KR20100077341A

KR20100077341A - 대면적 기판 이송장치

Info

Publication number: KR20100077341A
Application number: KR1020080135257A
Authority: KR
Inventors: 임석택
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2008-12-29
Filing date: 2008-12-29
Publication date: 2010-07-08
Also published as: KR101077486B1

Abstract

본 발명은 대면적 기판 이송장치에 관한 것으로, 다수의 이송축을 일정한 간격으로 배치하고, 그 다수의 이송축을 동기를 맞춰 회전시켜 대면적 기판을 일측 방향으로 이송하는 대면적 기판 이송장치에 있어서, 상기 이송축을 단축의 제1 및 제2이송축으로 분할하고, 상기 제1 및 제2이송축의 마주하는 일측단을 지지하는 중앙지지블록을 더 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성의 본 발명은 장축의 이송축을 단축의 이송축으로 분할하고, 그 단축의 이송축 각각을 지지하되, 이물의 발생을 방지하는 수단을 두어 이송축의 처짐과 그에 따른 기판의 처짐을 방지하여 기판의 손상이나 공정불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이송, 처짐, 대면적

Description

대면적 기판 이송장치{Carrier for lage-area substrate}

본 발명은 대면적 기판 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 기판을 이송하는 이송장치의 축의 처짐을 방지하기 위한 대면적 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이 제조공정에서 사용되는 유리 기판의 대면적화가 가속화되어, 기판을 이송하는 이송축의 자체 길이도 점차 길어지게 되었다.

이송축의 조건으로는 중량이 가볍고 강성이 있는 것이어야 한다. 그러나 그 길이의 증가에 따라 설치시 중앙측의 처짐이 발생할 수 있었으며, 이와 같이 중앙의 처짐이 발생하는 경우 얇은 유리인 대면적 기판 자체도 휘어지게 되어 세정, 건조, 박막의 증착 등의 공정에서 공정불량이 발생할 수 있는 문제점이 있었으며, 이와 같은 종래 대면적 기판 이송장치의 구성을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 대면적 기판 이송장치는, 단일한 장축의 이송축(1)과, 상기 이송축(1)의 양단을 지지하는 지지블록(2)과, 상기 지지블록(2)의 내에 위치하여 상기 이송축(1)을 회전가능하게 지지하는 베어링(3)과, 상기 이송축(1)에 결합되어 대면적 기판(S)의 저면을 지지하는 롤러(4)를 포함하여 구성된다.

미설명 부호 5는 이송축(1)을 회전시키기 위한 구동부이다.

앞서 설명한 바와 같이 상기 이송축(1)의 길이가 길어질수록 그 이송축(1)의 중앙부에서는 처짐이 발생하게 되며, 이에 따라 기판(S)도 중앙부가 처진 상태로 이송이 된다.

이와 같이 기판(S)이 처진 상태로 이송이 되면, 세정공정에서는 세정수가 그 기판(S)의 중앙부에 모이게 되어 세정이 원활하게 이루어질 수 없으며, 건조공정에서는 그 이송축(1)에 의해 이송되는 기판(S)과 인접하게 설치되는 에어나이프에 기판(S)이 충돌하여 손상되는 경우가 발생할 수 있는 등의 문제점이 발생하게 된다.

종래에는 이와 같은 이송축(1)의 처짐을 방지하기 위하여 이송축(1)의 재질을 변경하는 등의 노력을 하고 있으나, 중량의 증가에 따른 구동의 어려움이 발생하는 등의 부수적인 문제점이 발생하여, 이송축의 처짐을 보상할 수 있는 기술의 개발이 요구되고 있다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이송축의 처짐을 근본적으로 방지하여, 기판의 처짐을 방지할 수 있는 대면적 기판 이송장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 다수의 이송축을 일정한 간격으로 배치하고, 그 다수의 이송축을 동기를 맞춰 회전시켜 대면적 기판을 일측 방향으로 이송하는 대면적 기판 이송장치에 있어서, 상기 이송축을 단축의 제1 및 제2이송축으로 분할하고, 상기 제1 및 제2이송축의 마주하는 일측단을 지지하는 중앙지지블록을 더 포함한다.

본 발명은 장축의 이송축을 단축의 이송축으로 분할하고, 그 단축의 이송축 각각을 지지하되, 이물의 발생을 방지하는 수단을 두어 이송축의 처짐과 그에 따른 기판의 처짐을 방지하여 기판의 손상이나 공정불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예의 구성과 작용 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명 대면적 기판 이송장치의 바람직한 실시예에 따른 구성도이 고, 도 3은 도 2에서 중앙지지블록(30)의 상세 구성도이다.

도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 발명 대면적 기판 이송장치의 바람직한 실시예는, 단축의 제1 및 제2이송축(10,20)과, 상기 제1 및 제2이송축(10,20)의 근접한 부분에서 그 제1 및 제2이송축(10,20)을 회전가능하게 지지하며, 이물 발생을 방지하는 중앙지지블록(30)과, 상기 제1 및 제2이송축(10,20)의 각각의 외측단을 회전가능하게 지지하는 제1 및 제2지지블록(40,50)과, 상기 제1 및 제2이송축(10,20) 각각을 구동하는 구동부(60,70)과, 상기 제1 및 제2이송축(10,20) 각각에 결합되어 기판(S)을 지지하는 롤러(80)를 포함하여 구성된다.

상기 중앙지지블록(30)은 상기 제1 및 제2이송축(10,20) 각각을 회전가능하게 지지하는 제1 및 제2베어링(31,32)과, 상기 제1 및 제2베어링(31,32)에 구동수를 공급함과 아울러 그 제1 및 제2베어링(31,32)을 지지하는 구동수공급부(33)와, 사용된 상기 구동수가 배출되는 배출구(35)를 구비하며, 이물의 유출을 일부 차단하는 바디부(34)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명 대면적 기판 이송장치의 바람직한 실시예의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 종래에는 장축의 이송축을 사용하였지만, 본 발명에서는 동일한 위치에 단축의 이송축을 적용하였다. 이와 같이 제1 및 제2이송축(10,20)을 사용하는 경우, 그 제1 및 제2이송축(10,20)의 양단을 지지하는 베어링을 사용하여야 하고, 특히 이송되는 대면적 기판(S)의 하부측에 베어링이 사용되는 경우 이물의 발생에 의한 기판의 오염을 차단해야 한다.

본 발명에서는 이와 같은 이물의 차단을 위해 베어링이에 지속적으로 구동수가 공급되도록하여 베어링에서 발생하는 이물을 효과적으로 외부로 배출시키는 구조를 적용하였으며, 이를 좀 더 구체적으로 설명한다.

상기 제1 및 제2이송축(10,20)의 일단인 상호 인접하고 마주하는 쪽에 각각 제1 및 제2베어링(31,32)을 결합한다. 상기 제1 및 제2베어링(31,32)은 구동수공급부(33)에 의해 지지된다. 상기 구동수공급부(33)는 상기 제1 및 제2베어링(31,32)의 내륜이 회전가능한 상태가 되도록 외륜을 고정하는 형태이며, 그 제1 및 제2베어링(31,32)의 사이에서 외부에서 공급되는 구동수를 그 제1 및 제2베어링(31,32)의 사이측에서 공급한다.

이와 같이 공급된 구동수는 그 제1 및 제2베어링(31,32)을 지나 외측으로 유출된다. 이때 상기 제1 및 제2베어링(31,32)을 지나는 구동수는 그 제1 및 제2베어링(31,32)의 회전에 따라 발생되는 이물을 그 제1 및 제2베어링(31,32)으로부터 배출시킨다.

이처럼 이물이 포함된 구동수는 그 구동수공급부(33)의 하부에 마련된 바디부(34)에 모이게 되며, 그 바디부(34)의 바닥면에 마련되면 배출구(35)를 통해 외 부로 배출된다.

상기와 같이 제1 및 제2이송축(10,20)은 그 길이가 종래 장축의 이송축에 비하여 그 길이가 반 정도이며, 이처럼 분할된 단축의 제1 및 제2이송축(10,20)은 중앙부의 처짐이 발생하지 않게 된다.

상기 제1 및 제2지지블록(40,50)은 상기 제1 및 제2이송축(10,20)의 타단을 회전가능하게 지지하여, 상기 중앙지지블록(30)과 함께 제1 및 제2이송축(10,20)을 회전가능하게 지지할 수 있다.

그리고 구동부(60,70)에 의해 상기 제1 및 제2이송축(10,20)은 동기를 맞춰 회전하게 되며, 대면적 기판(S)은 평탄한 상태로 이송된다.

도 1은 종래 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.

도 2는 본 발명 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.

도 3은 도 2에서 중앙지지블록의 상세 단면 구성도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10:제1이송축 20:제2이송축

30:중앙지지블록 31:제1베어링

32:제2베어링 33:구동수공급부

34:바디부 35:배출구

40,50:제1 및 제2지지블록 60,70:구동부

80:롤러

Claims

다수의 이송축을 일정한 간격으로 배치하고, 그 다수의 이송축을 동기를 맞춰 회전시켜 대면적 기판을 일측 방향으로 이송하는 대면적 기판 이송장치에 있어서,

상기 이송축을 단축의 제1 및 제2이송축으로 분할하고,

상기 제1 및 제2이송축의 마주하는 일측단을 지지하는 중앙지지블록을 더 포함하는 대면적 기판 이송장치.
제1항에 있어서,

상기 중앙지지블록은,

상기 제1 및 제2이송축의 일측단에 각각 결합되어 상기 제1 및 제2이송축이 회전할 수 있도록 지지하는 제1 및 제2베어링과,

상기 제1 및 제2베어링에 구동수를 공급하여 이물을 제거하는 이물제거수단을 포함하는 대면적 기판 이송장치.
제2항에 있어서,

상기 이물제거수단은,

상기 제1 및 제2베어링의 사이로 구동수를 공급하는 구동수공급부와,

상기 구동수공급부에서 공급된 구동수가 상기 제1 및 제2베어링을 지나 외측으로 배출되면, 그 배출된 구동수를 하부측으로 모아 배출구를 통해 외부로 배출하는 바디부를 포함하는 대면적 기판 이송장치.