JPH10258934A - ガラス基板搬送装置 - Google Patents
ガラス基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH10258934A JPH10258934A JP6160097A JP6160097A JPH10258934A JP H10258934 A JPH10258934 A JP H10258934A JP 6160097 A JP6160097 A JP 6160097A JP 6160097 A JP6160097 A JP 6160097A JP H10258934 A JPH10258934 A JP H10258934A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- glass substrate
- dust
- tank
- pure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸受からの発塵を未然に抑え、ガラス基板に
対するダストの付着によるガラス基板の不良を発生させ
ないガラス基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板１を搬送する複数のコロ軸２
と、コロ軸２を一方向に回転させる駆動装置３と、コロ
軸２を支持する軸受６と、軸受６を潤滑液で埋没させる
軸受槽７ａとからなり、コロ軸２を支持する軸受６を常
に純水Ｗなどの潤滑液中に浸しておくことにより、たと
え軸受６が磨耗して発塵しても、軸受槽７ａの潤滑液中
にダストは止まり、ダストがガラス基板１へ付着して不
良を発生させるようなことはない。
対するダストの付着によるガラス基板の不良を発生させ
ないガラス基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板１を搬送する複数のコロ軸２
と、コロ軸２を一方向に回転させる駆動装置３と、コロ
軸２を支持する軸受６と、軸受６を潤滑液で埋没させる
軸受槽７ａとからなり、コロ軸２を支持する軸受６を常
に純水Ｗなどの潤滑液中に浸しておくことにより、たと
え軸受６が磨耗して発塵しても、軸受槽７ａの潤滑液中
にダストは止まり、ダストがガラス基板１へ付着して不
良を発生させるようなことはない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板の洗浄
装置や膜付け装置などのガラス基板の搬送を伴う装置の
搬送系、またはガラス基板を単純に移動させるガラス基
板搬送装置に関する。
装置や膜付け装置などのガラス基板の搬送を伴う装置の
搬送系、またはガラス基板を単純に移動させるガラス基
板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガラス基板の洗浄装置や膜付け
装置などのガラス基板の搬送を伴う装置の搬送系、また
はガラス基板を単純に移動させるガラス基板搬送装置
は、ガラス基板が複数のコロ軸上またはコロ軸に挟まれ
るような形式で移動させるものが多い。特に洗浄装置や
膜付け装置などは、わずかなダストが製品品質に影響を
及ぼすことより、設備の発塵は、極力抑えねばならな
い。
装置などのガラス基板の搬送を伴う装置の搬送系、また
はガラス基板を単純に移動させるガラス基板搬送装置
は、ガラス基板が複数のコロ軸上またはコロ軸に挟まれ
るような形式で移動させるものが多い。特に洗浄装置や
膜付け装置などは、わずかなダストが製品品質に影響を
及ぼすことより、設備の発塵は、極力抑えねばならな
い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】駆動装置より複数のコ
ロ軸への駆動力伝達する歯車やベルトなどの駆動系は、
カバーなどで密閉することで発塵の影響を抑えている
が、コロ軸を支持する軸受はカバーされることなく、発
塵し難い材料が用いられ、定期的に交換する程度で、そ
の交換タイミングにより、ダスト不良が増加したり、軸
受の総数が多いときなどメンテナンスのために時間をと
られて、生産性に支障を来していた。
ロ軸への駆動力伝達する歯車やベルトなどの駆動系は、
カバーなどで密閉することで発塵の影響を抑えている
が、コロ軸を支持する軸受はカバーされることなく、発
塵し難い材料が用いられ、定期的に交換する程度で、そ
の交換タイミングにより、ダスト不良が増加したり、軸
受の総数が多いときなどメンテナンスのために時間をと
られて、生産性に支障を来していた。
【０００４】本発明は上記課題を解決するもので、軸受
からの発塵を未然に抑え、ガラス基板に対するダストの
付着によるガラス基板の不良を発生させないことができ
るガラス基板搬送装置を提供することを目的とする。
からの発塵を未然に抑え、ガラス基板に対するダストの
付着によるガラス基板の不良を発生させないことができ
るガラス基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板搬送
装置は、ガラス基板を搬送する複数のコロ軸と、前記コ
ロ軸を所定方向に回転させる駆動装置と、前記コロ軸を
支持する軸受と、前記軸受を潤滑液中に埋没させる軸受
槽とを備えたものであり、コロ軸を支持する軸受を常に
水などの潤滑液中に浸しておくので、たとえ軸受が磨耗
して発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストは止まり、
ダストがガラス基板へ付着して不良を発生させるような
ことはない。
装置は、ガラス基板を搬送する複数のコロ軸と、前記コ
ロ軸を所定方向に回転させる駆動装置と、前記コロ軸を
支持する軸受と、前記軸受を潤滑液中に埋没させる軸受
槽とを備えたものであり、コロ軸を支持する軸受を常に
水などの潤滑液中に浸しておくので、たとえ軸受が磨耗
して発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストは止まり、
ダストがガラス基板へ付着して不良を発生させるような
ことはない。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、ガラス基板を搬送する複数のコロ軸と、前記コロ軸
を所定方向に回転させる駆動装置と、前記コロ軸を支持
する軸受と、前記軸受を潤滑液中に埋没させる軸受槽と
を備えたものであり、コロ軸を支持する軸受を常に水な
どの潤滑液中に浸しておくことにより、軸受が磨耗し難
くなって耐久性が向上し、また、たとえ軸受が磨耗して
発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストはとどまり、ダ
ストがガラス基板へ付着して不良を発生させるようなこ
とはない。
は、ガラス基板を搬送する複数のコロ軸と、前記コロ軸
を所定方向に回転させる駆動装置と、前記コロ軸を支持
する軸受と、前記軸受を潤滑液中に埋没させる軸受槽と
を備えたものであり、コロ軸を支持する軸受を常に水な
どの潤滑液中に浸しておくことにより、軸受が磨耗し難
くなって耐久性が向上し、また、たとえ軸受が磨耗して
発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストはとどまり、ダ
ストがガラス基板へ付着して不良を発生させるようなこ
とはない。
【０００７】請求項２に記載の発明は、上記請求項１に
記載の発明において、潤滑液として純水が用いられ、軸
受槽に純水を供給および回収する循環水槽と、前記循環
水槽の水を軸受槽に供給するポンプと、循環水供給経路
に設けたフィルターとを備えたものであり、潤滑液とし
て純水を用いたことにより、潤滑液からガラス基板搬送
雰囲気中へのダストの浮遊も防止でき、かつ、軸受槽の
純水を循環させながらフィルターを通すので、軸受槽に
はダストのない純水を供給することができ、ガラス基板
へのダストの付着を一層確実に防止することができて、
ガラス基板の不良を発生させるようなことはない。
記載の発明において、潤滑液として純水が用いられ、軸
受槽に純水を供給および回収する循環水槽と、前記循環
水槽の水を軸受槽に供給するポンプと、循環水供給経路
に設けたフィルターとを備えたものであり、潤滑液とし
て純水を用いたことにより、潤滑液からガラス基板搬送
雰囲気中へのダストの浮遊も防止でき、かつ、軸受槽の
純水を循環させながらフィルターを通すので、軸受槽に
はダストのない純水を供給することができ、ガラス基板
へのダストの付着を一層確実に防止することができて、
ガラス基板の不良を発生させるようなことはない。
【０００８】以下、本発明のガラス基板搬送装置の一実
施例を図１を用いて説明する。図１において、１はガラ
ス基板、２はガラス基板１を搬送する複数のコロ軸２
で、各コロ軸２は駆動装置３により一方向に回転され
る。駆動装置３は、モータ４と複数のギア５ａ，５ｂと
からなり、モータ４の駆動軸の回転がギア５ａ，５ｂを
介して各コロ軸２に伝達されることにより各コロ軸２が
回転され、これによりコロ軸２上に載せられたガラス基
板１が搬送されるようになっている。なお、２ａはコロ
軸２に設けられている基板受け部である。
施例を図１を用いて説明する。図１において、１はガラ
ス基板、２はガラス基板１を搬送する複数のコロ軸２
で、各コロ軸２は駆動装置３により一方向に回転され
る。駆動装置３は、モータ４と複数のギア５ａ，５ｂと
からなり、モータ４の駆動軸の回転がギア５ａ，５ｂを
介して各コロ軸２に伝達されることにより各コロ軸２が
回転され、これによりコロ軸２上に載せられたガラス基
板１が搬送されるようになっている。なお、２ａはコロ
軸２に設けられている基板受け部である。
【０００９】コロ軸２は対となった軸受６により回転自
在に支持されている。そして、各軸受６は純粋中に埋没
させている。すなわち、軸受６を支持する支持基台７に
は、軸受６の支持部分を四方から囲むように軸受槽７ａ
が形成されており、この軸受槽７ａ内に潤滑液としての
純水Ｗが供給されている。
在に支持されている。そして、各軸受６は純粋中に埋没
させている。すなわち、軸受６を支持する支持基台７に
は、軸受６の支持部分を四方から囲むように軸受槽７ａ
が形成されており、この軸受槽７ａ内に潤滑液としての
純水Ｗが供給されている。
【００１０】純水Ｗは循環水槽８に溜められており、こ
の循環水槽８内の純水Ｗがポンプ９により循環水供給経
路１０を通って各循環水供給口１１から軸受槽７ａ内に
供給されるようになっている。また、軸受槽７よりオー
バーフローあるいはリークした純水Ｗは回収流路７ｂ，
７ｃを通して循環水槽８に回収される。循環水供給経路
１０にはフィルター１２が介装されており、循環水槽８
の水がフィルター１２で浄化され、浄化された純水Ｗが
軸受槽７ａに供給される。なお、１３は循環水槽８に純
水Ｗを供給する純水供給口である。また、軸受槽７ａ内
の純水Ｗはコロ軸２の貫通孔からリークするが、コロ軸
２を支持する軸受６を常に純水で浸せる状態に循環水供
給口１３の開度が調節されている。
の循環水槽８内の純水Ｗがポンプ９により循環水供給経
路１０を通って各循環水供給口１１から軸受槽７ａ内に
供給されるようになっている。また、軸受槽７よりオー
バーフローあるいはリークした純水Ｗは回収流路７ｂ，
７ｃを通して循環水槽８に回収される。循環水供給経路
１０にはフィルター１２が介装されており、循環水槽８
の水がフィルター１２で浄化され、浄化された純水Ｗが
軸受槽７ａに供給される。なお、１３は循環水槽８に純
水Ｗを供給する純水供給口である。また、軸受槽７ａ内
の純水Ｗはコロ軸２の貫通孔からリークするが、コロ軸
２を支持する軸受６を常に純水で浸せる状態に循環水供
給口１３の開度が調節されている。
【００１１】このように、軸受６を純水Ｗ中に埋没させ
ることにより、純水Ｗが軸受６の潤滑剤となって軸受６
が磨耗しにくくなり、たとえ軸受６が磨耗して発塵して
も、軸受槽７ａの純水Ｗ中に浮遊するだけである。ま
た、軸受槽７ａからあふれた純水Ｗは循環水槽８に回収
して、ポンプ９で循環してフィルター１２で浄化させて
いるため、純水Ｗ中の塵埃はフィルター１２で捕獲され
る。したがって、軸受槽７ａにはダストのない純水Ｗを
供給できて、ガラス基板１へ発塵ダストの付着を未然に
防止でき、ガラス基板１の不良を発生させるようなこと
はない。
ることにより、純水Ｗが軸受６の潤滑剤となって軸受６
が磨耗しにくくなり、たとえ軸受６が磨耗して発塵して
も、軸受槽７ａの純水Ｗ中に浮遊するだけである。ま
た、軸受槽７ａからあふれた純水Ｗは循環水槽８に回収
して、ポンプ９で循環してフィルター１２で浄化させて
いるため、純水Ｗ中の塵埃はフィルター１２で捕獲され
る。したがって、軸受槽７ａにはダストのない純水Ｗを
供給できて、ガラス基板１へ発塵ダストの付着を未然に
防止でき、ガラス基板１の不良を発生させるようなこと
はない。
【００１２】なお、上記実施の形態においては、潤滑液
として純水Ｗを用いた最も好適な例を示したが、これに
限るものではなく、純水Ｗ以外の液体を用いた場合で
も、この潤滑液により軸受６が磨耗しにくくなるととも
に、たとえ軸受６が磨耗して発塵しても、塵埃は軸受槽
７ａの潤滑液Ｗ中に浮遊するだけであり、雰囲気中へ塵
埃が飛散することを防止できる。
として純水Ｗを用いた最も好適な例を示したが、これに
限るものではなく、純水Ｗ以外の液体を用いた場合で
も、この潤滑液により軸受６が磨耗しにくくなるととも
に、たとえ軸受６が磨耗して発塵しても、塵埃は軸受槽
７ａの潤滑液Ｗ中に浮遊するだけであり、雰囲気中へ塵
埃が飛散することを防止できる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明のガラス基板搬送装
置によれば、ガラス基板搬送用のコロ軸を支持する軸受
を水などの潤滑液中に埋没させることにより、軸受が磨
耗し難くなって耐久性が向上し、また、たとえ軸受が磨
耗して発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストは止ま
り、ダストがガラス基板へ付着して不良を発生させるよ
うなことを防止できて、ガラス基板の生産性も向上す
る。
置によれば、ガラス基板搬送用のコロ軸を支持する軸受
を水などの潤滑液中に埋没させることにより、軸受が磨
耗し難くなって耐久性が向上し、また、たとえ軸受が磨
耗して発塵しても、軸受槽の潤滑液中にダストは止ま
り、ダストがガラス基板へ付着して不良を発生させるよ
うなことを防止できて、ガラス基板の生産性も向上す
る。
【００１４】また、潤滑液として純水を用い、純水を循
環させながら、フィルターを通す構成としたことによ
り、軸受槽にはダストのない純水を供給することがで
き、ガラス基板への発塵ダストの付着を一層確実に防止
することができて、ガラス基板の不良を発生させるよう
なことはなく、この結果、ガラス基板の生産性もさらに
向上する。
環させながら、フィルターを通す構成としたことによ
り、軸受槽にはダストのない純水を供給することがで
き、ガラス基板への発塵ダストの付着を一層確実に防止
することができて、ガラス基板の不良を発生させるよう
なことはなく、この結果、ガラス基板の生産性もさらに
向上する。
【図１】本発明の実施の形態にかかるガラス基板搬送装
置の構成を示す図。
置の構成を示す図。
１ ガラス基板 ２ コロ軸 ３ 駆動装置 ６ 軸受 ７ａ 軸受槽 Ｗ 純水（潤滑液）
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板を搬送する複数のコロ軸と、
前記コロ軸を所定方向に回転させる駆動装置と、前記コ
ロ軸を支持する軸受と、前記軸受を潤滑液中に埋没させ
る軸受槽とを備えたガラス基板搬送装置。 - 【請求項２】 潤滑液として純水が用いられ、軸受槽に
純水を供給および回収する循環水槽と、前記循環水槽の
水を軸受槽に供給するポンプと、循環水供給経路に設け
たフィルターとを備えた請求項１記載のガラス基板搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6160097A JPH10258934A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | ガラス基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6160097A JPH10258934A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | ガラス基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10258934A true JPH10258934A (ja) | 1998-09-29 |
Family
ID=13175827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6160097A Pending JPH10258934A (ja) | 1997-03-17 | 1997-03-17 | ガラス基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10258934A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015178301A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | シャープ株式会社 | 搬送装置及びウェットプロセス装置 |
| WO2019002194A1 (de) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | Merck Patent Gmbh | Beförderungsvorrichtung |
| WO2020050010A1 (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法 |
| WO2023214508A1 (ja) * | 2022-05-02 | 2023-11-09 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス製品の製造方法及び製造装置 |
-
1997
- 1997-03-17 JP JP6160097A patent/JPH10258934A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015178301A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | シャープ株式会社 | 搬送装置及びウェットプロセス装置 |
| CN106458459A (zh) * | 2014-05-21 | 2017-02-22 | 夏普株式会社 | 搬运装置和湿式处理装置 |
| JPWO2015178301A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2017-04-20 | シャープ株式会社 | ウェットプロセス装置 |
| WO2019002194A1 (de) * | 2017-06-27 | 2019-01-03 | Merck Patent Gmbh | Beförderungsvorrichtung |
| WO2020050010A1 (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-12 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置、及びガラス板の製造方法 |
| WO2023214508A1 (ja) * | 2022-05-02 | 2023-11-09 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス製品の製造方法及び製造装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3919464B2 (ja) | 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 | |
| KR20060076715A (ko) | 워크 반송 장치 | |
| JP2007005710A (ja) | 基板の洗浄処理装置 | |
| JPH10258934A (ja) | ガラス基板搬送装置 | |
| JP4602567B2 (ja) | 基板の洗浄装置 | |
| KR100587847B1 (ko) | 기판반송장치 | |
| JP2005238109A (ja) | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び電気光学装置の製造方法 | |
| JPH10197853A (ja) | 液晶表示装置の製造方法及び製造装置 | |
| KR100797572B1 (ko) | 수직형 기판 이송장치 | |
| JP2001102289A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JP2002252200A (ja) | 基板処理装置及び処理方法 | |
| KR19980018250A (ko) | 롤코터 | |
| KR20180042884A (ko) | LLO(Laser Lift-Off) 공정 전 OLED 캐리어 글라스 기판 후면 세정 장치 | |
| JP2007307533A (ja) | 洗浄装置 | |
| KR100227646B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| JP2006013218A (ja) | 基板のスピン処理装置、基板の製造方法、及び電子デバイス | |
| KR100711291B1 (ko) | 기판 이송샤프트 지지장치 | |
| KR101855071B1 (ko) | 에칭용 수직이송장치 | |
| JPH10244201A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2000200958A (ja) | プリント配線板の反転装置及びプリント配線板の反転方法 | |
| KR100706182B1 (ko) | 기판 이송장치와 이 장치에 적합한 베어링장치 | |
| KR20100077341A (ko) | 대면적 기판 이송장치 | |
| JPH0864564A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2008296088A (ja) | 洗浄装置、フラットパネルディスプレイの製造装置及びフラットパネルディスプレイ | |
| JP2005095788A (ja) | 基板洗浄装置及び洗浄方法 |