくなる。即ち、ベアリング22に溜まった塵埃やベアリンググリスなどとエアが混ざることなく、エア逃がし構造(溝)24を介してエアは円筒ローラのウエブ12によって覆われていない側へと流れる。これにより汚れがウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができる。
なお、ここで、本発明に係るエア逃がし構造(溝)24は、図2の位置に設けることに限られず、図3に示すように円筒ローラ14とエッジローラ16との隙間の位置であればどこでも良い。また、図2や図3(a)〜(c)の何れか1である必要はなく、複数の位置に設けても良い。また、溝の凹部の幅は、狭い方が好ましく、例えば、1mm以下、さらに好ましくは0.5mm以下であるときに効果が高い。
本発明において、エア逃がし構造24は、図2、3に示した円筒ローラ又はエッジローラに設けられた円筒ローラ又はエッジローラを一周する溝であっても良いが、図4に示すように、円筒ローラ14に設けた排気穴であっても良い。
図4のエア逃がし構造24は、円筒ローラ14とエッジローラ16との隙間の位置において、円筒ローラ14に排気穴25が設けられており、排気穴25はエア逃がし配管26に接続されている。
このようにより、エア逃がし構造24を設けることにより、円筒ローラの孔又はスリットより噴出されたエアの気流は、エッジローラ内の回転軸に接することがなくなる。即ち、ベアリング22に溜まった塵埃やベアリンググリスなどとエアが混ざることなく、エア逃がし構造24のエア逃がし配管26を介してエアはウエブ搬送装置10外部へと流れる。これにより汚れがウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができる。
なお、図4において、エア逃がし配管26にポンプ(不図示)を接続してエアを吸引して排気していても良い。
ここで、排気穴25においてエア逃がし配管26を介してエア吸引して排気する場合、エア吸引し過ぎると、ウエブの浮上量が減り、ウエブと円筒ローラとが接触してしまい、ウエブにキズが付いてしまうので、ウエブの浮上を妨げない程度のエア吸引を行うことが必要である。
以上のように、円筒ローラの孔又はスリットから噴出したエアを逃がすエア逃がし構造を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けることで、ベアリングから発生する汚れ成分をエッジローラが支持するウエブ両縁部を付着するのを抑えることができるので、汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができる。
なお、本発明に係るウエブ搬送装置の構成は図1、図2のものに限られない。例えば、図5、図6に示す構成のウエブ搬送装置であっても良い。
図5、図6は、本発明に係るウエブ搬送装置の構成を示す斜視図と正面断面図である。
図5、図6に示すように、ウエブ搬送装置10’は、図1、図2と同様に、外周面からエアを噴出してウエブ12を浮上搬送するエアフローティングローラ(円筒ローラ)14と、ウエブ12の両縁部を支持する一対のエッジローラ16、16とから構成されている。
そして、図5、図6のウエブ搬送装置10’の円筒ローラ14は、内筒30と外筒32とからなる二重管構造で構成されている。
内筒30は中空状に形成されており、その周面には多数のスリット(エア噴出口)34、34、…が一定ピッチで形成されている。各スリット34は、内筒30の周面に沿って円弧状に形成されており、ウエブ12の搬送面(ウエブ12の搬送時にウエブ12によって覆われる面)と同じ長さをもって形成されている。また、この内筒30は、両端部が図示しない軸支持部材に支持されて固定されており、その両端部には、それぞれ図示しないエア供給配管が連結されている。すなわち、この内筒30には、両側から圧縮エアが供給される。
一方、外筒32は円筒状に形成されており、その周面には全周にわたって多数の孔20、20、…が形成されている。そして、この外筒32の内周部に前記内筒30が収納配置されている。
エッジローラ16、16は、前記円筒ローラ14の内筒30にシール付きのベアリング22、22を介して回動自在に支持されている。このエッジローラ16、16は、それぞれエアフローティングローラ14の外筒32に連結されている。したがって、外筒32はエッジローラ16、16が回転すると、これに伴って回転する。また、このエッジローラ16、16は、その外径がウエブ中央部の浮上面の径よりも大きく形成されている。したがって、ウエブ12は搬送時において、その両縁部がこのエッジローラ16、16に支持されながら搬送される。
前記のごとく構成された本実施の形態のウエブ搬送装置10の作用は次のとおりである。
円筒ローラ14の内筒30の両側から圧縮エアを供給すると、その圧縮エアは内筒30に形成されたスリット34、34、…を通って内筒30の外部に噴出する。そして、そのスリット34、34、…から噴出した圧縮エアは、外筒32に形成された孔20、20、…を通って外筒20の外部に噴出し、これによりウエブ12が浮上搬送される。
ここで、このエアが噴出される外筒32の両側にはエッジローラ16、16が連結されており、このエッジローラ16、16は、その外径がウエブ中央部の浮上面の径よりも大きく形成されている。このため、ウエブ12は、両縁部をこのエッジローラ16、16に支持されながら浮上搬送される。
そして、このように両縁部をエッジローラ16、16に支持されながら搬送されることにより、ウエブ12は常に一定の浮上量を維持しながら搬送されるようになり、この結果、蛇行や寄りを生じることなくウエブ12を安定搬送することができる。
なお、内筒30から噴出する圧縮エアは、スリット34によってその噴出範囲が規制されており、ウエブ12の搬送面に対応する部分(ウエブ12によって覆われる部分)からのみ噴出する。したがって、無駄に圧縮エアを噴出することがない。
また、エッジローラ16、16は、回転自在に支持されているため、ウエブ12が走行すると、そのウエブ12との接触による摩擦力でウエブ12に同期して回転する。したがって、ウエブ12にスリキズ等が発生することもない。
なお、本実施の形態では、エッジローラ16、16は、ウエブ12との接触による摩擦力で回転するように構成されているが、図1、図2のウエブ搬送装置10と同様にモータ等によってウエブ12の走行に同期して回転駆動させるようにしてもよい。これによりウエブ12がエッジローラ16、16上でスリップするのを防止でき、スリキズ等の発生を抑制することができるようになる。
また、本実施の形態でも、図1、図2のウエブ搬送装置10と同様に外筒32に形成したエアの噴出口を孔状としているがスリット状にしてもよい。
また、本実施の形態では、内筒30の周面に形成されたウエブ12の搬送面と同じ長さのエア噴出部をスリット状としたが、孔状としてもよいし、噴出部を全て切り欠いてもよい。
図5、図6のウエブ搬送装置10’においても図1、図2のウエブ搬送装置10と同様に円筒ローラの孔又はスリットから噴出したエアを逃がすエア逃がし構造を円筒ローラとエッジローラとの隙間に設けることで、ベアリングから発生する汚れ成分をエッジローラが支持するウエブ両縁部を付着するのを抑えることができ、汚れ成分がウエブに付着したりウエブ搬送に異常を来たしてしまうのを防ぐことができる。
なお、本発明において、円筒ローラ14とエッジローラ16との隙間の距離(クリアランスCL、CL’(図7参照))は、10mm以下であることが好ましい。円筒ローラとエッジローラとの隙間の距離が10mm以下である場合に、円筒ローラとエッジローラとの隙間に本発明に係るエア逃がし構造を設けることで、ベアリングから発生する汚れ成分がエッジローラを汚すのを効果的に防ぐことができる。
(実験1)
図1、図2に示したウエブ搬送装置10で実験を行った。光学フィルムの製造ラインにおいて、ウエブ搬送装置10の円筒ローラとエッジローラとの隙間を1mmとし、エッジローラ外径をΦ75mm、供給エアを5〜20kPa、搬送速度を20〜50m/min、搬送張力を100〜500N/mとしたウエブ搬送装置10を用いた。
図3のように円筒ローラとエッジローラとの隙間に溝(但し、幅0.5mm、深さ0.5mm、溝間隔1mm、溝数3段)を設けた場合と、円筒ローラとエッジローラとの隙間に排気穴(Φ5mmであって、円周方向に3箇所)を設け−2Paで減圧(エア排気)した場合と、何も設けなかった場合とにおいて、エッジローラ周辺の1立方フィートあたりに存在する0.5μm以下の塵埃個数をパーティクルカウンターによって測定した。
この結果、何も設けなかった場合には、600個近くの塵埃を検出したが、溝や排気穴を設けたものは塵埃を検出しなかった。
したがって、円筒ローラとエッジローラとの隙間に本発明に係るエア逃がし構造を設けることでウエブを汚染するのを防ぐことができることが分かる。
(実験2)
また、前記と同じ溝や排気穴を設けたものであって、円筒ローラとエッジローラとの隙間を1mmから10mm、20mmと条件を変えたものについて同様の実験を行った。
この結果、隙間が10mmであるものは塵埃を検出しなかったが、隙間が20mmであると数個から数十個塵埃を検出した。
したがって、円筒ローラとエッジローラとの隙間の距離は、10mm以下であることが好ましいことが分かる。
(実験3)
さらに、前記の円筒ローラとエッジローラとの隙間を1mmとして溝を設けたものであって、溝の幅を0.5mmから1mm、3mmと条件を変えたものについて同様の実験を行った。
この結果、溝の幅が1mmであるものは塵埃を検出しなかったが、溝の幅が2mmであると数十個塵埃を検出した。
したがって、溝の幅は、狭い方が好ましく、1mm以下であることが好ましいことが分かる。
10、10’…ウエブ搬送装置、12…ウエブ、14…円筒ローラ(エアフローティングローラ)、16…エッジローラ、18…エア供給配管、20…孔、22…ベアリング、24…エア逃がし構造(溝)、25…排気穴、26…エア逃がし配管、30…内筒、32…外筒、34…スリット(エア噴出口)

Claims (7)

  1. ウエブの搬送面に形成された孔又はスリットを有する円筒ローラと、
    前記搬送面のウエブの両縁部を支持し、且つ、前記円筒ローラ両端部に設けられたベアリングにより回転自在なエッジローラと、から成り、
    前記円筒ローラの孔又はスリットからエアを噴出させて前記ウエブ両縁部以外を浮上させながらウエブを搬送するウエブ搬送装置であって、
    前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間には、前記エアを逃がすエア逃がし構造が設けられていることを特徴とするウエブ搬送装置。
  2. 前記エア逃がし構造は、前記円筒ローラ又は前記エッジローラに設けられた、円筒ローラ又はエッジローラを一周する溝であることを特徴とする請求項1に記載のウエブ搬送装置。
  3. 前記エア逃がし構造は、前記円筒ローラに設けられた排気穴であることを特徴とする請求項1に記載のウエブ搬送装置。
  4. 前記エア逃がし構造は、前記円筒ローラに設けられた排気穴であって、該排気穴においてエアを吸引して排気していることを特徴とする請求項1に記載のウエブ搬送装置。
  5. 前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間の距離は、10mm以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1に記載のウエブ搬送装置。
  6. 請求項1〜5の何れか1に記載のウエブ搬送装置により搬送して製造することを特徴とする光学フィルムの製造方法。
  7. 円筒ローラによってウエブの搬送面に形成された孔又はスリットからエアを噴出させるとともに、前記円筒ローラ両端部に設けられたベアリングにより回転自在なエッジローラによって前記搬送面のウエブの両縁部を支持することで、前記ウエブ両縁部以外を浮上させながらウエブを搬送するウエブ搬送方法であって、
    前記円筒ローラと前記エッジローラとの隙間に形成されたエア逃がし構造により前記エアを逃がすことで、前記ベアリングから発生する汚れ成分が前記ウエブに付着するのを防ぐことを特徴とするウエブ搬送方法。
JP2010219352A 2010-09-29 2010-09-29 ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法 Pending JP2012071961A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010219352A JP2012071961A (ja) 2010-09-29 2010-09-29 ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010219352A JP2012071961A (ja) 2010-09-29 2010-09-29 ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012071961A true JP2012071961A (ja) 2012-04-12

Family

ID=46168520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010219352A Pending JP2012071961A (ja) 2010-09-29 2010-09-29 ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012071961A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160070411A (ko) * 2014-12-10 2016-06-20 스템코 주식회사 필름 가이드 장치
CN106891613A (zh) * 2017-03-30 2017-06-27 上海出版印刷高等专科学校 一种防蹭脏空气导纸辊

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0217219A (ja) * 1988-07-05 1990-01-22 Agency Of Ind Science & Technol 固体潤滑剤を用いた軸受装置
JPH0484824U (ja) * 1990-11-30 1992-07-23
JP2001106402A (ja) * 1999-10-08 2001-04-17 Fuji Photo Film Co Ltd ウェブ搬送方法及び装置
JP2006090503A (ja) * 2004-09-27 2006-04-06 Nsk Ltd シール装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0217219A (ja) * 1988-07-05 1990-01-22 Agency Of Ind Science & Technol 固体潤滑剤を用いた軸受装置
JPH0484824U (ja) * 1990-11-30 1992-07-23
JP2001106402A (ja) * 1999-10-08 2001-04-17 Fuji Photo Film Co Ltd ウェブ搬送方法及び装置
JP2006090503A (ja) * 2004-09-27 2006-04-06 Nsk Ltd シール装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160070411A (ko) * 2014-12-10 2016-06-20 스템코 주식회사 필름 가이드 장치
KR102366472B1 (ko) * 2014-12-10 2022-02-22 스템코 주식회사 필름 가이드 장치
CN106891613A (zh) * 2017-03-30 2017-06-27 上海出版印刷高等专科学校 一种防蹭脏空气导纸辊

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3956264B2 (ja) ウェブ搬送方法及び装置
JP2004196482A (ja) ローラコンベア
JP2012071961A (ja) ウエブ搬送装置及びウエブ搬送方法、並びに光学フィルムの製造方法
TW201834952A (zh) 玻璃板的製造方法及保護薄片的分離裝置
JP5915358B2 (ja) 搬送装置
JP4753162B2 (ja) サクションローラ
JP2009012875A (ja) 浮上ユニット及び浮上搬送装置
JP2008081230A (ja) ウエブ搬送装置及び搬送方法
JP4203271B2 (ja) サクションローラ
JP2006272134A (ja) 基板処理装置
JP2017193402A (ja) ウェブ搬送装置、そのガイドロール及びウェブ搬送方法
JP2019042694A (ja) 基板処理装置
KR101193363B1 (ko) 기판이송장치용 구동롤러의 이물 제거장치
JP2008045652A (ja) 静圧気体軸受
JP4830794B2 (ja) 真空シール機構
KR101857208B1 (ko) 원단 이송용 회전식 플로팅 롤
JP3552029B2 (ja) 回転軸装置
JP2009035391A (ja) 搬送ローラ及びこれを用いた搬送ローラ冷却システム
JP2002160857A (ja) サクションロール
JP2005262088A (ja) 支持体表面の防塵方法及び装置
WO2011148548A1 (ja) 平板搬送装置
JP2015191963A (ja) 基板洗浄装置及び基板洗浄方法
JP2007142304A (ja) 板状体搬送装置
JP4349102B2 (ja) 基板搬送装置
JP2010149981A (ja) ロール製品の搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131205

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140417